一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置的制作方法

本技术涉及液晶面板光罩清洗，特别涉及一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置。

背景技术：

1、液晶面板光罩通常采用透明玻璃基板，如合成石英、硼硅玻璃和苏打玻璃等，其中合成石英具有高硬度、低膨胀系数、透光性强以及化学稳定性好等优点，适用于较高精度要求的产品生产，广泛应用于大规模集成电路用光掩膜、平板显示器用大型掩膜的制造。

2、液晶面板光罩的基板材料通常具有一定的亲水性，水分子容易吸附在其表面，形成一层薄薄的水膜，即使经过离心式旋转清洗，由于材料与水之间的亲和力，仍会有部分水分残留，表面的水分干燥速度慢。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，在液晶面板光罩离心清洗后，可以使热空气接触到液晶面板光罩表面，加快光罩表面水分蒸发速度，有效减少水分残留，从而提高干燥速度。

2、为实现上述目的，提供一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，包括：光罩清洗机，所述光罩清洗机的上表面固定连接有过滤箱，所述过滤箱的左表面固定连接有进气管，所述过滤箱的右表面固定连接有第一连接管，所述第一连接管的右表面固定连接有加热箱，所述加热箱的前表面固定连接有第二连接管，所述第二连接管的前表面固定连接有泵体，所述泵体的左表面固定连接有第三连接管，所述第三连接管的侧表面与光罩清洗机固定连接，所述过滤箱的内表面设置有金属丝网过滤板，所述过滤箱的内表面设置有合成纤维无纺布过滤板，所述过滤箱的内表面设置有活性炭吸附板，所述光罩清洗机的上表面固定连接有除湿箱，所述除湿箱的右表面固定连接有回流管，所述回流管的侧表面与光罩清洗机固定连接，所述除湿箱的内表面设置有除湿包，所述除湿箱的上表面固定连接有第四连接管。

3、根据所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，所述加热箱的下表面与光罩清洗机固定连接，所述泵体的下表面与光罩清洗机固定连接，增加了结构连接的稳定性。

4、根据所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，所述第三连接管的内部设置有第一阀门，所述进气管的内部设置有第二阀门。

5、根据所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，所述第四连接管远离除湿箱的一端与加热箱固定连接。

6、根据所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，所述加热箱的内部设置有加热组件，加热组件设置对加热箱内的气体进行加热。

7、根据所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，所述光罩清洗机的内部设置有支撑柱，所述支撑柱的上表面固定连接有喷水板。

8、根据所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，所述喷水板的下表面固定连接有喷嘴，所述喷嘴的数量为多个，通过喷嘴对物料进行喷水处理。

9、上述方案具有的有益效果：

10、1、通过设置进气管、过滤箱、第一连接管、加热箱、第二连接管、泵体、第三连接管、金属丝网过滤板、合成纤维无纺布过滤板、活性炭吸附板，在液晶面板光罩离心清洗后，可以使热空气接触到液晶面板光罩表面，加快光罩表面水分蒸发速度，有效减少水分残留，从而提高干燥速度。

11、2、通过设置回流管、除湿箱、除湿包、第四连接管，可以实现气体的循环利用，避免直接排放造成的能源浪费和环境影响。

12、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

1.一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，包括：光罩清洗机(1)，其特征在于，所述光罩清洗机(1)的上表面固定连接有过滤箱(2)，所述过滤箱(2)的左表面固定连接有进气管(3)，所述过滤箱(2)的右表面固定连接有第一连接管(4)，所述第一连接管(4)的右表面固定连接有加热箱(5)，所述加热箱(5)的前表面固定连接有第二连接管(6)，所述第二连接管(6)的前表面固定连接有泵体(7)，所述泵体(7)的左表面固定连接有第三连接管(8)，所述第三连接管(8)的侧表面与光罩清洗机(1)固定连接，所述过滤箱(2)的内表面设置有金属丝网过滤板(10)，所述过滤箱(2)的内表面设置有合成纤维无纺布过滤板(11)，所述过滤箱(2)的内表面设置有活性炭吸附板(12)，所述光罩清洗机(1)的上表面固定连接有除湿箱(14)，所述除湿箱(14)的右表面固定连接有回流管(13)，所述回流管(13)的侧表面与光罩清洗机(1)固定连接，所述除湿箱(14)的内表面设置有除湿包(15)，所述除湿箱(14)的上表面固定连接有第四连接管(16)。

2.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，其特征在于，所述加热箱(5)的下表面与光罩清洗机(1)固定连接，所述泵体(7)的下表面与光罩清洗机(1)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，其特征在于，所述第三连接管(8)的内部设置有第一阀门(9)，所述进气管(3)的内部设置有第二阀门(17)。

4.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，其特征在于，所述第四连接管(16)远离除湿箱(14)的一端与加热箱(5)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，其特征在于，所述加热箱(5)的内部设置有加热组件。

6.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，其特征在于，所述光罩清洗机(1)的内部设置有支撑柱(18)，所述支撑柱(18)的上表面固定连接有喷水板(19)。

7.根据权利要求6所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置，其特征在于，所述喷水板(19)的下表面固定连接有喷嘴(20)，所述喷嘴(20)的数量为多个。