真空泵以及排气管温度控制方法与流程

本发明涉及抽真空，具体而言，涉及一种真空泵以及排气管温度控制方法。

背景技术：

1、在半导体制造过程中，各类电子特种气体被大量用作制程物料，广泛应用于薄膜沉积、刻蚀等关键工序。这些特种气体对输送管路及泵体温度极为敏感：温度过低时，气体易发生液化，或导致制程副产物结晶析出，从而堵塞管路；温度过高则可能引发气体分解、管路腐蚀，甚至损坏加热带等部件，最终影响生产稳定性与产品良率。

2、然而，经发明人研究发现，现有真空泵系统仅针对泵体本身设有独立的降温与加热功能，而泵体外部排气部位的管路仍为单一结构，缺乏有效温控手段，导致该区域温度波动较大，极易形成局部堵塞，成为制约工艺可靠性的薄弱环节。

技术实现思路

1、本发明的目的包括提供一种真空泵以及排气管温度控制方法，其能够有效防止特种气体因温度过低而液化或析出结晶，以及因温度过高而发生热分解或腐蚀管路，显著提升排气路径的运行稳定性。

2、本发明的实施例可以这样实现：

3、第一方面，本发明提供一种真空泵，包括：

4、泵体，泵体开设有出气口；

5、排气管，排气管与出气口连通；

6、冷却单元，设于排气管的外侧，用于对排气管进行降温；

7、加热单元，设于冷却单元的外侧，用于对排气管进行加热。

8、在可选的实施方式中，冷却单元包括冷却盘管，冷却盘管绕设于排气管的外侧，内部设有用于通入冷却介质的冷却流道。

9、在可选的实施方式中，冷却单元还包括电磁阀，电磁阀设于冷却盘管内，用于通断冷却流道。

10、在可选的实施方式中，加热单元包括加热层和保温层；且加热层包覆在冷却单元的外侧，保温层包覆在加热层的外侧。

11、在可选的实施方式中，加热层内设有加热丝，加热丝用于与外部供电回路电连接。

12、在可选的实施方式中，加热单元还包括绝缘层，绝缘层包覆在保温层的外侧。

13、在可选的实施方式中，真空泵还包括温控开关，温控开关用于串联接入加热单元的供电回路中，以在排气管的温度高于预设危险阈值时切断供电回路。

14、在可选的实施方式中，真空泵还包括温度检测模块，温度检测模块设于排气管上，用于实时获取排气管温度。

15、在可选的实施方式中，真空泵还包括控制器，控制器与温度检测模块、冷却单元及加热单元电连接，用于依据排气管温度，控制冷却单元开启以对排气管降温；或控制加热单元开启以对排气管升温。

16、第二方面，本发明提供一种排气管温度控制方法，应用于前述实施方式任一项的真空泵，方法包括：

17、获取排气管温度；

18、判断排气管温度是否大于第一预设温度阈值；若是，则控制冷却单元开启以对排气管降温；

19、判断排气管温度是否小于第二预设温度阈值；若是，则控制加热单元开启以对排气管升温；

20、其中，第一预设温度阈值高于第二预设温度阈值。

21、本发明实施例提供的真空泵和排气管温度控制方法的有益效果包括：

22、本发明提供了一种真空泵以及排气管温度控制方法，该真空泵包括泵体、排气管、冷却单元和加热单元。其中，泵体开设有出气口。排气管与出气口连通，用于排出经泵体处理后的特种气体。在上述基础上，冷却单元设于排气管的外侧，用于对排气管进行降温。加热单元设于冷却单元的外侧，用于对排气管进行加热。可以理解的是，通过在排气管上依次设置冷却单元与加热单元，形成可独立启停的温控结构，使排气管温度可根据工况需要被主动调节至适宜区间，从而有效防止特种气体因温度过低而液化或析出结晶，以及因温度过高而发生热分解或腐蚀管路，显著提升排气路径的运行稳定性。

1.一种真空泵，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述冷却单元（300）包括冷却盘管（310），所述冷却盘管（310）绕设于所述排气管（200）的外侧，内部设有用于通入冷却介质的冷却流道。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述冷却单元（300）还包括电磁阀，所述电磁阀设于所述冷却盘管（310）内，用于通断所述冷却流道。

4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述加热单元（400）包括加热层（410）和保温层（430）；且所述加热层（410）包覆在所述冷却单元（300）的外侧，所述保温层（430）包覆在所述加热层（410）的外侧。

5.根据权利要求4所述的真空泵，其特征在于，所述加热层（410）内设有加热丝，所述加热丝用于与外部供电回路电连接。

6.根据权利要求4所述的真空泵，其特征在于，所述加热单元（400）还包括绝缘层（450），所述绝缘层（450）包覆在所述保温层（430）的外侧。

7.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述真空泵（10）还包括温控开关（510），所述温控开关（510）用于串联接入所述加热单元（400）的供电回路中，以在所述排气管（200）的温度高于预设危险阈值时切断所述供电回路。

8.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述真空泵（10）还包括温度检测模块（530），所述温度检测模块（530）设于所述排气管（200）上，用于实时获取所述排气管（200）温度。

9.根据权利要求8所述的真空泵，其特征在于，所述真空泵（10）还包括控制器（610），所述控制器（610）与所述温度检测模块（530）、所述冷却单元（300）及所述加热单元（400）电连接，用于依据所述排气管（200）温度，控制所述冷却单元（300）开启以对所述排气管（200）降温；或控制所述加热单元（400）开启以对所述排气管（200）升温。

10.一种排气管温度控制方法，其特征在于，应用于权利要求1至9任一项所述的真空泵，所述方法包括：