单晶金刚石衬底的制作方法

本公开涉及单晶金刚石衬底。本申请要求于2024年3月28日提交的日本申请第2024-054171号的优先权，并在此援引上述日本申请中记载的全部记载内容。

背景技术：

1、近年来，作为金刚石的新用途，将金刚石用于磁传感器备受关注。磁传感器用金刚石中以置换方式添加有氮（专利文献1）。磁传感器用金刚石例如由单晶金刚石衬底制作而成。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：国际公开第2022/210566号

技术实现思路

1、本公开的单晶金刚石衬底包括第一主面和与所述第一主面相对的第二主面。所述第一主面和所述第二主面各自包含面积为0.25mm2以上的连续的单一的生长扇区。所述生长扇区中氮以原子数为基准的含有率的平均值c1为0.01ppm以上且50ppm以下。

1.一种单晶金刚石衬底，包括第一主面和与所述第一主面相对的第二主面，

2.根据权利要求1所述的单晶金刚石衬底，其中，

3.根据权利要求1或2所述的单晶金刚石衬底，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的单晶金刚石衬底，其中，

5.根据权利要求1至3中任一项所述的单晶金刚石衬底，其中，

6.根据权利要求1至3中任一项所述的单晶金刚石衬底，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的单晶金刚石衬底，其中，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的单晶金刚石衬底，其中，