一种拉晶炉的制作方法

本申请涉及半导体制造，尤其涉及一种拉晶炉。

背景技术：

1、拉晶炉是一种采用丘克劳斯基法(czochralski法，简称cz法)制备硅晶体的设备。拉晶炉拉制单晶硅棒时，多晶硅块等原料放入坩埚内，在保护性气体中加热融化硅熔液，硅熔液按籽晶的硅原子排列顺序结晶凝固成单晶硅棒。

2、但相关技术中的拉晶炉在使用时，不具备对炉内气体流量进行调节的功能，导致无法对晶体的生长速度进行控制，使得半导体拉晶炉的使用效果不佳。

技术实现思路

1、基于上述技术问题，本申请提供一种能对炉内气体流量进行调节的拉晶炉，以对晶体的生长速度进行控制，提高拉晶炉的使用效果。

2、本申请通过以下技术方案来实现：

3、一种拉晶炉，该种拉晶炉包括：炉体；隔板，连接所述炉体，并设置于所述炉体内，所述隔板将所述炉体内部分隔为第一腔体和第二腔体，所述第一腔体与所述第二腔体相邻；保温罩，设置于所述第一腔体内，并罩设所述隔板的顶面的至少部分，所述保温罩具有和所述隔板相对的支撑壁，所述支撑壁开设有连通孔；坩埚，设置于所述第一腔体内，并位于所述保温罩内，所述坩埚的开口朝向所述连通孔；调节筒和调节机构，所述调节筒通过所述调节机构活动设置于所述支撑壁背向所述隔板的一侧，所述调节筒的至少部分的竖向投影位于所述连通孔内，所述调节机构包括：驱动件，具有可转动地输出部；第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆转动连接于所述支撑壁背向所述隔板的一侧，所述第一支撑杆和所述驱动件的输出部连接，且，所述第一支撑杆螺纹穿设所述调节筒；所述第二支撑杆连接于所述支撑壁背向所述隔板的一侧，所述第二支撑杆活动穿设所述调节筒；其中：在所述驱动件的驱动下，所述调节筒向靠近所述连通孔或远离所述连通孔的方向移动，以调整所述连通孔的进气量。

4、本申请所提供的拉晶炉，当需要调整炉体内部的气体流量时，控制驱动件转动，驱动件的输出部驱动第一支撑杆同步转动，由于第一支撑杆螺纹穿设调节筒，第二支撑杆滑动穿设调节筒，在第一支撑杆转动的条件下，驱动调节筒沿着第一支撑杆和第二支撑杆的延展方向移动，继而使调节筒向靠近连通孔或远离连通孔的方向移动，以调整连通孔的进气量，继而调节炉内气体流量，以对晶体的生长速度进行控制，提高拉晶炉的使用效果，具有很好的实用性。

5、在一些实施方案中，所述调节机构还包括：第一支撑座，连接于所述支撑壁背向所述隔板的一侧，所述第一支撑杆的一端转动连接所述支撑壁，所述第一支撑杆的另一端转动连接所述第一支撑座，所述驱动件连接所述第一支撑座，并和所述第一支撑杆的另一端连接；第二支撑座，连接于所述支撑壁背向所述隔板的一侧，所述第二支撑杆的一端连接所述支撑壁，所述第二支撑杆的另一端连接所述第二支撑座。

6、在一些实施方案中，所述调节筒包括：筒体，和所述连通孔沿竖向依次设置，所述筒体沿轴向贯通，以形成进气通道，所述筒体可向靠近所述连通孔或远离所述连通孔的方向移动，以调整所述连通孔的进气量；连接环，连接所述筒体的顶端，所述连接环设置有凸出所述筒体的周向侧壁的第一滑块和第二滑块，所述第一滑块设置有供所述第一支撑杆螺纹穿设的螺纹孔，所述第二滑块设置有供所述第二支撑杆滑动穿设的导向孔。

7、在一些实施方案中，所述连接环和所述筒体可拆卸连接。

8、在一些实施方案中，所述连接环设置有连接孔，所述筒体的顶面开设有插孔，所述插孔和所述连接孔对应连通；所述拉晶炉还包括快拆组件，所述快拆组件、所述连接孔和所述插孔一一对应设置，所述快拆组件包括：固定套，相适配地设置于所述连接孔内；拉杆，沿所述固定套的轴向活动贯穿所述固定套，所述拉杆的顶端凸出所述固定套的顶端，所述拉杆的底端凸出所述固定套的底端，所述拉杆的底端插设至所述插孔；驱动环，设置于所述固定套内，并滑动套设所述拉杆；复位件，设置于所述固定套内，所述复位件的一端连接所述驱动环，所述复位件的另一端连接所述固定套的顶端或底端。

9、在一些实施方案中，所述筒体的顶面设置有两个第一定位部，两个第一定位部相对设置于所述进气通道的两侧，所述第一定位部从所述进气通道的侧壁延展至所述筒体的外侧壁，所述连接环的底面设置有第二定位部，所述第二定位部和所述第一定位部一一对应设置，所述第一定位部和所述第二定位部的其中一者为卡槽，另一者为卡块，所述卡块相适配地滑动设置于对应的所述卡槽中。

10、在一些实施方案中，所述第一定位部为卡块，所述插孔开设于所述第一定位部的顶面，所述第二定位部为卡槽，所述连接孔延伸至所述第二定位部的槽底；或者，所述第一定位部为卡槽，所述插孔开设在所述第一定位部的槽底，所述第二定位部为卡块，所述连接孔延伸至所述第二定位部的底面。

11、在一些实施方案中，沿垂直于所述卡块的滑动方向，所述第一定位部和所述第二定位部的截面的顶部尺寸大于底部尺寸。

12、在一些实施方案中，所述拉晶炉还包括：导流筒，连接所述支撑壁，且设置于所述连通孔内，所述导流筒沿轴向贯通，以形成导流通道，所述调节筒的至少部分相适配穿设至所述导流通道内；所述导流通道为圆台状，所述导流通道的第一端的半径大于所述导流通道的第二端的半径，所述导流通道的第一端位于所述第二端之上。

13、在一些实施方案中，所述连通孔为圆台状，所述连通孔的第一端的半径大于所述连通孔的第二端的半径，所述连通孔的第一端位于所述第二端之上，所述调节筒的至少部分相适配穿设至所述连通孔内。

1.一种拉晶炉，其特征在于，所述拉晶炉包括：

2.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述调节机构还包括：

3.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述调节筒包括：

4.根据权利要求3所述的拉晶炉，其特征在于，所述连接环和所述筒体可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的拉晶炉，其特征在于，所述连接环设置有连接孔，所述筒体的顶面开设有插孔，所述插孔和所述连接孔对应连通；

6.根据权利要求5所述的拉晶炉，其特征在于，所述筒体的顶面设置有两个第一定位部，两个第一定位部相对设置于所述进气通道的两侧，所述第一定位部从所述进气通道的侧壁延展至所述筒体的外侧壁，所述连接环的底面设置有第二定位部，所述第二定位部和所述第一定位部一一对应设置，所述第一定位部和所述第二定位部的其中一者为卡槽，另一者为卡块，所述卡块相适配地滑动设置于对应的所述卡槽中。

7.根据权利要求6所述的拉晶炉，其特征在于，所述第一定位部为卡块，所述插孔开设于所述第一定位部的顶面，所述第二定位部为卡槽，所述连接孔延伸至所述第二定位部的槽底；或者，

8.根据权利要求6所述的拉晶炉，其特征在于，沿垂直于所述卡块的滑动方向，所述第一定位部和所述第二定位部的截面的顶部尺寸大于底部尺寸。

9.根据权利要求1-8任一项所述的拉晶炉，其特征在于，所述拉晶炉还包括：

10.根据权利要求1-8任一项所述的拉晶炉，其特征在于，所述连通孔为圆台状，所述连通孔的第一端的半径大于所述连通孔的第二端的半径，所述连通孔的第一端位于所述第二端之上，所述调节筒的至少部分相适配穿设至所述连通孔内。