一种气路结构及加工设备的制作方法

本技术涉及光伏电池片加工，尤其涉及一种气路结构及加工设备。

背景技术：

1、光伏电池片加工设备包括用于输送工艺气体的气路结构。传统的气路结构上设有流量调节阀，并通过控制流量调节阀的开度来调节工艺气体的流量，以满足光伏电池片加工工艺的使用需求。

2、然而，当调节工艺气体流量时，工艺气体的压力也会发生变化。例如，流量调节阀的开度变大时，气路结构的流量变大，压力变小。难以同时满足光伏电池片加工工艺对于工艺气体的流量和压力的需求，通入设备的工艺气体的精准度有限。

3、有鉴于此，需要提出一种新的技术方案来解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种气路结构及加工设备，通入设备的工艺气体的精准度高。

2、为实现上述目的，本实用新型采用以下技术手段：

3、本实用新型提供一种气路结构，包括：

4、进气管路，进气管路包括调流管路和调压管路，调流管路设有流量调节阀和流量表；调压管路与调流管路连接，并且调压管路设有调压阀和压力表。

5、可选地，进气管路还包括第一手动阀；在工艺气体的流动方向上，调压管路设于调流管路的上游，第一手动阀设于调压管路的上游。

6、可选地，包括多条进气管路，多条进气管路相互并联设置。

7、可选地，进气管路还包括中间管路，中间管路设于调流管路与调压管路之间，并且中间管路上设有第二手动阀和/或过滤器。

8、可选地，还包括压力检测管路，压力检测管路上设有薄膜规；或者

9、压力检测管路上设有薄膜规和电子压力规。

10、可选地，还包括抽真空管路，抽真空管路的一端与压力检测管路连接、另一端连接有真空泵，抽真空管路上设有主抽阀。

11、可选地，抽真空管路包括抽真空主路和抽真空支路，抽真空主路与抽真空支路并联设置，抽真空主路上设置主抽阀，抽真空支路上设有预抽阀。

12、可选地，抽真空管路包括抽真空主路，抽真空主路上设有蝶阀。

13、可选地，调流管路与调压管路串联连接或并联连接。

14、本实用新型的第二方面，提供一种加工设备，加工设备包括以上任一实施方式的气路结构。

15、相比于现有技术，本实用新型带来以下技术效果：

16、本实用新型的气路结构，通过设置调流管路和调压管路，并在调流管路上设置流量调节阀，在调压管路上设置调压阀，通过调节流量调节阀的开度对气路结构内的工艺气体的流量进行调节时，并通过调节调压阀的开度对工艺气体的压力进行调节，直至工艺气体的流量和精度均满足光伏电池片的加工需求，通入设备的工艺气体的精准度高。

1.一种气路结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的气路结构，其特征在于，所述进气管路还包括第一手动阀；在工艺气体的流动方向上，所述调压管路设于所述调流管路的上游，所述第一手动阀设于所述调压管路的上游。

3.根据权利要求1所述的气路结构，其特征在于，包括多条所述进气管路，多条所述进气管路相互并联设置。

4.根据权利要求1所述的气路结构，其特征在于，所述进气管路还包括中间管路，所述中间管路设于所述调流管路与所述调压管路之间，并且所述中间管路上设有第二手动阀和/或过滤器。

5.根据权利要求1所述的气路结构，其特征在于，还包括压力检测管路，所述压力检测管路上设有薄膜规；或者

6.根据权利要求5所述的气路结构，其特征在于，还包括抽真空管路，所述抽真空管路的一端与所述压力检测管路连接、另一端连接有真空泵，所述抽真空管路上设有主抽阀。

7.根据权利要求6所述的气路结构，其特征在于，所述抽真空管路包括抽真空主路和抽真空支路，所述抽真空主路与所述抽真空支路并联设置，所述抽真空主路上设置主抽阀，所述抽真空支路上设有预抽阀。

8.根据权利要求6所述的气路结构，其特征在于，所述抽真空管路包括抽真空主路，所述抽真空主路上设有蝶阀。

9.根据权利要求1所述的气路结构，其特征在于，所述调流管路与所述调压管路串联连接或并联连接。

10.一种加工设备，其特征在于，包括权利要求1~9任一所述的气路结构。