一种适用于大尺寸半陶瓷零部件洗净治具的制作方法

本技术涉及陶瓷领域，尤其涉及一种适用于大尺寸半陶瓷零部件洗净治具。

背景技术：

1、随着技术的发展，衬底的主流尺寸正从6英寸向8英寸甚至更大尺寸过渡。在半导体制造工艺中，清洗是至关重要的环节，其目的在于去除衬底表面的颗粒、金属离子污染和有机残留物。

2、但是现有的清洗装置在对半陶瓷零部件进行清洗时，由于都是对部件进行夹持清洗，夹具接触的侧边、拐角区域被完全遮挡，喷淋水流难以触及。加之其多带深孔、中空等复杂结构，夹持后隐蔽区域的陶瓷粉、加工残渣更易滞留，直接影响部件后续装配精度与使用稳定性。对此，针对该技术问题，本申请而提出一种适用于大尺寸半陶瓷零部件洗净治具。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种适用于大尺寸半陶瓷零部件洗净治具，通过伺服电机驱动夹持盒正反旋转，配合一号锥齿轮与二号锥齿轮啮合带动螺纹杆转动，使位移盒带动部件反复位移，再结合清洗箱两侧喷头喷水，让水流充分触及零部件侧边、拐角及深孔、中空等隐蔽区域，有效清除陶瓷粉和加工残渣。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

3、一种适用于大尺寸半陶瓷零部件洗净治具，包括清洗箱，所述清洗箱顶部转动连接有盖门，所述清洗箱前侧设置有控制面板，所述清洗箱内壁转动连接有夹持盒，所述夹持盒顶部通过扭簧连接有盒盖，所述清洗箱内壁左右两侧均设置有喷头，所述盒盖前侧固定连接有两个锁片，所述夹持盒顶部固定连接有两个锁座，所述锁座外壁与锁片内壁插接，所述夹持盒顶部开设有两个限位槽，所述限位槽内壁滑动连接有限位插杆，所述限位插杆外壁与锁座内壁插接，两个所述限位插杆通过限位机构解除对锁座的连接，所述夹持盒内壁前侧开设有两个滑槽，所述滑槽内壁滑动连接有位移盒，两个所述位移盒内壁通过滑行组件相连，以用于控制位移盒滑行。

4、进一步地，所述限位机构包括设置在限位槽内壁的限位弹簧，所述夹持盒前侧滑动连接有斜推板，所述限位槽内壁固定连接有限位杆。

5、进一步地，所述限位杆贯穿限位插杆左右两侧，所述限位弹簧套设在限位杆外壁，所述限位弹簧左端与限位槽内壁左侧固定连接，所述限位弹簧右端与限位插杆左侧固定连接。

6、进一步地，所述斜推板前侧固定连接有推块。

7、进一步地，所述滑行组件包括转动连接在两个滑槽内壁的螺纹杆，所述螺纹杆外壁与位移盒内壁螺纹连接，所述螺纹杆外壁固定连接有一号锥齿轮，所述清洗箱内壁前侧固定连接有连接杆，所述连接杆前侧固定连接有二号锥齿轮。

8、进一步地，所述二号锥齿轮外壁与一号锥齿轮外壁啮合连接，所述清洗箱后侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机驱动端与夹持盒滑槽后侧固定连接。

9、进一步地，所述滑槽内壁固定连接有两个大号伸缩折叠板，两个所述大号伸缩折叠板相近一侧与位移盒左右两侧固定连接，所述限位槽内壁固定连接有两个小号伸缩折叠板，两个所述小号伸缩折叠板相近一侧与限位插杆左右两侧固定连接。

10、本实用新型具有如下有益效果：

11、本实用新型中，通过伺服电机驱动夹持盒正反旋转，配合一号锥齿轮与二号锥齿轮啮合带动螺纹杆转动，使位移盒带动部件反复位移，再结合清洗箱两侧喷头喷水，让水流充分触及零部件侧边、拐角及深孔、中空等隐蔽区域，有效清除陶瓷粉和加工残渣。

12、本实用新型中，通过锁片与锁座插接，搭配限位插杆锁定，限位弹簧可实现自动复位加固，避免清洗时部件松动；解锁时按动推块即可推动限位插杆，扭簧带动盒盖自动开启，取放部件便捷。同时，大号和小号伸缩折叠板分别防护滑槽与限位槽，防止杂质进入，确保机构长期可靠运行。

1.一种适用于大尺寸半陶瓷零部件洗净治具，其特征在于，包括清洗箱（1），所述清洗箱（1）顶部转动连接有盖门（2），所述清洗箱（1）前侧设置有控制面板（5），所述清洗箱（1）内壁转动连接有夹持盒（3），所述夹持盒（3）顶部通过扭簧连接有盒盖（4），所述清洗箱（1）内壁左右两侧均设置有喷头（20），所述盒盖（4）前侧固定连接有两个锁片（8），所述夹持盒（3）顶部固定连接有两个锁座（10），所述锁座（10）外壁与锁片（8）内壁插接，所述夹持盒（3）顶部开设有两个限位槽，所述限位槽内壁滑动连接有限位插杆（11），所述限位插杆（11）外壁与锁座（10）内壁插接，两个所述限位插杆（11）通过限位机构解除对锁座（10）的连接，所述夹持盒（3）内壁前侧开设有两个滑槽，所述滑槽内壁滑动连接有位移盒（9），两个所述位移盒（9）内壁通过滑行组件相连，以用于控制位移盒（9）滑行。

2.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸半陶瓷零部件洗净治具，其特征在于：所述限位机构包括设置在限位槽内壁的限位弹簧（13），所述夹持盒（3）前侧滑动连接有斜推板（14），所述限位槽内壁固定连接有限位杆（12）。

3.根据权利要求2所述的一种适用于大尺寸半陶瓷零部件洗净治具，其特征在于：所述限位杆（12）贯穿限位插杆（11）左右两侧，所述限位弹簧（13）套设在限位杆（12）外壁，所述限位弹簧（13）左端与限位槽内壁左侧固定连接，所述限位弹簧（13）右端与限位插杆（11）左侧固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种适用于大尺寸半陶瓷零部件洗净治具，其特征在于：所述斜推板（14）前侧固定连接有推块（15）。

5.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸半陶瓷零部件洗净治具，其特征在于：所述滑行组件包括转动连接在两个滑槽内壁的螺纹杆（17），所述螺纹杆（17）外壁与位移盒（9）内壁螺纹连接，所述螺纹杆（17）外壁固定连接有一号锥齿轮（18），所述清洗箱（1）内壁前侧固定连接有连接杆（7），所述连接杆（7）前侧固定连接有二号锥齿轮（19）。

6.根据权利要求5所述的一种适用于大尺寸半陶瓷零部件洗净治具，其特征在于：所述二号锥齿轮（19）外壁与一号锥齿轮（18）外壁啮合连接，所述清洗箱（1）后侧固定连接有伺服电机（6），所述伺服电机（6）驱动端与夹持盒（3）滑槽后侧固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸半陶瓷零部件洗净治具，其特征在于：所述滑槽内壁固定连接有两个大号伸缩折叠板（21），两个所述大号伸缩折叠板（21）相近一侧与位移盒（9）左右两侧固定连接，所述限位槽内壁固定连接有两个小号伸缩折叠板（16），两个所述小号伸缩折叠板（16）相近一侧与限位插杆（11）左右两侧固定连接。