一种低电阻探针结构的制作方法

本发明涉及探针，尤其是指一种低电阻探针结构。

背景技术：

1、电阻探针是测量半导体材料、导电薄膜的薄层电阻或电阻率的用具，而现有的探针由活动轴、套管和弹簧构成，该结构构成为半成品探针，其与固定轴为分体式，该半成品探针插入固定轴后为一个完整的探针，但由于其为插入方式固定，存在接触接触不稳定电阻大，导致测量功能性可能会松动，从而造成测量影响的问题，在实际使用过程当中，还需要对其结构再进行加工改进，增加了工序和降低了工作效率，为此，本发明人提出了一种低电阻探针结构，以解决上述提出的技术问题。

技术实现思路

1、发明为克服上述情况不足，旨在提供一种能解决上述问题的技术方案。

2、一种低电阻探针结构，包括活动轴、套管和固定轴，套管的内部设有弹簧，所述活动轴、套管和弹簧构成探针，探针与固定轴之间为套接式结构，套管的表面开设有用于辅助打杠机进行打杠固定的固定点，固定点朝套管的内部延伸至活动轴的表面，活动轴的表面设有与固定点配对打杠的卡槽，该结构形成铆压锁止的设置，改进传统单纯依靠过盈配合或胶水固定的方式，确保了活动轴在套管内受到高频次的上下伸缩冲击时，减少发生脱出或轴向松动的问题；

3、此外，卡槽与固定点的配合充当了活动轴运动的硬性止挡点，其限定了活动轴在套管内的最大回弹高度和最低压缩深度，在测试时可提供一致的弹簧预紧力和接触行程，从而保证了低电阻测试的高重复精度和稳定性，且其连接点之间形成大面积的金属紧密咬合，采用刚性连接的方式降低了组件之间的接触电阻，确保了测试电流能够在套管、活动轴与内部的弹簧之间传导，避免了因连接处阻抗过高而影响测试精度。

4、进一步的，所述活动轴的一端为针头，针头的一端呈尖锐设置的针尖，固定轴的一端为针尾，针尾的一端为呈尖锐设置的尾针；其尖锐设置可在接触如pcb焊盘或半导体晶圆等被测物时产生的局部压强，该高压强能够刺破被测物表面的氧化层、钝化层或污染层，直接与被测物的基体材料形成紧密的欧姆接触，从而降低接触电阻，确保测试信号传输的准确。

5、进一步的，所述套管的内部为内腔，弹簧位于内腔的内部，活动轴的一端为延伸至内腔的内部，且与弹簧进行接触的柱状卡针，固定轴的一端为延伸至内腔的内部，且与弹簧进行接触的锥状卡针；

6、该结构形成非对称的弹簧限位结构，采用柱状端能够为弹簧提供大面积的平整支撑面，确保弹簧在压缩时受力均匀；而锥状端则起到了定心与导向作用，可有效避免了弹簧在伸缩过程中发生偏斜、扭曲或与套管内壁摩擦卡滞，保障了探针运动的顺滑性，此外，增加接触面积也可有效降低该侧的接触电阻，避免了因内部连接处阻抗过高而产生压降。

7、进一步的，所述活动轴的一端为延伸至套管内部的连接轴，卡槽位于连接轴的表面，活动轴靠近连接轴的一端表面增设有用于增加支撑力的支撑环，支撑环之间设有呈内凹结构的缓冲区域；呈凸起结构的支撑环起到加强筋的作用，其提升了连接轴的截面惯性矩和抗弯刚度，从而达到提高支撑作用力的效果，缓冲区域则为避免应力集中在连接轴的根部，防止因刚性硬碰硬导致的金属疲劳断裂。

8、进一步的，所述套管的内部设有与固定轴进行卡接的挂点；挂点在套管的内壁上形成了一个向内的限位台阶，起到防止固定轴脱落的情况，保障了探针的整体结构完整性。

9、与现有技术相比，本发明的有益效果是：本结构通过打杠将固定点打入卡槽内形成铆压锁止的设置，改进传统单纯依靠过盈配合或胶水固定或分体式的方式，确保了活动轴在套管内受到高频次的上下伸缩冲击时，减少发生脱出或轴向松动的问题，本结构套管与固定轴成为一体，增大接触面积而到达的低电阻效果，其电阻较低，提高了测试的准确性；

10、改进现有原探针采用插入配合的方式将探针与固定轴组合在一起，该结构具有松动风险，且接触电阻大，不稳定的问题。

1.一种低电阻探针结构，包括活动轴、套管和固定轴，套管的内部设有弹簧，其特征在于：所述活动轴、套管和弹簧构成探针，探针与固定轴之间为套接式结构，套管的表面开设有用于辅助打杠机进行打杠固定的固定点，固定点朝套管的内部延伸至活动轴的表面，活动轴的表面设有与固定点配对打杠的卡槽。

2.根据权利要求1所述的一种低电阻探针结构，其特征在于：所述活动轴的一端为针头，针头的一端呈尖锐设置的针尖，固定轴的一端为针尾，针尾的一端为呈尖锐设置的尾针。

3.根据权利要求1所述的一种低电阻探针结构，其特征在于：所述套管的内部为内腔，弹簧位于内腔的内部，活动轴的一端为延伸至内腔的内部，且与弹簧进行接触的柱状卡针，固定轴的一端为延伸至内腔的内部，且与弹簧进行接触的锥状卡针。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种低电阻探针结构，其特征在于：所述活动轴的一端为延伸至套管内部的连接轴，卡槽位于连接轴的表面，活动轴靠近连接轴的一端表面增设有用于增加支撑力的支撑环，支撑环之间设有呈内凹结构的缓冲区域。

5.根据权利要求1-3任意一项所述的一种低电阻探针结构，其特征在于：所述套管的内部设有与固定轴进行卡接的挂点。