一种管路分气检测装置的制作方法

本技术涉及管路检测领域，尤其涉及一种管路分气检测装置。

背景技术：

1、在半导体设备中，流阻系统包括分气管路、混气块、喷淋板、抽气环等。分气管路是半导体设备中常用的一组两条镜像管路。分气管路作为流阻系统中的重要组成部分，对质量（流阻/压降）一致性的要求很高，其管路一致性直接影响半导体设备的机台的分气均匀性，尤其是气流量在10slm（standard liter per minute，标准升每分钟）量级的sacvd（sub-atmospheric chemical vapor deposition，亚常压化学气相沉积）机台中。

2、不同的气体管路的生产厂商采用的标准件（例如弯管elbow、接管gland等）各有不同，同一厂商也可能存在不同批次和焊接精度等差异，这使得现有的线下分气检测装置无法直接与被检测管路进行适配，也就无法实施管路分气检测。

3、为了克服现有技术所存在的上述缺陷，本领域亟需一种管路分气检测装置，能够适配不同标准的被检测的气体管路。

技术实现思路

1、以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之序。

2、如上所述，不同的气体管路的生产厂商采用的标准件（例如弯管elbow、接管gland等）各有不同，同一厂商也可能存在不同批次和焊接精度等差异，这使得现有的线下分气检测装置无法直接与被检测管路进行适配，也就无法实施管路分气检测。

3、为了克服现有技术所存在的上述缺陷，本实用新型提供了一种管路分气检测装置，能够适配不同标准的被检测的气体管路，以克服目标管路的标准件差异所带来的安装问题。

4、具体来说，根据本实用新型提供的上述管路分气检测装置，包括：进气组件，包括第一气体调节部和第一压力检测部，所述进气组件通过第一真空连接接头与设置在目标管路进气端的第一法兰连接，所述第一压力检测部用于检测所述目标管路的进气端的压力；出气组件，包括第二压力检测部和第二气体调节部，所述出气组件通过第二真空连接接头与设置在所述目标管路出气端的第二法兰连接，所述第二压力检测部用于检测所述目标管路的出气端的压力；以及所述第一气体调节部和所述第二气体调节部用于调节被检测的所述目标管路的工况环境，所述第一压力检测部和所述第二压力检测部用于确定所述目标管路的工况。

5、进一步地，在本实用新型的一些实施例中，所述目标管路为半导体设备的分气管路。

6、进一步地，在本实用新型的一些实施例中，所述目标管路包括多个目标管路，所述第一压力检测部和所述第二压力检测部用于确定所述多个目标管路的工况，以确定所述多个目标管路的分气一致性。

7、进一步地，在本实用新型的一些实施例中，所述第一真空连接接头和所述第二真空连接接头为vcr转换接头。

8、进一步地，在本实用新型的一些实施例中，所述第一法兰为连接法兰，所述第二法兰为法兰固定块。

9、进一步地，在本实用新型的一些实施例中，所述第一压力检测部和所述第二压力检测部的规格和精度由圆形管路沿程阻力损失公式确定。

10、进一步地，在本实用新型的一些实施例中，所述第一气体调节部为调压阀，所述第二气体调节部为针阀。

11、进一步地，在本实用新型的一些实施例中，所述出气组件还包括流量计。

12、进一步地，在本实用新型的一些实施例中，所述进气组件设置于升降台上。

13、进一步地，在本实用新型的一些实施例中，所述升降台为手动卡孔式升降台。

1.一种管路分气检测装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的管路分气检测装置，其特征在于，所述目标管路为半导体设备的分气管路。

3.如权利要求1所述的管路分气检测装置，其特征在于，所述目标管路包括多个目标管路，所述第一压力检测部和所述第二压力检测部用于确定所述多个目标管路的工况，以确定所述多个目标管路的分气一致性。

4.如权利要求1所述的管路分气检测装置，其特征在于，所述第一真空连接接头和所述第二真空连接接头为vcr转换接头。

5.如权利要求1所述的管路分气检测装置，其特征在于，所述第一法兰为连接法兰，所述第二法兰为法兰固定块。

6.如权利要求1所述的管路分气检测装置，其特征在于，所述第一压力检测部和所述第二压力检测部的规格和精度由圆形管路沿程阻力损失公式确定。

7.如权利要求1所述的管路分气检测装置，其特征在于，所述第一气体调节部为调压阀，所述第二气体调节部为针阀。

8.如权利要求1所述的管路分气检测装置，其特征在于，所述出气组件还包括流量计。

9.如权利要求1所述的管路分气检测装置，其特征在于，所述进气组件设置于升降台上。

10.如权利要求9所述的管路分气检测装置，其特征在于，所述升降台为手动卡孔式升降台。