一种ALD前驱体源的分装装置的制作方法

本技术涉及ald充装领域，特别涉及一种ald前驱体源的分装装置。

背景技术：

1、半导体技术发展越来越快，先进制程对关键材料的要求也越来越高，在半导体材料的生产过程中，每一步的制程都要求非常严格。在产品生产过程中，尽量减少人工操作，控制人为因素。前驱体源的分装过程中，如果不严格管控，很容易在分装过程中引入颗粒污染物，将会导致整个产品出现变质，从而引发质量事故，液体化学品在分装的管路内壁上会有微量的残留，传统的抽充置换管路的方法，很难将管壁上残留的微量化学源置换干净。因此，提供一种ald前驱体源的分装装置希冀解决上述的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种ald前驱体源的分装装置，可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

3、一种ald前驱体源的分装装置，包括第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门、第八阀门、第九阀门、第十阀门、第十一阀门、第十二阀门、第十三阀门、第十四阀门、冷阱真空缓冲罐、清洗溶剂罐、ald源原料罐、ald源成品接收罐、清洗溶剂接收罐、n2、vent、vac、第二数显压力表和第一数显压力表，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门、第八阀门、第九阀门、第十阀门、第十一阀门、第十二阀门、第十三阀门、第十四阀门、冷阱真空缓冲罐、清洗溶剂罐、ald源原料罐、ald源成品接收罐和清洗溶剂接收罐之间通过管路连接设置，所述清洗溶剂罐、ald源原料罐、ald源成品接收罐和清洗溶剂接收罐底部均设置有电子秤，电子秤均带有数据信号传输功能，可以通过在plc系统上设置好充装的重量，做到自动充装，到达充装重量后，可以自动停止充装，保证充装的重量准确，pt1、pt2是带有数据传输功能的数显压力表。

4、优选的，所述清洗溶剂罐通过第五阀门、第六阀门和管路与ald源原料罐连接。

5、优选的，所述清洗溶剂罐通过第五阀门、第八阀门和管路与ald源成品接收罐连接。

6、优选的，所述清洗溶剂罐通过第四阀门、第十三阀门和管路与清洗溶剂接收罐连接，在此第四阀门、第十三阀门之间的管路上连接有第二数显压力表、第一阀门、第二阀门和第三阀门，所述第一阀门连接n2、第二阀门连接vent、第三阀门通过管路与冷阱真空缓冲罐连接，所述冷阱真空缓冲罐与vac连接。

7、优选的，所述ald源原料罐通过第七阀门、第九阀门和管路与ald源成品接收罐连接，在所述第九阀门与ald源成品接收罐连通的管路上连接有第一数显压力表，且第一数显压力表与管路之间设置有第十二阀门。

8、优选的，所述ald源原料罐通过第十阀门、第十四阀门和管路与清洗溶剂接收罐连接。

9、优选的，所述ald源成品接收罐通过第十一阀门、第十四阀门和管路与清洗溶剂接收罐连接。

10、优选的，所述第一阀门、第二阀门和第三阀门均通过第四阀门、第七阀门、第九阀门、第十三阀门和管路分别与清洗溶剂罐、ald源原料罐、ald源成品接收罐和清洗溶剂接收罐连接。

11、优选的，第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门、第八阀门、第九阀门、第十阀门、第十一阀门、第十二阀门、第十三阀门、第十四阀门均为气动隔膜阀，vac为真空管线，vent是排空管线，n2是高纯气体氮气管线。

12、优选的，包括由第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门、第八阀门、第九阀门、第十阀门、第十一阀门、第十二阀门、第十三阀门、第十四阀门、电子秤、第二数显压力表和第一数显压力表构成的plc控制系统。

13、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

14、本实用新型公开了一种ald前驱体源的分装装置，采用plc控制系统与带信号传输功能的电子秤、数显压力表配合，可实现自动充装、自动停止、自动清洗等操作，有效降低人为操作误差和污染风险；通过溶剂清洗管路设计，可在分装前后对管路进行彻底清洗，有效去除残留的前驱体或溶剂，避免批次间污染，保障产品纯度；设置的集成氮气加压、真空抽吸、排气泄压（vent）及冷阱缓冲罐，可实现系统的正压输送、负压抽取、压力平衡与安全排放，保障操作过程稳定可控；各罐体底部设有电子秤，关键管路配备数显压力表，实现充装重量与系统压力的实时监测与反馈，确保分装精度。

1.一种ald前驱体源的分装装置，其特征在于：包括第一阀门（1）、第二阀门（2）、第三阀门（3）、第四阀门（4）、第五阀门（5）、第六阀门（6）、第七阀门（7）、第八阀门（8）、第九阀门（9）、第十阀门（10）、第十一阀门（11）、第十二阀门（12）、第十三阀门（13）、第十四阀门（14）、冷阱真空缓冲罐（101）、清洗溶剂罐（102）、ald源原料罐（103）、ald源成品接收罐（104）、清洗溶剂接收罐（105）、n2、vent、vac、第二数显压力表（17）和第一数显压力表（16），所述第一阀门（1）、第二阀门（2）、第三阀门（3）、第四阀门（4）、第五阀门（5）、第六阀门（6）、第七阀门（7）、第八阀门（8）、第九阀门（9）、第十阀门（10）、第十一阀门（11）、第十二阀门（12）、第十三阀门（13）、第十四阀门（14）、冷阱真空缓冲罐（101）、清洗溶剂罐（102）、ald源原料罐（103）、ald源成品接收罐（104）和清洗溶剂接收罐（105）之间通过管路连接设置，所述清洗溶剂罐（102）、ald源原料罐（103）、ald源成品接收罐（104）和清洗溶剂接收罐（105）底部均设置有电子秤（15）。

2.根据权利要求1所述的一种ald前驱体源的分装装置，其特征在于：所述清洗溶剂罐（102）通过第五阀门（5）、第六阀门（6）和管路与ald源原料罐（103）连接。

3.根据权利要求1所述的一种ald前驱体源的分装装置，其特征在于：所述清洗溶剂罐（102）通过第五阀门（5）、第八阀门（8）和管路与ald源成品接收罐（104）连接。

4.根据权利要求1所述的一种ald前驱体源的分装装置，其特征在于：所述清洗溶剂罐（102）通过第四阀门（4）、第十三阀门（13）和管路与清洗溶剂接收罐（105）连接，在此第四阀门（4）、第十三阀门（13）之间的管路上连接有第二数显压力表（17）、第一阀门（1）、第二阀门（2）和第三阀门（3），所述第一阀门（1）连接n2、第二阀门（2）连接vent、第三阀门（3）通过管路与冷阱真空缓冲罐（101）连接，所述冷阱真空缓冲罐（101）与vac连接。

5.根据权利要求1所述的一种ald前驱体源的分装装置，其特征在于：所述ald源原料罐（103）通过第七阀门（7）、第九阀门（9）和管路与ald源成品接收罐（104）连接，在所述第九阀门（9）与ald源成品接收罐（104）连通的管路上连接有第一数显压力表（16），且第一数显压力表（16）与管路之间设置有第十二阀门（12）。

6.根据权利要求1所述的一种ald前驱体源的分装装置，其特征在于：所述ald源原料罐（103）通过第十阀门（10）、第十四阀门（14）和管路与清洗溶剂接收罐（105）连接。

7.根据权利要求1所述的一种ald前驱体源的分装装置，其特征在于：所述ald源成品接收罐（104）通过第十一阀门（11）、第十四阀门（14）和管路与清洗溶剂接收罐（105）连接。

8.根据权利要求1所述的一种ald前驱体源的分装装置，其特征在于：所述第一阀门（1）、第二阀门（2）和第三阀门（3）均通过第四阀门（4）、第七阀门（7）、第九阀门（9）、第十三阀门（13）和管路分别与清洗溶剂罐（102）、ald源原料罐（103）、ald源成品接收罐（104）和清洗溶剂接收罐（105）连接。

9.根据权利要求1所述的一种ald前驱体源的分装装置，其特征在于：第一阀门（1）、第二阀门（2）、第三阀门（3）、第四阀门（4）、第五阀门（5）、第六阀门（6）、第七阀门（7）、第八阀门（8）、第九阀门（9）、第十阀门（10）、第十一阀门（11）、第十二阀门（12）、第十三阀门（13）、第十四阀门（14）均为气动隔膜阀，vac为真空管线，vent是排空管线，n2是高纯气体氮气管线。

10.根据权利要求1所述的一种ald前驱体源的分装装置，其特征在于：包括由第一阀门（1）、第二阀门（2）、第三阀门（3）、第四阀门（4）、第五阀门（5）、第六阀门（6）、第七阀门（7）、第八阀门（8）、第九阀门（9）、第十阀门（10）、第十一阀门（11）、第十二阀门（12）、第十三阀门（13）、第十四阀门（14）、电子秤（15）、第二数显压力表（17）和第一数显压力表（16）构成的plc控制系统。