硅棒尺寸检测装置的制作方法

本技术涉及硅棒加工，具体而言，涉及一种硅棒尺寸检测装置。

背景技术：

1、硅棒在进入剖切设备之前，由于原料生长及外径滚磨过程中存在尺寸误差，不同根硅棒的平面度、直线度等存在偏离标称值，导致其真实中心线与设计坐标系不重合。若直接以机械基准夹持并切割，刀片极易偏移理论轨迹，出现片厚不均、崩边甚至断刀事故，因此需要在剖切前对每根硅棒进行尺寸检测，以保证后续切片的精度与成品率。

2、现有的硅棒尺寸检测装置普遍采用单点接触式探针，沿硅棒外周单向缓慢扫描，逐点采集轮廓数据后再离线拟合中心。该方式每根棒需往复移动多次，检测不同面时需要翻转硅棒检测多次，检测效率较低，难以满足大批量连续生产需求。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种硅棒尺寸检测装置，以解决现有技术中的硅棒尺寸检测装置普遍采用单点接触式探针，检测不同面时需要翻转硅棒检测多次，检测效率较低的问题。

2、本实用新型提供了一种硅棒尺寸检测装置，硅棒尺寸检测装置包括：底座；检测部，可移动地设置在底座上，检测部具有沿移动方向间隔设置的第一检测端和第二检测端，第一检测端和第二检测端分别伸出底座，并位于底座的同一侧，第一检测端的朝向与第二检测端的朝向具有夹角；驱动组件，设置在底座上，驱动组件与检测部驱动连接，以驱动检测部相对底座移动。

3、进一步地，检测部包括：安装座，可移动地设置在底座上，驱动组件与安装座驱动连接；第一检测件和第二检测件，分别设置在安装座上，第一检测件具有第一检测端，第二检测件具有第二检测端。

4、进一步地，第一检测件沿水平方向延伸，第二检测件沿竖直方向延伸，第二检测件位于第一检测件的上方；安装座包括第一安装板、第二安装板和连接板，第一安装板沿水平方向延伸，第一检测件固定在第一安装板上，第二安装板沿竖直方向延伸，第二检测件固定在第二安装板上，连接板的一端与第一安装板连接，连接板的另一端与第二安装板连接。

5、进一步地，驱动组件包括：驱动部，设置在底座上，驱动部具有输出端；传动结构，设置在输出端与安装座之间，传动结构的一端与输出端转动连接，传动结构的另一端与安装座驱动连接，以驱动安装座相对底座移动。

6、进一步地，传动结构包括：丝杠，可转动地设置在底座上，丝杠沿水平方向延伸，输出端与丝杠驱动连接；滑套，穿设在丝杠的外周，滑套与丝杠螺纹连接，滑套设置在安装座的底部；止转部，设置在安装座与底座之间，止转部用于限制滑套相对丝杠转动。

7、进一步地，止转部包括：两个导轨，沿垂直于安装座的移动方向间隔分布在底座上，导轨沿安装座的移动方向延伸；两个凹槽，间隔设置在安装座的底部，两个凹槽与两个导轨一一对应设置，凹槽与导轨卡接配合，安装座通过凹槽沿导轨移动，凹槽与导轨配合以限制安装座相对底座转动。

8、进一步地，底座的端部设置有防护罩，防护罩罩设在底座朝向安装座的一侧，防护罩具有相互连通的开口和空腔，开口朝向安装座，驱动部位于空腔内。

9、进一步地，第一检测件包括第一驱动件和第一探针，第一驱动件设置在第一安装板上，第一驱动件与第一探针驱动连接，以驱动第一探针沿水平方向相对底座移动；第二检测件包括第二驱动件和第二探针，第二驱动件设置在第二安装板上，第二驱动件与第二探针驱动连接，以驱动第二探针沿竖直方向相对底座移动。

10、进一步地，硅棒尺寸检测装置还包括第一防护壳和第二防护壳，第一防护壳扣设在第一安装板上，至少部分第一检测件位于第一防护壳内，第一探针远离第一驱动件的端部穿设第一防护壳的端部，第一驱动件驱动第一探针伸出或缩回第一防护壳；第二防护壳扣设在第二安装板上，至少部分第二检测件位于第二防护壳内，第二探针远离第二驱动件的端部穿设第二防护壳的端部，第二驱动件驱动第二探针伸出或缩回第二防护壳。

11、进一步地，硅棒尺寸检测装置还包括控制系统，控制系统分别与检测部和驱动组件驱动连接，以控制检测部和驱动组件工作。

12、应用本实用新型的技术方案，检测部可移动地设置在底座上，检测部具有沿检测部移动方向间隔设置的第一检测端和第二检测端，第一检测端和第二检测端分别伸出底座，并位于底座的同一侧，第一检测端的朝向与第二检测端的朝向具有夹角，相较于现有技术中的单个探针，本申请通过上述设置，检测部具有两个检测端，如此硅棒检测时无需多次翻转或者多次往复检测，驱动组件驱动检测部移动，第一检测端和第二检测端可以分别对硅棒的不同面进行同步检测，在提升了检测效率以及生产效率的同时，获取其检测参数，为后续硅棒的剖片、定位、对刀等工序提供参考基准。并且可以避免单个检测件的过度磨损情况，延长了检测部的使用寿命。

1.一种硅棒尺寸检测装置，其特征在于，所述硅棒尺寸检测装置包括：

2.根据权利要求1所述的硅棒尺寸检测装置，其特征在于，所述检测部（20）包括：

3.根据权利要求2所述的硅棒尺寸检测装置，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的硅棒尺寸检测装置，其特征在于，所述驱动组件包括：

5.根据权利要求4所述的硅棒尺寸检测装置，其特征在于，所述传动结构包括：

6.根据权利要求5所述的硅棒尺寸检测装置，其特征在于，所述止转部包括：

7.根据权利要求4所述的硅棒尺寸检测装置，其特征在于，

8.根据权利要求3所述的硅棒尺寸检测装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的硅棒尺寸检测装置，其特征在于，

10.根据权利要求1所述的硅棒尺寸检测装置，其特征在于，