用于JEDEC托盘的清洗与检测一体机的制作方法

本申请涉及载具清洁与检测，尤其是涉及一种用于jedec托盘的清洗与检测一体机。

背景技术：

1、随着半导体封装与测试产业的快速发展，jedec标准托盘（jedec tray）作为一种用于承载、转运和存放芯片及集成电路器件的标准化载具，被广泛应用于各类自动化生产与检测环节。为了保证芯片在搬运、测试和封装过程中的稳定性和洁净度，托盘的表面平整度和清洁度具有直接影响，其表面若存在灰尘、颗粒或翘曲变形，可能导致芯片定位不准、自动贴装失败，甚至引发电性能测试误差。

2、现有技术中，通常通过独立的除尘设备对托盘表面进行吹扫或静电除尘处理，随后再利用专用检测工位分别检测清洁度与水平度。这类装置在结构上多为分段式布置，托盘在多个工位间转运，检测数据需分别采集与比对，设备集成度较低。同时，部分检测系统仅能针对托盘单面进行清洁度检测，或在托盘位姿不稳定的情况下直接执行水平度测量，导致检测结果精度不足。此外，传统人工或半自动化的检测方式在批量生产环境中效率较低，难以满足现代化半导体产线的自动化与高一致性要求。

3、因此，如何在自动化输送过程中，实现对jedec标准托盘的同步清洁与检测，并在保证检测精度的情况下高效完成水平度测量，是目前面临的难题。

技术实现思路

1、为了能够实现对jedec标准托盘的同步清洁与检测，并在保证检测精度的情况下高效完成水平度测量，从而提高托盘清洁与检测的集成化与自动化水平，本申请提供一种用于jedec托盘的清洗与检测一体机。本申请提供如下技术方案：

2、一种用于jedec托盘的清洗与检测一体机，包括机架，所述机架内设有输送轨道和工作台，所述工作台位于所述输送轨道的首端，所述工作台上设有料仓和上料机构，所述上料机构位于所述料仓的下方；所述输送轨道上沿输送方向依次设有除尘装置、相机以及用于检测水平度的测量机构。

3、在一个具体的可实施方案中，所述工作台上位于所述料仓的两侧均设有龙门架，每个所述龙门架的顶端均设有限位片和第一气缸，所述第一气缸的活塞杆与所述限位片连接，所述限位片位于所述料仓中并与所述料仓中最底端托盘的底面相抵。

4、在一个具体的可实施方案中，所述上料机构包括电机、丝杆和承接板，所述电机安装在所述工作台的底端，所述丝杆的底端与所述电机的输出端连接，所述丝杆的顶端与所述承接板连接，所述丝杆穿设设置在所述工作台中，所述承接板位于输送轨道内且能够在所述输送轨道内沿竖直方向移动。

5、在一个具体的可实施方案中，所述工作台上设有轨道，所述龙门架滑动设置在所述轨道上。

6、在一个具体的可实施方案中，所述除尘装置套设于所述输送轨道的外侧，所述输送轨道贯穿所述除尘装置的内部设置，托盘沿所述输送轨道运动通过所述除尘装置时，所述除尘装置用于对托盘的顶面与底面进行除尘处理。

7、在一个具体的可实施方案中，所述输送轨道上相邻设置有第一安装架和第二安装架，所述相机设在所述第一安装架上，所述第二安装架上转动设置有补光灯。

8、在一个具体的可实施方案中，所述测量机构包括第二气缸和顶板，所述第二气缸安装在所述输送轨道的底端，所述第二气缸的活塞杆与所述顶板连接，所述顶板位于所述输送轨道内且能够在所述输送轨道内沿竖直方向移动；所述输送轨道上位于所述顶板的四角处均设有固定架，每个所述固定架的顶端均设有激光位移器。

9、综上所述，本申请的有益效果至少包括：

10、1）上料机构通过电机+丝杆的竖直升降驱动与龙门架上第一气缸及限位片的配合控制，实现了对料仓中托盘的逐个释放与精确定位。具体而言，丝杆传动结构能够提供平稳可控的升降运动，使承接板在竖直方向上实现高精度位移，从而确保托盘在取出与落料过程中的姿态稳定。限位片由第一气缸驱动，在托盘传递过程中起到临时支撑与限位保护的作用：当承接板上升至料仓底部时，限位片外伸使底部托盘与承接板平稳接触，实现单层分离；随后承接板下移一个托盘的厚度，限位片再次伸入料仓内部，对上方托盘进行限位支撑，防止其下滑，实现层间隔离。通过这种先顶托后限位的双重控制动作，可保证料仓中托盘逐层下放的过程连续、可控且无卡滞现象。

11、2）通过设置第二气缸驱动顶板升起，可将托盘从输送轨道上分离，使其处于独立的测量空间中，从而消除轨道误差的干扰。顶板上四角对称布置的激光位移器能够分别采集托盘四个角点的高度数据，通过对比各测量点的相对高度差，可精确计算出托盘平面的倾斜度和翘曲度。这种多点测量方式相较单点或双点检测，能够全面反映托盘整体的平面状态，提高水平度测量的精度与稳定性。

12、通过在一体化机架内依次集成上料机构、除尘装置、相机及测量机构，形成一条能够自动完成托盘输送、清洁、检测与分拣的连续作业流程。其中，上料机构实现了料仓中托盘的逐层精确释放与稳定上料，确保托盘以平稳姿态进入输送轨道；除尘装置采用穿通式布置，输送轨道贯穿除尘装置内部，使托盘在通过时可同时对顶面与底面进行除尘处理，实现双面同步清洁；在除尘工位之后，相机对托盘表面进行光学扫描，实现清洁度的自动检测；最后，在测量工位处，通过测量机构检测托盘的水平度，从而实现独立于输送轨道误差的高精度水平度测量。实现了在自动化输送过程中对jedec标准托盘的双面同步清洁与高精度水平度检测，有效提高了托盘检测作业的集成化、精度和生产效率。

13、上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本申请的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

1.一种用于jedec托盘的清洗与检测一体机，其特征在于，包括机架，所述机架内设有输送轨道和工作台，所述工作台位于所述输送轨道的首端，所述工作台上设有料仓和上料机构，所述上料机构位于所述料仓的下方；所述输送轨道上沿输送方向依次设有除尘装置、相机以及用于检测水平度的测量机构。

2.根据权利要求1所述的用于jedec托盘的清洗与检测一体机，其特征在于，所述工作台上位于所述料仓的两侧均设有龙门架，每个所述龙门架的顶端均设有限位片和第一气缸，所述第一气缸的活塞杆与所述限位片连接，所述限位片位于所述料仓中并与所述料仓中最底端托盘的底面相抵。

3.根据权利要求2所述的用于jedec托盘的清洗与检测一体机，其特征在于，所述上料机构包括电机、丝杆和承接板，所述电机安装在所述工作台的底端，所述丝杆的底端与所述电机的输出端连接，所述丝杆的顶端与所述承接板连接，所述丝杆穿设设置在所述工作台中，所述承接板位于输送轨道内且能够在所述输送轨道内沿竖直方向移动。

4.根据权利要求2所述的用于jedec托盘的清洗与检测一体机，其特征在于，所述工作台上设有轨道，所述龙门架滑动设置在所述轨道上。

5.根据权利要求1所述的用于jedec托盘的清洗与检测一体机，其特征在于，所述除尘装置套设于所述输送轨道的外侧，所述输送轨道贯穿所述除尘装置的内部设置，托盘沿所述输送轨道运动通过所述除尘装置时，所述除尘装置用于对托盘的顶面与底面进行除尘处理。

6.根据权利要求1所述的用于jedec托盘的清洗与检测一体机，其特征在于，所述输送轨道上相邻设置有第一安装架和第二安装架，所述相机设在所述第一安装架上，所述第二安装架上转动设置有补光灯。

7.根据权利要求1所述的用于jedec托盘的清洗与检测一体机，其特征在于，所述测量机构包括第二气缸和顶板，所述第二气缸安装在所述输送轨道的底端，所述第二气缸的活塞杆与所述顶板连接，所述顶板位于所述输送轨道内且能够在所述输送轨道内沿竖直方向移动；所述输送轨道上位于所述顶板的四角处均设有固定架，每个所述固定架的顶端均设有激光位移器。