老化监测装置及激光器老化设备的制作方法

本技术涉及激光器，特别涉及一种老化监测装置及激光器老化设备。

背景技术：

1、激光器的老化测试是生产过程中的必要步骤，可以使激光器得到更为充分的品质考核，避免出现大批量的初始故障。对于输出功率为数百瓦以下的激光器来说，其输出的激光在功率计靶面上产生的热量较小，功率计可以通过风冷或水冷系统将其产生的热量散发掉，因此想要对该激光器进行老化测试，可以将激光直接打在功率计测试靶面内，并且实时记录激光器老化过程的真实功率。

2、但对于千瓦级以上，甚至万瓦级的大功率激光器来说，长时间老化的过程中产生的热量较多，即使功率计可以通过水冷系统将大部分热量处理掉，但是功率计依然不可以长时间测试，否则很容易打坏激光功率计探测靶面。所以一般大功率激光器老化方式是将激光直接打入吸收体内，吸收体产生的热量通过水冷系统处理掉，但是这样的方式不能实时监测到功率的变化，甚至功率出现大幅度下降等故障，也不能及时被发现。

3、因此，有必要提供一种新的老化监测装置及激光器老化设备以解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提出一种老化监测装置及激光器老化设备，旨在改善现有技术中高功率激光器无法在老化的过程中实时监测到功率变化的技术问题。

2、为实现上述目的，根据本实用新型的一方面，本实用新型提供一种老化监测装置，老化监测装置用于监测激光器装置老化过程中的功率变化，所述激光器装置包括激光器单元、驱动电源和吸收体，所述驱动电源与所述激光器单元电连接，老化监测装置包括：

3、监控单元，所述监控单元包括取样镜和监控部件，所述激光器单元用于发出的激光光束照射至所述取样镜，所述取样镜用于将所述激光光束分化为透射光束和第一反射光束，所述透射光束用于入射至所述吸收体，所述第一反射光束用于入射至所述监控部件，所述监控部件用于实时计算所述激光器单元的输出功率。

4、在一实施例中，所述监控部件包括监控板和光电二极管，所述第一反射光束用于入射至所述光电二极管，所述光电二极管用于将所述第一反射光束的光信号转化为电信号，所述光电二极管与所述监控板信号连接，以用于将所述电信号传递至所述监控板，所述监控板用于实时计算所述激光器单元的输出功率。

5、在一实施例中，所述监控单元还包括主控板，所述监控板与所述主控板信号连接，所述主控板用于与所述驱动电源信号连接，以用于断开或连通所述驱动电源与所述激光器单元。

6、在一实施例中，所述老化监测装置还包括光学测试单元，所述取样镜还用于将所述激光光束分化出第二反射光束，所述第二反射光束用于入射至所述光学测试单元。

7、在一实施例中，所述老化监测装置还包括显示屏，所述显示屏与所述主控板信号连接，所述显示屏用于实时显示实时激光器单元的输出功率。

8、在一实施例中，所述老化监测装置还包括警报器，所述警报器与所述主控板信号连接。

9、在一实施例中，所述取样镜为楔形取样镜。

10、在一实施例中，所述吸收体的内部集成水冷散热通道，所述水冷散热通道通过管路与外部循环冷却装置连通。

11、根据本实用新型的另一方面，本实用新型还提供一种激光器老化设备，包括所述激光器装置和上述所述的老化监测装置，所述激光器装置包括激光器单元、驱动电源和吸收体，所述激光器单元用于发出的激光光束照射至所述取样镜，所述吸收体用于接收所述透射光束，所述驱动电源与所述激光器单元电连接。

12、在一实施例中，所述激光器单元包括种子源、放大级和泵浦源，所述泵浦源分别与所述种子源和所述放大级电连接，用于为所述种子源和所述放大级提供泵浦光；所述驱动电源与所述泵浦源电连接。

13、上述方案中，老化监测装置用于监测激光器装置老化过程中的功率变化，激光器装置包括激光器单元、驱动电源和吸收体，驱动电源与激光器单元电连接，老化监测装置包括监控单元，监控单元包括取样镜和监控部件，激光器单元用于发出的激光光束照射至取样镜，取样镜用于将激光光束分化为透射光束和第一反射光束，透射光束用于入射至吸收体，第一反射光束用于入射至监控部件，监控部件用于实时计算激光器单元的输出功率。具体地，老化作业过程中驱动电源为激光器单元供电，激光器单元发出高功率激光光束，其中，高功率激光光束可以是发散光束、准直光束和聚焦光束中的一种，在激光器单元的输出端的前方设置取样镜，激光器单元发出的高功率激光光束照射至取样镜上，取样镜将激光光束分化为透射光束和第一反射光束，透射光束是激光光束直接穿过取样镜产生的光束，而取样镜远离激光器单元的一端设置有吸收体，这样透射光束就会入射至吸收体，吸收体将透射光束的能量吸收，有效处理高功率激光能量，防止光束外泄造成安全隐患；而第一反射光束是取样镜将激光光束反射而形成的，第一反射光束具有激光光束一部分能量，其能量取决于取样镜的反射比，在第一反射光束的路径上设置有监控部件，这样第一反射光束就会入射至监控单元的监控部件，监控部件接收第一反射光束，根据反射比和第一反射光束的能量实时计算激光器单元的输出功率，作业人员就可以从监控部件实时监测到激光器单元在老化过程中的输出功率的变化。本实用新型通过取样镜将激光分化为透射光束和第一反射光束，这样就能够降低第一反射光束的能量，当第一反射光束射入监控部件时，监控部件通过第一反射光束的能量实时计算当前激光器单元的功率，这样就可以避免了高功率激光直接射入监控部件，降低监控部件的发热，这样在老化作业的过程中监控部件就可以实时监测激光器单元的输出功率的变化。

1.一种老化监测装置，用于监测激光器装置老化过程中的功率变化，所述激光器装置包括激光器单元、驱动电源和吸收体，所述驱动电源与所述激光器单元电连接，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的老化监测装置，其特征在于，所述监控部件包括监控板和光电二极管，所述第一反射光束用于入射至所述光电二极管，所述光电二极管用于将所述第一反射光束的光信号转化为电信号，所述光电二极管与所述监控板信号连接，以用于将所述电信号传递至所述监控板，所述监控板用于实时计算所述激光器单元的输出功率。

3.如权利要求2所述的老化监测装置，其特征在于，所述监控单元还包括主控板，所述监控板与所述主控板信号连接，所述主控板用于与所述驱动电源信号连接，以用于断开或连通所述驱动电源与所述激光器单元。

4.如权利要求1所述的老化监测装置，其特征在于，所述老化监测装置还包括光学测试单元，所述取样镜还用于将所述激光光束分化出第二反射光束，所述第二反射光束用于入射至所述光学测试单元。

5.如权利要求3所述的老化监测装置，其特征在于，所述老化监测装置还包括显示屏，所述显示屏与所述主控板信号连接，所述显示屏用于实时显示实时激光器单元的输出功率。

6.如权利要求3所述的老化监测装置，其特征在于，所述老化监测装置还包括警报器，所述警报器与所述主控板信号连接。

7.如权利要求1至6中任一项所述的老化监测装置，其特征在于，所述取样镜为楔形取样镜。

8.如权利要求1至6中任一项所述的老化监测装置，其特征在于，所述吸收体的内部集成水冷散热通道，所述水冷散热通道通过管路与外部循环冷却装置连通。

9.一种激光器老化设备，其特征在于，包括所述激光器装置和上述权利要求1至8中任一项所述的老化监测装置，所述激光器装置包括激光器单元、驱动电源和吸收体，所述激光器单元用于发出的激光光束照射至所述取样镜，所述吸收体用于接收所述透射光束，所述驱动电源与所述激光器单元电连接。

10.如权利要求9所述的激光器老化设备，其特征在于，所述激光器单元包括种子源、放大级和泵浦源，所述泵浦源分别与所述种子源和所述放大级电连接，用于为所述种子源和所述放大级提供泵浦光；所述驱动电源与所述泵浦源电连接。