晶圆暗场缺陷检测方法、增益下发时刻调整方法及系统与流程
本发明属于测量，具体涉及光学检测方法，尤其涉及一种晶圆暗场缺陷检测方法、增益下发时刻调整方法及系统。
背景技术：
1、在晶圆检测过程中，晶粒的形状存在微小差异，导致产生各种反射角度，会影响光电倍增管的输出电压，一旦光电倍增管达到饱和条件，则无法准确检测晶圆的暗场缺陷，现有自动增益调整方法需要实时数据计算增益调整量，但由于实时数据也会存在延迟，导致增益调整不及时。
2、同时，扫描光线在扫描运行过程中，扫描速度不是完全匀速运动，扫描速度会存在波动，两扫描光线触发时间的间隔也会因为扫描速度波动而导致发生变化，在自动增益调整过程中，会出现扫描增益预测与扫描光线不对齐的状况，导致预测增益与下一条扫描光线所需要的增益数据发生错位现象，影响增益调整的准确性。
3、因此，亟需开发一种新的晶圆暗场缺陷检测方法、增益下发时刻调整方法及系统，以解决因实时数据延迟、扫描速度波动导致增益调整存在误差的技术问题。
4、需要说明的是，本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本技术构思的背景技术，因此，并不认为上述描述构成现有技术的信息。
技术实现思路
1、本公开实施例至少提供一种晶圆暗场缺陷检测方法、增益下发时刻调整方法及系统。
2、第一方面，本公开实施例提供了一种晶圆暗场缺陷检测方法，其包括：控制模块通过第一扫描线按固定增益依次对晶圆上各扫描点进行扫描；在当前扫描线触发前，控制模块通过至少一条历史扫描线对各扫描点的输出电压值及实际增益值获取当前扫描线对各扫描点的预测增益值，同时控制模块获取前一历史扫描线的实际扫描速度，并在对应时刻下发当前扫描线的预测增益数据，以在当前扫描线触发后按该预测增益数据对晶圆上各扫描点进行扫描。
3、在一种可选的实施方式中，控制模块通过至少一条历史扫描线对各扫描点的输出电压值及实际增益值获取当前扫描线对各扫描点的预测增益值的方法包括：控制模块通过单条历史扫描线对各扫描点的输出电压值及实际增益值获取当前扫描线对各扫描点的预测增益值，则
gain（
m，
n）=
gain（
m，
n-1）×（
v/
v（
m，
n-1）），其中，
gain（
m，
n）为第
n扫描线上第
m个扫描点对应的预测增益值，
gain（
m，
n-1）为第（
n-1）扫描线上第
m个扫描点对应的实际增益值，
v为固定电压值，
v（
m，
n-1）为第（
n-1）扫描线上第
m个扫描点对应的输出电压值。
4、在一种可选的实施方式中，控制模块通过至少一条历史扫描线对各扫描点的输出电压值及实际增益值获取当前扫描线对各扫描点的预测增益值的方法包括：控制模块通过多条历史扫描线对各扫描点的输出电压值及实际增益值获取当前扫描线对各扫描点的预测增益值，则
gain（
m，
n）=（
gain（
m，
n-c）×（
v/
v（
m，
n-c））＋
gain（
m，
n-c+1）×（
v/
v（
m，
n-c+
1））＋…＋
gain（
m，
n-1）×（
v/
v（
m，
n-1）））/
c，其中，
gain（
m，
n）为第
n扫描线上第
m个扫描点对应的预测增益值，
gain（
m，
n-c）为第（
n-c）扫描线上第
m个扫描点对应的实际增益值，
v为固定电压值，
v（
m，
n-c）为第（
n-c）扫描线上第
m个扫描点对应的输出电压值，
gain（
m，
n-c+1）为第（
n-c+1）扫描线上第
m个扫描点对应的实际增益值，
v（
m，
n-c+1）为第（
n-c+1）扫描线上第
m个扫描点对应的输出电压值，以此类推，
gain（
m，
n-1）为第（
n-1）扫描线上第
m个扫描点对应的实际增益值，
v（
m，
n-1）为第（
n-1）扫描线上第
m个扫描点对应的输出电压值，
c为扫描点设定个数。
5、在一种可选的实施方式中，控制模块通过至少一条历史扫描线对各扫描点的输出电压值及实际增益值获取当前扫描线对各扫描点的预测增益值的方法包括：控制模块通过多条历史扫描线对各扫描点的输出电压值及实际增益值获取当前扫描线对各扫描点的预测增益值，则
gain（
m，
n）=
gain（
m，
n-c）×（
v/
v（
m，
n-c））×
k
1＋
gain（
m，
n-c+1）×（
v/
v（
m，
n-c
+1））×
k
2＋…＋
gain（
m，
n-1）×（
v/
v（
m，
n-1））×
k
c，其中，
gain（
m，
n）为第
n扫描线上第
m个扫描点对应的预测增益值，
gain（
m，
n-c）为第（
n-c）扫描线上第
m个扫描点对应的实际增益值，
v为固定电压值，
v（
m，
n-c）为第（
n-c）扫描线上第
m个扫描点对应的输出电压值，
k
1为第（
n-
c）扫描线上第
m个扫描点对应的增益赋权重，
gain（
m，
n-c+1）为第（
n-c+1）扫描线上第
m个扫描点对应的实际增益值，
v（
m，
n-c+1）为第（
n-c+1）扫描线上第
m个扫描点对应的输出电压值，
k
2为第（
n-c+1）扫描线上第
m个扫描点对应的增益赋权重，以此类推，
gain（
m，
n-1）为第（
n-1）扫描线上第
m个扫描点对应的实际增益值，
v（
m，
n-1）为第（
n-1）扫描线上第
m个扫描点对应的输出电压值，
k
c为第（
n-1）扫描线上第
m个扫描点对应的增益赋权重；且
k
1＋
k
2＋…＋
k
c=1。
6、在一种可选的实施方式中，控制模块获取前一历史扫描线的实际扫描速度，并在对应时刻下发当前扫描线的预测增益数据的方法包括：
v=（
l×
f）/
n，其中，
v为前一历史扫描线的实际扫描速度，
l为控制模块在前一历史扫描线扫描过程中通过光栅传感器检测到的每个光栅信号的周期距离，
f为时钟采样频率，
n为每个光栅周期的计数。
7、在一种可选的实施方式中，控制模块获取前一历史扫描线的实际扫描速度，并在对应时刻下发当前扫描线的预测增益数据的方法包括：根据前一历史扫描线的实际扫描速度修正前一历史扫描线触发与当前扫描线触发之间的总脉冲数
k，即
k=（
s×
l×
f）/
v，其中，
s为前一历史扫描线触发与当前扫描线触发之间的光栅间隔数；控制模块在前一历史扫描线触发开始后第（
k-
m）个采样时钟位置下发当前扫描线的预测增益数据，且
m为设定值。
8、在一种可选的实施方式中，控制模块获取前一历史扫描线的实际扫描速度，并在对应时刻下发当前扫描线的预测增益数据的方法包括：控制模块根据前一历史扫描线的实际扫描速度获取对应加速度数据，即
a=（
v
n-
v
n-1）/
n×
f，其中，
a为前一历史扫描线中光栅信号的加速度，
v
n为第
n个光栅信号的实际扫描速度；控制模块获取前一历史扫描线中若干光栅信号加速度数据的平均值，以修正前一历史扫描线触发与当前扫描线触发之间的总脉冲数
k，即；控制模块在前一历史扫描线触发开始后第（
k-
m）个采样时钟位置下发当前扫描线的预测增益数据，且
m为设定值。
9、第二方面，本公开实施例还提供一种扫描线增益下发时刻调整方法，其包括：控制模块获取前一历史扫描线的实际扫描速度，并在对应时刻下发当前扫描线的预测增益数据；
v=（
l×
f）/
n，其中，
v为前一历史扫描线的实际扫描速度，
l为控制模块在前一历史扫描线扫描过程中通过光栅传感器检测到的每个光栅信号的周期距离，
f为时钟采样频率，
n为每个光栅周期的计数；根据前一历史扫描线的实际扫描速度修正前一历史扫描线触发与当前扫描线触发之间的总脉冲数
k，即
k=（
s×
l×
f）/
v，其中，
s为前一历史扫描线触发与当前扫描线触发之间的光栅间隔数，或控制模块根据前一历史扫描线的实际扫描速度获取对应加速度数据，即
a=（
v
n-
v
n-1）/
n×
f，其中，
a为前一历史扫描线中光栅信号的加速度，
v
n为第
n个光栅信号的实际扫描速度，控制模块获取前一历史扫描线中若干光栅信号加速度数据的平均值，以修正前一历史扫描线触发与当前扫描线触发之间的总脉冲数
k，即；控制模块在前一历史扫描线触发开始后第（
k-
m）个采样时钟位置下发当前扫描线的预测增益数据，且
m为设定值。
10、第三方面，本公开实施例还提供一种晶圆暗场缺陷检测系统，其包括：控制模块、激光光源、光束整形器、扫描器、准直聚焦模块、平台、光束收集器、采集物镜、中继镜、聚焦透镜、探测器；其中所述控制模块被配置为通过激光光源、光束整形器、扫描器、准直聚焦模块向平台上晶圆输出对应的扫描线；所述控制模块还被配置为通过光束收集器、采集物镜、中继镜、聚焦透镜、探测器检测对应的输出电压值及实际增益值；所述控制模块还被配置为通过第一扫描线按固定增益依次对晶圆上各扫描点进行扫描；在当前扫描线触发前，所述控制模块还被配置为通过至少一条历史扫描线对各扫描点的输出电压值及实际增益值获取当前扫描线对各扫描点的预测增益值，同时所述控制模块还被配置为获取前一历史扫描线的实际扫描速度，并在对应时刻下发当前扫描线的预测增益数据，以在当前扫描线触发后按该预测增益数据对晶圆上各扫描点进行扫描。
11、第四方面，本公开实施例还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现上述方法的步骤。
12、本发明的有益效果是，本发明通过采集历史扫描线对应的输出电压值及实际增益值获取预测增益值，克服实时数据因延迟导致增益调整准确性差的问题，同时由实际扫描速度调整预测增益数据下发时间，实现预测增益数据下发时刻与当前扫描线触发时间之间的时间间隔保持准确，避免扫描速度波动导致增益数据发生错位。
13、本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
14、为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。