基板搬送方法与流程

本发明涉及一种高效率地进行基板的搬送的基板搬送方法。

背景技术：

1、组装有电子零件的基板广泛使用于计算机及其相关设备、医疗器械、工业机器人、运输设备等。近年来，安装于基板的电子零件及配线的高密度化显著，两面配置有电子零件及配线的双面基板、或在多个层配置有电子零件的多层基板不断普及。双面基板或多层基板通过对基板的两面实施多道精密的制造工序而制造。

2、基板的制造工序为了防止混入异物，需要在灰尘等较少的非常洁净的环境下进行。尤其是在双面基板或多层基板的制造工序中，需要进行多次清洁工序来对基板的表面进行清洁处理。因此，从进行清洁处理的装置到其他制造装置的有效率的搬送尤为重要。

3、在专利文献1中，公开一种具备能够提高印刷配线板的可靠性的清洁装置的印刷配线板的制造装置。在专利文献2中，公开一种具备搬送机构及翻转机构的基板翻转装置。如此，存在许多以电路基板的各制造工序为对象的基本技术。然而，至今仍未公开用于自动且高效率地从清洁处理装置搬送到其他制造装置的搬送方法。

4、现有技术文献：

5、专利文献：

6、专利文献1：日本专利特开2007-294938号公报；

7、专利文献2：日本专利特开2021-158196号公报。

技术实现思路

1、发明要解决的问题：

2、本发明是鉴于上述现状而完成的，将提供比以往更高效率地搬送基板的搬送方法作为应解决的课题。本发明的目的尤其是提供一种高效率且自动将基板从清洁处理装置搬送至下一制造装置即印刷处理部的搬送方法。

3、解决问题的方法：

4、本发明涉及一种使用机械臂及握持单元，在清洁处理部与印刷处理部之间搬送基板，对基板的两面进行处理的基板搬送方法。本发明中所使用的机械臂具备绕中心轴旋转的末端执行器。本发明中所使用的握持单元配置于基板的清洁处理部的上方，可沿上下方向移动。本发明的基板搬送方法具备：

5、搬入工序，机械臂的末端执行器从搬入单元接收基板；

6、第一搬送工序，末端执行器将基板配置于清洁处理部上；

7、第一保持工序，末端执行器从清洁处理部举起并保持清洁处理后的基板；

8、第二搬送工序，末端执行器将清洁处理后的基板移动至印刷处理部；

9、第二保持工序，末端执行器从印刷处理部举起并保持印刷处理后的基板；

10、翻转工序，末端执行器使举起的印刷处理后的基板成为翻转的状态，并使握持单元握持；

11、第三搬送工序，握持单元将所握持的基板配置于清洁处理部上；

12、第三保持工序，末端执行器从清洁处理部举起并保持清洁处理后的基板；

13、第四搬送工序，末端执行器将清洁处理后的基板移动至印刷处理部上；以及

14、搬出工序，末端执行器将印刷处理后的基板从印刷处理部移动至搬出单元。

15、本发明的基板搬送方法的翻转工序优选为包括通过使举起基板的状态的末端执行器绕中心轴旋转180度而将基板上下翻转。

16、本发明的基板搬送方法可将两片基板为一组进行搬送。本发明的基板搬送方法可通过机械臂及握持单元搬送基板，对两片基板的两面进行处理。

17、以两片基板为一组进行搬送的机械臂的末端执行器具备2个具有二次旋转对称性的保持部。当以两片基板为一组进行搬送时，本发明的基板搬送方法在第一保持工序、第二保持工序、以及第三保持工序的至少一部分期间中，2个保持部分别以各保持1片基板的状态搬送基板。

18、通过机械臂及握持单元将两片基板为一组搬送至清洁处理部及印刷处理部的工序优选为按照以下顺序依序进行以下工序。即，

19、针对第一基板的搬入工序、

20、针对第一基板的第一搬送工序、

21、针对第二基板的搬入工序、

22、针对第一基板的第一保持工序、

23、针对第二基板的第一搬送工序、

24、针对第一基板的第二搬送工序、

25、针对第二基板的第一保持工序、

26、针对第一基板的第二保持工序、

27、针对第二基板的第二搬送工序、

28、针对第一基板的翻转工序、

29、针对第一基板的第三搬送工序、

30、针对第一基板的第三保持工序、

31、针对第二基板的第二保持工序、

32、针对第一基板的第四搬送工序、

33、针对第二基板的翻转工序、

34、针对第二基板的第三搬送工序、

35、针对第二基板的第三保持工序、

36、针对第一基板的搬出工序、

37、针对第二基板的第四搬送工序、以及

38、针对第二基板的搬出工序，

39、通过依序执行以上工序，可将两片基板搬送至清洁处理部及印刷处理部。

40、本发明的基板搬送方法在搬入工序之前，可进而具备搬入单元进行基板定位的定位工序。定位工序可通过利用搬入单元所具备的光电传感器来检测基板的中央位置而执行。

41、机械臂的末端执行器及握持单元优选为通过握持或吸附距所述基板的周缘保持宽度10mm的范围而进行搬送。

42、发明的效果：

43、本发明的基板搬送方法具备利用机械臂及握持单元所进行的翻转工序。通过翻转工序，在搬送中可容易地进行基板的上下翻转。因此，无需在处理装置中设置用于翻转的构成，可容易且高效率地执行基板的两面的处理。

44、本发明的基板搬送方法可将两片基板为一组进行搬送。通过将两片基板为一组进行搬送，与逐片搬送基板相比，可缩短搬送装置的运转距离，可缩短搬送所需的时间。而且，下一步要处理的基板可在处理时间较长的装置前待机，可更高效率地处理基板。

45、本发明的基板搬送方法可通过定位工序，以准确定位的状态搬入基板。由此，可更高效率地、准确地进行搬送。

1.一种基板搬送方法，其特征在于，通过使用具备绕中心轴旋转的末端执行器的机械臂、以及配置于基板的清洁处理部的上方而沿上下方向移动的握持单元，而在所述清洁处理部与印刷处理部之间搬送基板，对所述基板的两面进行处理，且所述基板搬送方法具备：

2.根据权利要求1所述的基板搬送方法，其特征在于，所述翻转工序通过使保持所述基板的所述末端执行器绕所述中心轴旋转180度而将其上下翻转。

3.根据权利要求1所述的基板搬送方法，其特征在于，通过使用所述机械臂及所述握持单元，以两片基板为一组进行搬送，对两片所述基板的两面进行处理，且

4.根据权利要求3所述的基板搬送方法，其特征在于，通过所述机械臂及所述握持单元将两片基板为一组搬送至所述清洁处理部及所述印刷处理部的工序为依序执行以下工序的工序，即，

5.根据权利要求1所述的基板搬送方法，其特征在于，在所述搬入工序之前，进而具备所述搬入单元进行所述基板的定位的定位工序，

6.根据权利要求1所述的基板搬送方法，其特征在于，所述机械臂的所述末端执行器及所述握持单元通过握持或吸附距所述基板的周缘保持宽度10mm的范围而进行搬送。