一种药液自动添加系统的制作方法

本技术涉及蚀刻设备，尤其涉及一种药液自动添加系统。

背景技术：

1、铜酸蚀刻液在客户wet机台（湿法处理设备）生产时，根据产程需求会涉及到药液添加，具体地，蚀刻液的补充性药液（如催化剂、稳定剂等，统称“b剂”）；因蚀刻过程中b剂会消耗，b剂浓度下降，需要及时补充药液，维持蚀刻液的成分稳定性，保障蚀刻工艺的一致性。传统的wet机台采用带水泵的药液添加装置输送所需药液，此类方案不仅难以保证添加的精度、数据记录完整性，在需要更换其他药液或大量补充药液时，还难以扩大流量，导致药液更换补充效率低下，影响生产效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种药液自动添加系统，即能够精准添加药液，还能够快速补充大量药液，提高生产效率。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：一种药液自动添加系统，包括蚀刻装置、添液装置和控制系统，蚀刻装置包括蚀刻槽、主水箱和备用水箱，所述主水箱和所述备用水箱分别通过主管路与所述蚀刻槽连通，所述主水箱内和所述备用水箱内均设有第一液位计；添液装置包括储液箱、第一缓冲箱和第二缓冲箱，所述第二缓冲箱的容量小于第一缓冲箱的容量，所述储液箱分别与所述第一缓冲箱和所述第二缓冲箱连通，所述第一缓冲箱连接有第一计量泵，所述第一计量泵连接有第一添液管道，所述第一添液管道分别与所述主水箱和所述备用水箱连通，所述第二缓冲箱连接有第二计量泵，所述第二计量泵通过第二添液管道与所述主管路连通，所述第一添液管道的管径大于所述第二添液管道的管径；控制系统分别与所述第一液位计、所述第一计量泵和所述第二计量泵通讯连接。

3、作为优选，所述添液装置还包括安装柜，所述安装柜设有上腔和下腔，所述上腔位于所述下腔上方，所述第一缓冲箱固定于所述下腔内，所述第二缓冲箱固定于所述上腔内。

4、作为优选，所述添液装置还包括第一防漏栈板，所述第一防漏栈板固定于地面，所述安装柜搭接于所述第一防漏栈板。

5、作为优选，所述第一缓冲箱的容量为al，所述第二缓冲箱的容量为bl，满足a/20≤b≤a/15。

6、作为优选，所述第一添液管道和所述第二添液管道均设有调节阀。

7、作为优选，所述调节阀配置为气动薄膜式调节阀。

8、作为优选，所述第一缓冲箱的底端设有截止阀。

9、作为优选，所述控制系统连接有声光报警器。

10、作为优选，所述主水箱和所述备用水箱形状相同且大小相等。

11、本实用新型的有益效果：药液自动添加系统工作时，蚀刻装置的蚀刻槽用于蚀刻待处理产品，主水箱朝蚀刻槽补充药液，从而维持蚀刻液的成分稳定性。当主水箱中的药液余量不足时，主管路切换至备用水箱，实现无缝补充药液。通过设置添液装置和控制系统，控制系统既可以根据第一液位计的反馈，控制第一计量泵开关，在主水箱和备用水箱药液不足时或者在需要更换药液时，控制添液装置大流量补液，提高生产效率。控制系统还可以在蚀刻装置工作时，控制第二计量泵开启，直接通过第二缓冲箱朝蚀刻槽通入药液，有效提高药液的添加的精度，控制器记录第二计量泵的数据，保证药液添加数据记录的完整性。

1.一种药液自动添加系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的药液自动添加系统，其特征在于，所述添液装置(200)还包括安装柜(240)，所述安装柜(240)设有上腔(241)和下腔(242)，所述上腔(241)位于所述下腔(242)上方，所述第一缓冲箱(220)固定于所述下腔(242)内，所述第二缓冲箱(230)固定于所述上腔(241)内。

3.根据权利要求2所述的药液自动添加系统，其特征在于，所述添液装置(200)还包括第一防漏栈板(250)，所述第一防漏栈板(250)固定于地面，所述安装柜(240)搭接于所述第一防漏栈板(250)。

4.根据权利要求1-3任一项所述的药液自动添加系统，其特征在于，所述第一缓冲箱(220)的容量为al，所述第二缓冲箱(230)的容量为bl，满足a/20≤b≤a/15。

5.根据权利要求1-3任一项所述的药液自动添加系统，其特征在于，所述第一添液管道(222)和所述第二添液管道(232)均设有调节阀(233)。

6.根据权利要求5所述的药液自动添加系统，其特征在于，所述调节阀(233)配置为气动薄膜式调节阀。

7.根据权利要求1-3任一项所述的药液自动添加系统，其特征在于，所述第一缓冲箱(220)的底端设有截止阀(223)。

8.根据权利要求1-3任一项所述的药液自动添加系统，其特征在于，所述控制系统连接有声光报警器。

9.根据权利要求1-3任一项所述的药液自动添加系统，其特征在于，所述主水箱(120)和所述备用水箱(130)形状相同且大小相等。