划片机主轴动态回转误差检测装置的制作方法

本技术属于主轴回转误差检测，更具体地说，是涉及一种划片机主轴动态回转误差检测装置。

背景技术：

1、划片机用于半导体晶圆、封装体等的精密切割，划片机主轴的精度直接决定了切割刀痕的质量、切槽宽度、崩边大小以及芯片的良率。回转误差是划片机主轴核心性能指标之一，通过对其回转误差的检测，以量化主轴在旋转时，其理论旋转中心线与实际旋转中心线之间的偏差。

2、传统技术中，常将主轴的轴向回转误差的装置和径向回转误差的装置进行单独安装，并分别安装在主轴的不同位置，以分别检测记录主轴的轴向回转误差和径向回转误差，装置集成化程度低，检测效率差。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种划片机主轴动态回转误差检测装置，旨在解决现有的主轴检测装置存在的集成化程度低、检测效率差的技术问题。

2、为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：

3、提供一种划片机主轴动态回转误差检测装置，用于安装在划片机体的机体主轴上，所述机体主轴具有安装端；所述划片机主轴动态回转误差检测装置包括：

4、检测组件，沿所述机体主轴的轴向与所述安装端相对设置；所述检测组件包括相机组件和电容传感器；所述相机组件的摄像端和所述电容传感器的探头端均朝向所述安装端设置；

5、目标座，固定在所述安装端；所述目标座内设有电气组件，所述电气组件用于形成适于所述相机组件接收的光斑；所述目标座背离所述机体主轴的一侧还具有测量面；

6、其中，在所述机体主轴的轴向上，所述相机组件的摄像端与所述电气组件对应，所述电容传感器的探头端朝向所述测量面；所述相机组件用于记录所述光斑随所述机体主轴转动过程中的回转轨迹，以根据所述回转轨迹计算所述机体主轴的径向回转误差；所述电容传感器用于将所述探头端到所述测量面的轴向距离转化为电信号，以根据所述电信号计算轴向回转误差。

7、本技术实施例所示的方案，与现有技术相比，通过使相机组件的摄像端与所述电气组件对应，以便相机组件的摄像端接收光斑，并记录光斑的回转轨迹，以便进行径向回转误差的测量；通过使电容传感器与测量面位置对应，以便获取电容传感器的电压信号，进而计算电容传感器探头到测量面的轴向距离，并通过轴向距离确定机体主轴的轴向回转误差，以实现轴向回转误差和径向回转误差的测量；

8、并且，本技术中将电气组件和测量面集成在目标座上，并通过目标座与检测组件配合实现轴向回转误差和径向回转误差的同步检测，有利于提高整体测量装置的集成化程度，并提高检测的效率。

9、在一种可能的实现方式中，所述目标座包括：

10、主体部，固定在所述安装端；

11、第一凸出部，设于所述主体部上，且向背离所述安装端的一侧凸出；所述第一凸出部内设有所述电气组件，所述电气组件的光斑形成在所述第一凸出部背离所述安装端的一侧；

12、其中，所述第一凸出部的外周径尺寸小于所述主体部的外周径尺寸，以在所述第一凸出部和所述主体部之间形成第一台阶面，所述第一台阶面经精磨处理形成表面平整度满足预设要求的所述测量面，所述相机组件的摄像端与所述电容传感器的测量端在所述机体主轴的径向上内外错位设置。

13、通过设置主体部和第一凸出部，以在第一凸出部和主体部之间形成第一台阶面，并且第一台阶面经精加工处理后得到测量面，可实现电容传感器的准确测量；并且，由于第一凸出部向外凸出主体部，因此，可避免第一凸出部内的电气组件对测量面的影响，有利于保证轴向回转误差和径向回转误差的准确检测。

14、一些实施例中，所述目标座还包括：

15、第二凸出部，设于所述主体部靠近所述安装端的一侧，所述第二凸出部的外周径尺寸大于所述主体部的外周径尺寸，以在所述第二凸出部和所述主体部之间形成第二台阶面；

16、其中，所述第二台阶面上设有固定螺栓，所述固定螺栓自所述第二台阶面穿过所述第二凸出部，并固定在所述机体主轴内。

17、通过设置第二凸出部，并形成第二台阶面，以便在第二台阶面上安装固定螺栓，有利于实现目标座与机体主轴的固定。

18、示例性的，所述第一凸出部内设有沿所述机体主轴轴向贯通至所述安装端的安装孔；所述电气组件包括：

19、光源器件，设于所述安装孔内；

20、电池组，设于所述安装孔靠近所述机体主轴的一端，且与所述光源器件电连接；以及

21、硅片，设于所述安装孔远离所述机体主轴的一端，所述硅片上设有用于透光通孔，所述透光通孔用于形成适于所述相机组件接收的光斑。

22、电池组用于为光源器件提供电能，光源器件发出的光可在硅片的作用下进行衰减，从而降低入射光强度，使其形成的光斑能够被相机组件完全接收而不过度曝光。

23、结合第一方面，在一种可能的实现方式中，所述目标座包括：

24、主体部，固定在所述安装端；所述主体部上设有第一凹陷部，所述第一凹陷部向靠近所述安装端的一侧凹陷；

25、其中，电气组件设于所述主体部内，且所述电气组件的光斑形成在所述第一凹陷部背离所述安装端的一侧；

26、所述主体部背离所述安装端的一侧形成环绕所述第一凹陷部设置的环形面，所述环形面经精磨处理形成表面平整度满足预设要求的所述测量面，所述相机组件的摄像端与所述电容传感器的测量端在所述机体主轴的径向上内外错位设置。

27、在一种可能的实现方式中，所述划片机主轴动态回转误差检测装置还包括：

28、驱动座，设于所述划片机体上；所述驱动座具有沿x/y/z方向移动的移动端；

29、第一连接架，一端固定在所述移动端，另一端向所述机体主轴的相对侧延伸；所述第一连接架上固定有所述检测组件；

30、其中，所述驱动座用于通过所述第一连接架调整所述检测组件的位置。

31、通过设置驱动座，以带动第一连接架沿x/y/z方向移动，通过第一连接架与检测组件连接，以实现检测组件的固定，从而在驱动第一连接架移动时，实现相机组件和电容传感器的同步移动，有利于提高检测组件移动定位的效率，提高检测的效率。

32、一些实施例中，所述第一连接架底部固定有所述相机组件；

33、所述第一连接架朝向所述目标座的一侧固定有第二连接架，所述第二连接架一端向所述目标座方向延伸，且固定有所述电容传感器。

34、通过设置第二连接架，以安装电容传感器；并且，相机组件固定在第一连接架上，由此实现电容传感器和相机组件的分别安装，以对相机组件和电容传感器的位置进行合理设置，优化检测组件的布局。

35、示例性的，所述第二连接架包括：

36、第一延伸板，一端固定在所述第一连接架上，另一端向所述目标座方向延伸；

37、第二延伸板，一端固定在所述第一延伸板上，另一端且沿竖直方向延伸；所述第二延伸板上固定有所述电容传感器。

38、通过设置第一延伸板，以缩短电容传感器安装部位与机体主轴之间的距离，通过设置第二延伸板，以固定电容传感器。

39、一些实施例中，所述第二延伸板上设有沿所述机体主轴径向延伸的安装夹槽，所述安装夹槽的一端贯通所述第二延伸板的侧面，另一端连通有与所述电容传感器外周壁相适配的夹紧孔；

40、所述安装夹槽和所述夹紧孔均沿所述机体主轴方向贯通所述第二延伸板设置，所述电容传感器自所述安装夹槽滑入所述夹紧孔内；

41、所述第二延伸板上还设有夹紧螺栓，所述夹紧螺栓垂直于所述安装夹槽延伸方向设置；所述夹紧螺栓一端穿过所述安装夹槽，并固定在所述第二延伸板上，以压紧所述安装夹槽进而夹紧所述电容传感器。

42、通过设置安装夹槽，以便电容传感器自安装夹槽贯通端滑入夹紧孔内，并通过夹紧螺栓穿过安装夹槽，以夹紧安装夹槽两侧的第二延伸板的分体部分，从而实现电容传感器的夹紧。

43、示例性的，所述第一连接架为l型结构，所述l型结构上还设有加强筋板。

44、本实施例中通过在l型第一连接架上设置加强筋板可增强第一连接架的支撑强度。