一种晶圆载具清洗机的制作方法

本发明涉及晶圆传送盘清理，具体涉及一种晶圆载具清洗机。

背景技术：

1、晶圆是半导体芯片制造的基础基材，前开式晶圆载具（foup）作为晶圆存储、转运的专用密闭容器，广泛应用于光刻、蚀刻、镀膜等全流程半导体生产工序，而晶圆载具需要在注塑生产完成后进行清理，避免后续晶圆运载时出现损伤。

2、中国专利cn116967168b就公开了一种高效率兼容型清洗机，包括机体以及固定连接于机体背面的储水箱，所述机体内壁的两侧均固定连接有电动滑轨，且两个所述电动滑轨相对的一侧之间滑动连接有放置框，所述机体的顶部设置有表面冲洗机构，所述放置框的内部设置有狭缝清刷机构；所述狭缝清刷机构包括通过支撑件固定连接于放置框内部的固定框；但是，该装置在使用过程中仍存在以下问题：

3、仍需要操作人员借助工具先解锁分离载具门板，再将晶圆载具本体放置到放置框内进清理，此时载具门板和晶圆载具本体就需要通过不同设备进行清洗，就容易导致后续合盖时仍有污染物进入晶圆载具内，影响清洗效果。

4、基于此，本发明设计了一种晶圆载具清洗机以解决上述问题。

技术实现思路

1、针对现有技术所存在的上述缺点，本发明提供了一种晶圆载具清洗机。

2、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：

3、一种晶圆载具清洗机，包括基台，还包括翻转沥水机构、电动旋转盘、自动拆盖机构、卡槽双向清理机构和预冲洗机构；

4、用于固定前开式晶圆载具本体的翻转沥水机构安装在基台的上端左侧；

5、电动旋转盘固定安装在基台的中部；

6、用于将前开式门板与密封箱体分离的自动拆盖机构安装在电动旋转盘的活动端左侧；

7、用于对密封箱体内部的卡槽进行清理的卡槽双向清理机构安装在电动旋转盘的活动端右侧；

8、所述卡槽双向清理机构包括第二横移组件、同步双向移动组件、清理组件和圆形喷淋管；

9、第二横移组件与电动旋转盘的活动端连接；同步双向移动组件与第二横移组件连接；清理组件与同步双向移动组件连接；圆形喷淋管与同步双向移动组件连接；圆形喷淋管通过管道与外部泵体连通；

10、用于对清理组件和前开式门板进行冲洗的预冲洗机构安装在基台的上端右侧；

11、更进一步的，自动拆盖机构包括第一横移组件和解锁组件；第一横移组件与电动旋转盘的活动端连接；解锁组件与第一横移组件连接；

12、更进一步的，翻转沥水机构包括立架、翻转气缸、仿形固定架和夹持组件；立架对称固定安装在基台的上端前后两侧；翻转气缸固定安装在前侧立架的前端；仿形固定架的前后两端与前后立架转动连接；

13、翻转气缸的输出端与仿形固定架固定连接；夹持组件与仿形固定架连接；

14、更进一步的，夹持组件包括夹持气缸、夹持导杆和仿形夹板；夹持气缸固定安装在仿形固定架的前端；夹持导杆限位滑动安装在仿形固定架的后端；

15、仿形夹板与夹持气缸的输出端固定连接；仿形夹板与夹持导杆固定连接；

16、更进一步的，第一横移组件包括第一安装板、第一气缸滑台模组和活动板；第一安装板固定安装在电动旋转盘的活动端左侧；第一气缸滑台模组固定安装在第一安装板上；活动板与第一气缸滑台模组的移动端固定连接；

17、解锁组件与活动板连接；

18、更进一步的，解锁组件包括解锁电机和解锁插块；解锁电机对称固定安装在活动板的右端前后两侧；解锁插块对称转动安装在活动板的左端前后两侧；解锁电机的输出端与解锁插块固定连接；

19、解锁插块与前开式门板上开设的解锁孔插接；

20、更进一步的，第二横移组件包括第二安装板、第二气缸滑台模组和定位盘；第二安装板固定安装在电动旋转盘的活动端右侧；第二气缸滑台模组与第二安装板固定连接；

21、定位盘与第二气缸滑台模组的移动端固定连接；

22、同步双向移动组件与定位盘连接；

23、圆形喷淋管固定安装在定位盘的中部；圆形喷淋管上设有喷水孔；圆形喷淋管通过管路与外部泵体连通；

24、更进一步的，同步双向移动组件包括驱动组件和从动组件；驱动组件与定位盘连接；从动组件与定位盘和驱动组件连接；

25、所述驱动组件包括伺服滑台模组和驱动板；伺服滑台模组固定安装在定位盘的下端；驱动板与伺服滑台模组的移动端固定连接；

26、驱动板与从动组件连接；

27、所述从动组件包括限位导轨、拉杆、从动板和限位滚轮；定位盘的前后两侧对称开设有弧形导向槽；

28、限位导轨对称固定安装在定位盘的前后两侧；

29、从动板与限位导轨限位滑动连接；限位滚轮转动安装在从动板的上端；限位滚轮与弧形导向槽滚动连接；

30、拉杆设有两个，并且拉杆的一端与驱动板铰接；拉杆的另一端与从动板铰接；

31、清理组件与前后从动板连接；

32、更进一步的，清理组件包括l型安装板、对位板和毛刷板；l型安装板固定安装在从动板的上端；多个对位板呈线性等间距固定安装在l型安装板上；毛刷板与对位板固定连接；

33、更进一步的，预冲洗机构包括次级挡水箱和方形喷淋管；次级挡水箱固定安装在基台的上端右侧；

34、次级挡水箱的前后内壁和右侧内壁均固定安装有方形喷淋管。

35、本发明相较于现有技术，其有益效果为：1、打开密封罩上的密封盖，将需要进行清洗的前开式晶圆载具本体的前开式门板向上放置在翻转沥水机构内，随后关闭密封盖；而后，翻转沥水机构带动前开式晶圆载具本体向右转动，使得前开式门板与解锁组件对齐；随后，第一横移组件推动前开式门板向左移动，确保解锁组件与前开式门板对位，随后解锁组件将前开式门板与密封箱体分离；第一横移组件控制解锁组件右移复位，从而将前开式门板与密封箱体完全分离，使得密封箱体内部用于放置晶圆的卡槽暴露出来，从而实现对前开式门板的自动开盖作业，减少了人工劳动力；

36、2、第一横移组件控制解锁组件将前开式门板分离的同时，清理组件置于预冲洗机构内，并通过预冲洗机构对清理组件进行预先清理，从而将清理组件上残留的碎屑移除；当前开式门板与密封箱体完全分离后，第二横移组件带动清理组件从预冲洗机构内移出，随后电动旋转盘控制第一横移组件和第二横移组件转动一百八十度，确保清理组件与密封箱体对齐，前开式门板与预冲洗机构对齐；随后第二横移组件控制同步双向移动组件左移至密封箱体内部，随后同步双向移动组件便会控制清理组件对密封箱体内的卡槽进行清理，并且圆形喷淋管还会持续对卡槽进行高压冲洗，确保装置能够对卡槽死角处的碎屑进行清理，从而提升了清洗质量，避免影响后续晶圆的存放；

37、3、第一横移组件还会控制解锁组件和前开式门板移动到预冲洗机构的内部，并通过预冲洗机构对前开式门板靠近密封箱体内壁的一端进行冲洗，从而确保前开式门板和密封箱体均能够在密封罩内进行清洗操作，减少了前开式门板和密封箱体清洗完成后拼接复位时出现污染的概率；清洗完成后，第二横移组件控制同步双向移动组件向右复位，翻转沥水机构控制密封箱体向下转动九十度，使得密封箱体的开口朝向下方并与基台左侧的回收槽对齐，此时密封箱体内残留的水体便会在自身重量的作用下流动到回收槽内；并且完成冲洗作业的前开式门板上残留的水体也会在自身重量的作用下流动到右侧回收槽内；最后，电动旋转盘控制第一横移组件和第二横移组件转动一百八十度复位，使得前开式门板重新与密封箱体对齐，随后第一横移组件控制解锁组件左移，随后解锁组件将前开式门板重新与密封箱体连接固定，翻转沥水机构控制前开式晶圆载具本体向上转动复位，随后将前开式晶圆载具本体取出进行烘干即可。