真空发生装置和真空泵的制作方法

本发明涉及真空发生装置和真空泵。

背景技术：

1、已知一种在主体的内部具备过滤器（第一过滤器）并使形成于主体的内部的流路（吸引路）为真空的真空供给装置（真空发生装置）（例如，参照专利文献1）。

2、在该真空供给装置中，将过滤器以能相对于主体拆装的方式设于该主体。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开平05-69366号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的问题

2、然而，在专利文献1所记载的技术中，虽然在配置于外部侧的真空端口侧配置过滤器，但在作为真空泵侧的压缩空气供给端口侧未配置过滤器，因此在从主体的内部的间隙吸引的空气中包含异物的情况下，恐怕异物会进入真空泵。

3、本发明是鉴于上述情况而完成的，提供一种能抑制异物进入真空泵的内部并且能提高更换过滤器时的作业性的真空发生装置等。

4、用于解决问题的方案

5、为了解决上述的问题并达成目的，本发明的真空发生装置具备：真空泵，具有拆装部；主体，能供所述真空泵通过所述拆装部拆装；以及集尘构件，装配于所述主体，所述主体具备：第一开口，位于所述真空泵侧；第二开口，位于所述集尘构件侧；吸引路，将所述第一开口与所述第二开口连通；止回阀，设于所述吸引路，所述止回阀防止由所述真空泵产生的从所述第二开口朝向所述第一开口的气体的流动的逆流；电磁阀，设于与所述吸引路连通的分支路，所述电磁阀根据来自外部装置的指令而在开状态与闭状态之间进行切换，所述开状态是将所述吸引路与外部连通的状态，所述闭状态是防止所述吸引路与所述外部的连通的状态；以及第一过滤器，覆盖所述第二开口，所述集尘构件以能相对于所述主体拆装的方式设于所述主体，并具有能容纳所述第一过滤器的内部空间。

6、根据本发明的真空发生装置的一个方案，提供一种能抑制异物进入真空泵的内部并且能提高更换过滤器时的作业性的泵等。

1.一种真空发生装置，具备：

2.根据权利要求1所述的真空发生装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的真空发生装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的真空发生装置，还具备：

5.根据权利要求1或2所述的真空发生装置，还具备：

6.根据权利要求1或2所述的真空发生装置，其中，

7.根据权利要求1或2所述的真空发生装置，其中，

8.根据权利要求1或2所述的真空发生装置，还具备：

9.一种真空泵，使形成于主体的吸引路产生真空，所述真空泵具备：

10.根据权利要求9所述的真空泵，其中，

11.根据权利要求10所述的真空泵，其中，

12.根据权利要求9～11中任一项所述的真空泵，还具备：

13.一种真空发生装置，具备：

14.根据权利要求13所述的真空发生装置，具备：

15.一种真空发生装置，具备：

16.根据权利要求13至15中任一项所述的真空发生装置，其中，

17.根据权利要求13至15中任一项所述的真空发生装置，其中，

18.根据权利要求13至15中任一项所述的真空发生装置，其中，

19.根据权利要求18所述的真空发生装置，其中，

20.根据权利要求13至15中任一项所述的真空发生装置，还具备：

21.根据权利要求13至15中任一项所述的真空发生装置，还具备：