一种加热阀板组件及真空阀的制作方法

本技术涉及真空阀门，具体为一种加热阀板组件及真空阀。

背景技术：

1、在半导体制造设备中，传输阀作为连接工艺腔与传输腔的核心组件，承担着晶圆高效传输与工艺环境精准隔离的双重使命。这类阀门需以秒级的响应速度完成开闭动作，同时在高温、真空、腐蚀性气体等复杂工况下，维持纳米级洁净度与超高密封性能，成为现代芯片制造中不可或缺的一环。

2、工艺生成物具有不容易在较热物体表面沉积的特性，因此，在某些工艺需要对传输阀的阀板加热，以避免工艺生成物在阀板上沉积。

3、目前针对矩形阀门的加热方案，如说明书附图1所示，在驱动杆3上，安装一块布置了加热棒6的加热棒固定板4，然后将矩形阀板7安装到这块加热棒固定板4上，对阀板进行加热。在这种结构布局下，只能从矩形阀板7的背面通过螺丝固定。设备维护时，由于矩形阀门5本身的结构空间受限，单独更换阀板困难，需要将整个矩形阀门从设备上拆下，才能方便维修阀板，另外，在维护矩形阀板的时候，因为加热元件的导电电缆为穿过阀杆内部一体长电缆形式，因此不能够把阀杆单独取下，这导致维修非常不方便，容易造成阀板表面划伤，不利于后期的维护，导致产品故障率较高。

4、因此，提供一种便于维修，同时又具有加热功能的矩形阀板，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的是为了克服现有技术中的不足，提出一种加热阀板组件及真空阀。

2、为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

3、一方面，一种加热阀板组件，包括阀板和与所述阀板可拆卸配合的阀杆；所述阀板具有安装腔和将所述安装腔密封的第二盖板，所述安装腔内设置有电加热件和与所述电加热件电性连接的插头，所述插头的接口端延伸至所述安装腔的底部外侧，所述电加热件用于将热能传导至阀板工作面；所述阀杆的端部设置有插座，所述插头与插座插接，并为所述电加热件形成通路。

4、优选的，所述阀板下方还设置有固定槽，所述插头的接口端延伸至所述固定槽内，所述阀杆上固定有第一盖板，当所述第一盖板位于固定槽内时，所述插头与插座插接，并为所述电加热件形成通路。

5、优选的，所述第一盖板上设置有若干螺纹孔，所述阀板上设置有若干螺钉，若干所述螺钉穿过固定槽并延伸至对应的螺纹孔内。

6、优选的，所述固定槽远离阀板工作面的一侧设置有至少一个凸部，所述第一盖板上表面还设置有至少一个凹部，所述凸部可抵接在所述凹部内。

7、优选的，所述阀杆上设置有卡槽，所述卡槽外卡接有u形卡箍；所述第一盖板的几何中心开设有通孔，所述第一盖板的下表面设置有限位槽，所述阀杆贯穿通孔，并使得所述u形卡箍嵌套在限位槽内。

8、优选的，所述安装腔内还设置有温度传感器和过温保护开关，所述温度传感器用于检测所述阀板工作面的温度，所述过温保护开关与电加热件电性连接，并用于根据所述温度传感器的检测值控制所述电加热件的开闭。

9、优选的，所述安装腔的腔口处还设置有密封垫，所述密封垫的外侧设置有第二盖板，所述第二盖板将所述安装腔封闭。

10、优选的，所述阀杆的内部设置有若干电线，若干所述电线的一端与所述插座电性连接，另一端连接有电源。

11、另一方面，一种真空阀，具有上述中任一项所述的加热阀板组件。

12、由于采用了上述技术方案，本实用新型取得的有益效果是：由于阀板与阀杆采用可拆卸配合结构，当阀板出现故障或需要维护时，只需断开插头与插座的连接，将阀板从阀杆上取出，即可实现阀板的快速拆卸，无需像传统结构那样将整个矩形阀门从设备上拆下，大大提高了维修的便捷性和效率。同时，电加热件设置在阀板内部的结构，使得阀板在工作过程中能够保持适宜的温度，有效避免了工艺生成物在阀板上的沉积，保证了阀门的正常运行和工艺环境的稳定性。温度传感器和过温保护开关的配合使用，能够实时监测阀板工作面的温度，并在温度过高时自动切断电加热件的电源，防止阀板因过热而损坏，进一步提高了设备的安全性和可靠性。此外，密封垫和第二盖板的设置，有效防止了安装腔内的电加热件、温度传感器等部件受到外界环境的污染和损坏，延长了设备的使用寿命。

1.一种加热阀板组件，其特征在于，包括阀板（1）和与所述阀板（1）可拆卸配合的阀杆（2）；所述阀板（1）具有安装腔（11）和将所述安装腔（11）密封的第二盖板（116），所述安装腔（11）内设置有电加热件（111）和与所述电加热件（111）电性连接的插头（112），所述插头（112）的接口端延伸至所述安装腔（11）的底部外侧，所述电加热件（111）用于将热能传导至阀板（1）工作面；所述阀杆（2）的端部设置有插座（22），所述插头（112）与插座（22）插接，并为所述电加热件（111）形成通路。

2.根据权利要求1所述的加热阀板组件，其特征在于，所述阀板（1）下方还设置有固定槽（12），所述插头（112）的接口端延伸至所述固定槽（12）内，所述阀杆（2）上固定有第一盖板（21），当所述第一盖板（21）位于固定槽（12）内时，所述插头（112）与插座（22）插接，并为所述电加热件（111）形成通路。

3.根据权利要求2所述的加热阀板组件，其特征在于，所述第一盖板（21）上设置有若干螺纹孔（211），所述阀板（1）上设置有若干螺钉（13），若干所述螺钉（13）穿过固定槽（12）并延伸至对应的螺纹孔（211）内。

4.根据权利要求2所述的加热阀板组件，其特征在于，所述固定槽（12）远离阀板（1）工作面的一侧设置有至少一个凸部（121），所述第一盖板（21）上表面还设置有至少一个凹部（213），所述凸部（121）可抵接在所述凹部（213）内。

5.根据权利要求2所述的加热阀板组件，其特征在于，所述阀杆（2）上设置有卡槽（23），所述卡槽（23）外卡接有u形卡箍（24）；所述第一盖板（21）的几何中心开设有通孔（214），所述第一盖板（21）的下表面设置有限位槽（215），所述阀杆（2）贯穿通孔（214），并使得所述u形卡箍（24）嵌套在限位槽（215）内。

6.根据权利要求1所述的加热阀板组件，其特征在于，所述安装腔（11）内还设置有温度传感器（113）和过温保护开关（114），所述温度传感器（113）用于检测所述阀板（1）工作面的温度，所述过温保护开关（114）与电加热件（111）电性连接，并用于根据所述温度传感器（113）的检测值控制所述电加热件（111）的开闭。

7.根据权利要求1所述的加热阀板组件，其特征在于，所述安装腔（11）的腔口处还设置有密封垫（115），所述密封垫（115）的外侧设置有第二盖板（116），所述第二盖板（116）将所述安装腔（11）封闭。

8.根据权利要求1所述的加热阀板组件，其特征在于，所述阀杆（2）的内部设置有若干电线（25），若干所述电线（25）的一端与所述插座（22）电性连接，另一端连接有电源。

9.一种真空阀，其特征在于，所述真空阀具有如权利要求1-8中任一项所述的加热阀板组件。