立式炉管设备的制作方法

本技术涉及半导体制造设备，具体涉及一种立式炉管设备。

背景技术：

1、立式炉管设备在执行立式炉工艺前，需要通过包括机械手臂在内的传送装置（例如传送机器人）把晶圆从晶圆载具中取出，传送放置到立式炉管的晶舟上，装载有若干批次晶圆的晶舟被升降机构抬升送入炉体中；晶圆在炉管内完成工艺处理后，升降机构将晶舟下降到卸载位置，传送装置将晶圆自晶舟上取出并传送至晶圆载具中,之后从立式炉设备的装载腔中移出并传送至下一工艺栈点。为满足半导体晶圆厂日益提升的产能需求，单个立式炉管内可处理的晶圆数量越来越多，晶舟上用于承载晶圆的承载位之间的间距越来越小，使得传送装置传送晶圆的难度越来越大，传送过程中发生晶圆位置偏移的问题时有发生。

2、为此，现有的立式炉管设备在传送过程为了校准规整晶圆中心以减少晶圆偏移问题，使用了一套复杂且体积较大的校准模块，该校准模块独立于传送机器人设置，且每次传送过程中都要进行采样、标定与纠偏，这使得设备占用空间较大，同时使流程上的串行较多，导致传送效率的下降。

3、应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种立式炉管设备，以解决现有的立式炉管设备为减少晶圆偏移问题而采用了一套独立于传送机器人设置的校准模块，该校准模块复杂且体积较大，且每次传送过程中都要进行采样、标定与纠偏，这使得设备占用空间较大，同时使流程上的串行较多，导致传送效率下降的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种立式炉管设备，包括立式炉体、升降机构、晶舟、传送机器人和晶圆载具平台；所述晶舟立设于升降机构上，在升降机构的驱动下可在所述立式炉体内进出；所述晶圆载具平台设在升降机构的一侧，所述晶圆载具平台设有多个存放晶圆载具的位置；所述传送机器人与升降机构及晶圆载具平台相邻设置，所述传送机器人包括机器人本体、手臂和手指，所述手臂的一端连接在机器人本体上，所述手指与手臂另一端连接，所述手指远离手臂的一端上设有手指头部引导限位挡块，靠近手臂的一端上设有手指尾部晶圆引导块，所述手臂与手指连接处设有可伸缩的手指尾部晶圆推夹持块。

3、可选地，所述手指包括上下间隔设置，且可分别独立控制的上手指和下手指。

4、可选地，所述上手指和下手指为扁平的u型结构，所述上手指和下手指上远离手臂的两个端部设有对射传感器。

5、可选地，所述晶圆载具平台与传送机器人相邻的一侧设有awc传感器光柱。

6、可选地，所述手指头部引导限位挡块、手指尾部晶圆引导块和手指尾部晶圆推夹持块的表面具有耐磨橡胶层。

7、可选地，所述手臂内设置有与手指尾部晶圆推夹持块连接的伸缩杆，伸缩杆与驱动装置连接。

8、可选地，所述手指上设置有滑槽，所述手指尾部晶圆推夹持块位于所述滑槽内。

9、可选地，所述手指尾部晶圆推夹持块上设置有与惰性气体源连通的气体口。

10、可选地，所述传送机器人上还设置有用于检测手指水平度的水平传感器。

11、可选地，所述传送机器人或所述晶圆载具平台上设置有用于检测晶圆表面状况的相机。

12、如上所述，本实用新型提供的立式炉管设备，具有以下有益效果：本实用新型提供的立式炉管设备通过在传送机器人的手指上设置引导块和推加持块等结构改善，在无需另外独立设置的校准模块的情况下，可以在晶圆传送过程中对晶圆进行中心校正定位，有助于设备结构的简化，降低设备成本，且校准作业过程简单易行，高效便捷，有助于提高传片效率和良率，提高设备产出率。

1.一种立式炉管设备，其特征在于，包括立式炉体、升降机构、晶舟、传送机器人和晶圆载具平台；所述晶舟立设于升降机构上，在升降机构的驱动下可在所述立式炉体内进出；所述晶圆载具平台设在升降机构的一侧，所述晶圆载具平台设有多个存放晶圆载具的位置；所述传送机器人与升降机构及晶圆载具平台相邻设置，用于在升降机构的晶舟上和晶圆载具平台的晶圆载具之间传送晶圆，所述传送机器人包括机器人本体、手臂和手指，所述手臂的一端连接在机器人本体上，所述手指与手臂另一端连接，所述手指远离手臂的一端上设有手指头部晶圆引导限位挡块，靠近手臂的一端上设有手指尾部晶圆引导块，所述手臂与手指连接处设有可伸缩的手指尾部晶圆推夹持块。

2.根据权利要求1所述的立式炉管设备，其特征在于，所述手指包括上下间隔设置且可分别独立控制的上手指和下手指。

3.根据权利要求2所述的立式炉管设备，其特征在于，所述上手指和下手指为扁平的u型结构，所述上手指和下手指上远离手臂的两个端部设有对射传感器。

4.根据权利要求1所述的立式炉管设备，其特征在于，所述晶圆载具平台与传送机器人相邻的一侧设有awc传感器光柱。

5.根据权利要求1所述的立式炉管设备，其特征在于，所述手指头部晶圆引导限位挡块、手指尾部晶圆引导块和手指尾部晶圆推夹持块的表面具有耐磨橡胶层。

6.根据权利要求1所述的立式炉管设备，其特征在于，所述手臂内设置有与手指尾部晶圆推夹持块连接的伸缩杆，伸缩杆与驱动装置连接。

7.根据权利要求6所述的立式炉管设备，其特征在于，所述手指上设置有滑槽，所述手指尾部晶圆推夹持块位于所述滑槽内。

8.根据权利要求1所述的立式炉管设备，其特征在于，所述手指尾部晶圆推夹持块上设置有与惰性气体源连通的气体口。

9.根据权利要求1所述的立式炉管设备，其特征在于，所述传送机器人上还设置有用于检测手指水平度的水平传感器。

10.根据权利要求1所述的立式炉管设备，其特征在于，所述传送机器人或所述晶圆载具平台上设置有用于检测晶圆表面状况的相机。