一种适用于DFN除胶后的表面清洗装置的制作方法

本技术涉及半导体制造，尤其是涉及一种适用于dfn除胶后的表面清洗装置。

背景技术：

1、dfn产品的加工工艺中需要依次进行贴膜、切割、分离、除胶的操作。除胶是将已分离的dfn产品均匀撒在除胶液浸泡缸中，使用玻璃棒轻戳不锈钢网四周边缘，使得dfn产品在除胶液中均匀散开，将已分离的dfn产品均匀撒在除胶液浸泡缸中，使用玻璃棒轻戳不锈钢网四周边缘，使得dfn产品在除胶液中均匀散开，将已分离的dfn产品均匀撒在除胶液浸泡缸中，使用玻璃棒轻戳不锈钢网四周边缘，使dfn产品在除胶液中均匀散开，然后使用特殊溶液对表面进行除胶。完成除胶后，用清水将dfn产品从不锈钢网上冲到铜网中，浸泡后完成冲洗≤2分钟。完毕后将不锈钢网完全吹干。铜网中的dfn产品用清水漂洗2遍，来回冲洗约5分钟，从完成冲洗到开始漂洗的时间≤2分钟。

2、现有操作为人工手持dfn产品放在水流下方进行冲洗，费时费力，而且也浪费水资源。

技术实现思路

1、针对上述问题，本实用新型的目的提供一种适用于dfn除胶后的表面清洗装置，能实现自动化的清洗除胶后的dfn，使用方便，大大节约人力成本和水资源。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：一种适用于dfn除胶后的表面清洗装置，包括摆动喷头、传动机构、驱动机构和送料机构，所述摆动喷头通过软管连接在水管上，传动机构包括偏心块和连杆组，驱动机构驱动偏心块转动，所述连杆组连接摆动喷头和偏心块，并能带动摆动喷头摆动，所述送料机构上设有放料框，所述放料框能随送料机构移动到摆动喷头下部。

3、在上述技术方案中，所述摆动喷头上设有到位传感器，所述到位传感器能感应传送带上的放料框。

4、在上述技术方案中，所述摆动喷头上设有到位传感器，所述到位传感器能感应传送带上的放料框，并控制摆动喷头上的电磁阀和驱动机构。

5、在上述技术方案中，所述驱动机构为驱动电机，所述偏心块装在驱动电机的输出轴上。

6、在上述技术方案中，所述送料机构为传送带，所述传送带上设有限位凸块，所述放料框卡放在限位凸块间，所述传送带下部设有废水回收盒。

7、在上述技术方案中，所述传动机构和驱动机构均装在基板上，所述连杆组包括依次连接的摆动连杆、调节杆和偏心连杆，所述摆动连杆与摆动喷头相连，所述偏心连杆的一端装在偏心块上，所述调节杆设有多个调节孔，所述调节杆的一端铰接在基板上，所述偏心连杆的另一端装在其中一个调节孔上。

8、在上述技术方案中，所述摆动喷头通过上部的缓冲接头与水管相连。

9、综上所述，采用本实用新型的技术方案相较于传统技术手段具有的有益效果是：本实用新型改进了现有手动清洗方式，通过送料机构和摆动喷头自动化的进行的冲洗，清洗过程中无需人员手持操作，能实现自动化的清洗除胶后的dfn，使用方便，大大节约人力成本，来料出水，有效节约了水资源。

1.一种适用于dfn除胶后的表面清洗装置，其特征在于：包括摆动喷头、传动机构、驱动机构和送料机构，所述摆动喷头通过软管连接在水管上，传动机构包括偏心块和连杆组，驱动机构驱动偏心块转动，所述连杆组连接摆动喷头和偏心块，并能带动摆动喷头摆动，所述送料机构上设有放料框，所述放料框能随送料机构移动到摆动喷头下部。

2.根据权利要求1所述的适用于dfn除胶后的表面清洗装置，其特征在于：所述摆动喷头上设有到位传感器，所述到位传感器能感应送料机构上的放料框。

3.根据权利要求1所述的适用于dfn除胶后的表面清洗装置，其特征在于：所述摆动喷头上设有到位传感器，所述到位传感器能感应送料机构上的放料框，并控制摆动喷头上的电磁阀和驱动机构。

4.根据权利要求1所述的适用于dfn除胶后的表面清洗装置，其特征在于：所述驱动机构为驱动电机，所述偏心块装在驱动电机的输出轴上。

5.根据权利要求1所述的适用于dfn除胶后的表面清洗装置，其特征在于：所述送料机构为传送带，所述传送带上设有限位凸块，所述放料框卡放在限位凸块间，所述传送带下部设有废水收集槽。

6.根据权利要求1所述的适用于dfn除胶后的表面清洗装置，其特征在于：所述传动机构和驱动机构均装在基板上，所述连杆组包括依次连接的摆动连杆、调节杆和偏心连杆，所述摆动连杆与摆动喷头相连，所述偏心连杆的一端装在偏心块上，所述调节杆上设有多个调节孔，所述调节杆的一端铰接在基板上，所述偏心连杆的另一端装在其中一个调节孔上。

7.根据权利要求1所述的适用于dfn除胶后的表面清洗装置，其特征在于：所述摆动喷头通过上部的缓冲接头与水管相连。