一种固定调整针卡机构的制作方法

本技术涉及针卡机构，具体为一种固定调整针卡机构。

背景技术：

1、在对晶圆进行加热的过程中，需要将晶圆放置在高温卡盘的上端进行加热处理，与此同时需要通过探针对晶圆进行检测，而检测的过程中需要控制探针的安装位置。

2、如专利授权公告号为cn219936037u的专利公开了一种晶圆测试探针台，可以根据当前所需对晶圆片测试位置的不同进行快速的自动化调整，进而达到代替人工提高检测效率的目的，可以使得刺针在与晶圆片进行连接时更加精准，进而达到更加实用的目的，然后再通过启动安装在底座顶端的电动推杆a来将支撑架向下驱动使得安装在安装架底端的刺针与晶圆片进行连接即可，进而达到更加方便于后续进行检测的目的。

3、在上述公开专利中，该专利中的探针台刺针通过安装架和控制器进行控制，而刺针位于座体的上端，在对刺针进行调整的过程中需要通过安装架的转动进行调整，而安装架在安装板远离电动推杆的一端，难以进行有效的多向调整，且调整的过程中只能通过电动推杆进行前后位移的调整，难以实现刺针的多向角度转动，并且探针只设置有一组，难以在短时间内对晶圆进行快速检测，严重降低了该探针工作的便捷性。

4、针对上述问题，急需在原有针卡机构结构的基础上进行创新设计。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种固定调整针卡机构，以解决上述背景技术中提出的调整的过程中只能通过电动推杆进行前后位移的调整，难以实现刺针的多向角度转动，并且探针只设置有一组，难以在短时间内对晶圆进行快速检测，严重降低了该探针工作的便捷的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种固定调整针卡机构，包括支撑底板以及支撑底板上端设置的高温卡盘；所述支撑底板的上端设置有操作台，且操作台的上端设置有转动环，并且操作台的上端设置有两组转动盘，同时转动盘的上端设置有探针结构，所述操作台上端设置的调整结构能够保证探针结构多向转动角度固定，所述操作台上端设置的限位结构能够保证探针结构角度的稳定支撑。

3、优选的，所述调整结构包括转动杆，且转动杆通过螺钉转动安装在转动盘上端，并且转动杆上端设置的安装块位于探针结构的外侧。

4、优选的，所述安装块的内部转动安装有转动框和调整框，且转动框和调整框分别位于探针结构的两侧，并且调整框靠近安装块的一侧内部固定安装有转动轴。

5、优选的，所述转动轴靠近安装块的一端转动安装有运动盘，且运动盘远离转动轴的一端固定安装有伸缩杆，并且伸缩杆的外侧套设有挤压弹簧，同时伸缩杆远离转动轴的一端固定安装有运动块。

6、优选的，所述运动块远离运动盘的一端固定安装有运动筒，且运动筒的内部螺纹安装有转动螺杆，并且转动螺杆远离运动筒一端固定安装的转动件位于安装块的外侧，同时运动盘和运动块均与安装块滑动连接。

7、优选的，所述限位结构包括运动推杆，且运动推杆设置在运动块的外侧，并且运动推杆靠近运动盘的一端固定安装有连接件，同时连接件内部滑动安装的连接杆与安装块转动连接。

8、优选的，所述连接杆远离连接件的一端转动安装有调整杆，且调整杆远离连接杆的一端转动安装有挤压环，并且挤压环位于转动轴的外侧，所述挤压环靠近运动盘的一端嵌套安装有弹性圈，且弹性圈分别与挤压环和运动盘紧密接触。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过控制转动框与调整框对探针结构的挤压力度，可以保证对探针结构固定的稳定性，而通过挤压环挤压弹性圈保证挤压环的摩擦力，可以保证探针结构角度调整之后的自动定位，同时可以进行无级调节，并且探针设置有两组，能够有效的提高检测效率，有效的提高了该机构调整的便捷性。

10、1.通过调整运动盘与运动块之间的间距，可以使得挤压弹簧进行收缩，保证挤压弹簧在长时间工作之后的挤压力度，从而使得转动框和调整框能够对探针结构进行稳定限位，保证探针结构调整之后的稳定固定，提高该机构调整的稳定性；

11、2.进一步的，通过挤压环对弹性圈进行挤压，可以保证弹性圈形变之后与运动盘之间的摩擦力度，进而保证探针结构转动调整之后的角度固定，进一步的提高了该机构工作的稳定性，同时在一定范围能够与探针结构进行无级角度调整，实现多样化检测使用；

12、3.更进一步的，该设计不仅提升了挤压环与转动轴之间配合的紧密性，还能够在调整过程中有效防止探针结构发生偏移，确保检测精度的稳定性，同时延长了设备的使用寿命，为实际应用提供了更可靠的保障。

1.一种固定调整针卡机构，包括支撑底板（1）以及支撑底板（1）上端设置的高温卡盘（2）；

2.根据权利要求1所述的一种固定调整针卡机构，其特征在于：所述调整结构包括转动杆（8），且转动杆（8）通过螺钉转动安装在转动盘（6）上端，并且转动杆（8）上端设置的安装块（9）位于探针结构（7）的外侧。

3.根据权利要求2所述的一种固定调整针卡机构，其特征在于：所述安装块（9）的内部转动安装有转动框（10）和调整框（11），且转动框（10）和调整框（11）分别位于探针结构（7）的两侧，并且调整框（11）靠近安装块（9）的一侧内部固定安装有转动轴（12）。

4.根据权利要求3所述的一种固定调整针卡机构，其特征在于：所述转动轴（12）靠近安装块（9）的一端转动安装有运动盘（13），且运动盘（13）远离转动轴（12）的一端固定安装有伸缩杆（14），并且伸缩杆（14）的外侧套设有挤压弹簧（15），同时伸缩杆（14）远离转动轴（12）的一端固定安装有运动块（16）。

5.根据权利要求4所述的一种固定调整针卡机构，其特征在于：所述运动块（16）远离运动盘（13）的一端固定安装有运动筒（17），且运动筒（17）的内部螺纹安装有转动螺杆（18），并且转动螺杆（18）远离运动筒（17）一端固定安装的转动件（19）位于安装块（9）的外侧，同时运动盘（13）和运动块（16）均与安装块（9）滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种固定调整针卡机构，其特征在于：所述限位结构包括运动推杆（20），且运动推杆（20）设置在运动块（16）的外侧，并且运动推杆（20）靠近运动盘（13）的一端固定安装有连接件（21），同时连接件（21）内部滑动安装的连接杆（22）与安装块（9）转动连接。

7.根据权利要求6所述的一种固定调整针卡机构，其特征在于：所述连接杆（22）远离连接件（21）的一端转动安装有调整杆（23），且调整杆（23）远离连接杆（22）的一端转动安装有挤压环（24），并且挤压环（24）位于转动轴（12）的外侧，所述挤压环（24）靠近运动盘（13）的一端嵌套安装有弹性圈（25），且弹性圈（25）分别与挤压环（24）和运动盘（13）紧密接触。