一种电子级双槽车化学品转移系统及方法与流程

本发明涉及一种电子级双槽车化学品转移系统及方法。

背景技术：

1、电子级高纯化学品是半导体、微电子行业生产的关键原辅材料，产品对金属离子杂质含量有着严苛的管控标准，物料在转运全过程中对洁净度、密封性以及介质区分管控要求远高于普通化工原料。

2、目前行业内化学品槽车转运大多采用出料槽车卸入储罐、再由储罐灌装至收料槽车的中转工艺，物料经过储罐中转时，储罐内壁锈蚀、残存废液以及环境水汽极易渗入物料内部，造成产品金属离子超标，难以满足电子化学品的高纯使用要求，物料报废损耗居高不下。

技术实现思路

1、本发明的主要目的是为了提供一种电子级双槽车化学品转移系统及方法，以解决上述背景中提出的问题。

2、本发明的目的可以通过采用如下技术方案达到：

3、一种电子级双槽车化学品转移系统，包括：

4、化学品转移管路，所述化学品转移管路的一端与出料槽车通过液相接头连接，所述化学品转移管路的另一端与收料槽车通过液相接头连接；

5、氮气管路，所述氮气管路通过气相接头与出料槽车连接，向所述出料槽车内通入氮气加压，将所述出料槽车内的化学品通过化学品转移管路压入到收料槽车内；

6、尾气排放管路，所述尾气排放管路通过气相接头与收料槽车连接，在化学品转移过程中，所述收料槽车内的气体经过尾气排放管路排出，维持所述收料槽车内部压力为正压状态。

7、优选的，还包括超纯水清洗管路，所述超纯水清洗管路上依次设置有超纯水手动阀、超纯水第一止回阀、超纯水自动阀和超纯水第二止回阀，所述超纯水清洗管路在超纯水第二止回阀后分成两条支路，分别连接在所述化学品转移管路两端的液相接头上，所述氮气管路上设置有两条氮气吹干支路，两条所述氮气吹干支路分别连接到化学品转移管路两端的液相接头上。

8、优选的，所述氮气管路上依次设置有氮气第一手动阀、氮气第一止回阀、氮气第二手动阀、氮气安全阀、过滤器、氮气第一自动阀、氮气第二止回阀、氮气第二自动阀、氮气第三止回阀和氮气第三手动阀，所述氮气吹干支路从氮气第二止回阀和氮气第二自动阀之间引出，所述氮气吹干支路上设置有氮气吹干自动阀。

9、优选的，所述氮气管路上在氮气第二止回阀和氮气第二自动阀之间还设置有氮气吹扫支路，所述氮气吹扫支路连接到尾气排放管路上，所述氮气吹扫支路上设置有氮气吹扫自动阀和氮气吹扫止回阀。

10、优选的，所述氮气管路上在氮气第三止回阀和氮气第三手动阀之间设置有出料残液排空支路，所述出料残液排空支路连接到化学品转移管路上靠近出料槽车的液相接头前方，所述出料残液排空支路上设置有出料残液排空自动阀；

11、所述氮气吹扫支路上在氮气吹扫止回阀的后方设置有收料残液排空支路，所述收料残液排空支路连接到化学品转移管路上靠近收料槽车的液相接头前方，所述收料残液排空支路上设置有收料残液排空自动阀。

12、优选的，所述氮气管路上在氮气第三止回阀和氮气第三手动阀之间设置有氮气泄压支路，所述氮气泄压支路连接到尾气排放管路上，所述氮气泄压支路上设置有氮气泄压压力变送器和氮气泄压自动阀。

13、优选的，所述化学品转移管路上从出料槽车到收料槽车的方向依次设置有化学品转移第一手动阀、化学品转移第一自动阀、管路判空检测仪、流量变送器、化学品转移第二自动阀、化学品转移第二手动阀；

14、所述尾气排放管路上依次设置有尾气排放手动阀、尾气排放压力变送器、尾气排放自动阀、尾气排放蝶阀和尾气排放止回阀。

15、优选的，所述化学品转移管路上靠近出料槽车的一端设置有取样检测管路，所述取样检测管路上设置有取样检测自动阀和取样口。

16、优选的，所述出料槽车下方设置有出料地磅，所述收料槽车下方设置有收料地磅。

17、一种电子级双槽车化学品转移方法，包括以下步骤：

18、步骤s1：将出料槽车和收料槽车分别通过液相接头与化学品转移管路的两端对接，并将氮气管路通过气相接头与出料槽车对接，将尾气排放管路通过气相接头与收料槽车对接；

19、步骤s2：通过氮气管路向出料槽车内通入氮气进行加压，出料槽车内的化学品在氮气压力作用下，经化学品转移管路压入至收料槽车内；

20、步骤s3：在化学品转移过程中，收料槽车内的气体经尾气排放管路排出，使收料槽车内部维持正压状态；

21、步骤s4：当化学品转移量达到设定值时，停止向出料槽车通入氮气，完成化学品转移。

22、与现有技术相比，本发明的有益技术效果是：

23、1、本发明采用两端分别对接出料槽车、收料槽车的化学品转移主管路，氮气管路对出料槽车加压，尾气排放管路排出收料槽车内的气体，形成槽车对槽车的直连转移通路，取消了储罐中转环节，从源头避免了储罐内壁锈蚀、残存废液及环境水汽对物料的污染，确保电子级高纯化学品在转移全过程中的洁净度，满足半导体、微电子行业对金属离子含量的严苛管控标准。

24、2、本发明配置超纯水清洗管路和氮气吹干支路，转料前可对液相接头进行超纯水清洗和氮气吹干，能够清除接头表面附着的杂质、残留化学品与水汽，避免污染化学品，配置的残液排空支路能够将化学品转移管路两端残留化学品分别回收至对应槽车内，确保接头拆装前管内无残液积存，防止不同批次物料交叉污染，防止化学品滴落外泄，避免造成人员腐蚀伤害以及作业区域环境污染。

25、3、本发明提供的出料槽车、收料槽车可充当移动式储罐，既能临时存储电子级化学品，又可直接作为成品发货转运载体，省去固定式储罐的建造投资，精简物料倒运流程，有效提升物料整体周转效率。

1.一种电子级双槽车化学品转移系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种电子级双槽车化学品转移系统，其特征在于：还包括超纯水清洗管路（6），所述超纯水清洗管路（6）上依次设置有超纯水手动阀（601）、超纯水第一止回阀（602）、超纯水自动阀（603）和超纯水第二止回阀（604），所述超纯水清洗管路（6）在超纯水第二止回阀（604）后分成两条支路，分别连接在所述化学品转移管路（1）两端的液相接头上，所述氮气管路（4）上设置有两条氮气吹干支路（7），两条所述氮气吹干支路（7）分别连接到化学品转移管路（1）两端的液相接头上。

3.根据权利要求2所述的一种电子级双槽车化学品转移系统，其特征在于：所述氮气管路（4）上依次设置有氮气第一手动阀（401）、氮气第一止回阀（402）、氮气第二手动阀（403）、氮气安全阀（404）、过滤器（405）、氮气第一自动阀（406）、氮气第二止回阀（407）、氮气第二自动阀（408）、氮气第三止回阀（409）和氮气第三手动阀（410），所述氮气吹干支路（7）从氮气第二止回阀（407）和氮气第二自动阀（408）之间引出，所述氮气吹干支路（7）上设置有氮气吹干自动阀（701）。

4.根据权利要求3所述的一种电子级双槽车化学品转移系统，其特征在于：所述氮气管路（4）上在氮气第二止回阀（407）和氮气第二自动阀（408）之间还设置有氮气吹扫支路（8），所述氮气吹扫支路（8）连接到尾气排放管路（5）上，所述氮气吹扫支路（8）上设置有氮气吹扫自动阀（801）和氮气吹扫止回阀（802）。

5.根据权利要求4所述的一种电子级双槽车化学品转移系统，其特征在于：所述氮气管路（4）上在氮气第三止回阀（409）和氮气第三手动阀（410）之间设置有出料残液排空支路（9），所述出料残液排空支路（9）连接到化学品转移管路（1）上靠近出料槽车（2）的液相接头前方，所述出料残液排空支路（9）上设置有出料残液排空自动阀（901）；

6.根据权利要求3所述的一种电子级双槽车化学品转移系统，其特征在于：所述氮气管路（4）上在氮气第三止回阀（409）和氮气第三手动阀（410）之间设置有氮气泄压支路（11），所述氮气泄压支路（11）连接到尾气排放管路（5）上，所述氮气泄压支路（11）上设置有氮气泄压压力变送器（1101）和氮气泄压自动阀（1102）。

7.根据权利要求1所述的一种电子级双槽车化学品转移系统，其特征在于：所述化学品转移管路（1）上从出料槽车（2）到收料槽车（3）的方向依次设置有化学品转移第一手动阀（101）、化学品转移第一自动阀（102）、管路判空检测仪（103）、流量变送器（104）、化学品转移第二自动阀（105）、化学品转移第二手动阀（106）；

8.根据权利要求1所述的一种电子级双槽车化学品转移系统，其特征在于：所述化学品转移管路（1）上靠近出料槽车（2）的一端设置有取样检测管路（12），所述取样检测管路（12）上设置有取样检测自动阀（1201）和取样口（1202）。

9.根据权利要求1所述的一种电子级双槽车化学品转移系统，其特征在于：所述出料槽车（2）下方设置有出料地磅（13），所述收料槽车（3）下方设置有收料地磅（14）。

10.一种如权利要求1-9任一项所述的电子级双槽车化学品转移方法，其特征在于，包括以下步骤：