一种用于分子束外延取放片装置的制作方法

本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种用于分子束外延取放片装置。

背景技术：

1、在半导体制造的分子束外延工艺中，取放片操作是关键环节之一。现有的分子束外延取放片方式，通过在外部将衬底放置于托盘上，在一定程度上实现了衬底的基本放置与取用功能，为分子束外延工艺的初步开展提供了基础操作条件，使得分子束外延工艺能够按照既定流程进行衬底的准备与后续生长操作，在半导体制造产业发展初期，满足了基本的生产需求，推动了分子束外延技术在半导体领域的应用与发展。

2、但是，分子束外延取放片需要在外部将衬底放于托盘上，目前仅将托盘简单堆高后进行取放片，垫高块的位置并不固定，仅为两块特氟龙块，在放片过程中存在误碰位移的风险且与托盘接触，一旦有脏污，容易致使整个托盘污染，若需取放多片，在操作过程中还需抬起托盘旋转，旋转过程中存在衬底滑出风险，以上几种在操作过程中的风险都会引起外延片的报废导致良率损失。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于分子束外延取放片装置，旨在解决现有技术中分子束外延取放片需要在外部将衬底放于托盘上，目前仅将托盘简单堆高后进行取放片，垫高块的位置并不固定，仅为两块特氟龙块，在放片过程中存在误碰位移的风险且与托盘接触，一旦有脏污，容易致使整个托盘污染，若需取放多片，在操作过程中还需抬起托盘旋转，旋转过程中存在衬底滑出风险，以上几种在操作过程中的风险都会引起外延片的报废导致良率损失的技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采用的一种用于分子束外延取放片装置，包括载台、支撑柱和底座，所述载台的外边缘处通过多个连接件设置有多个固定块，所述载台上设置有多个固定支柱和铝盘，且所述铝盘的外边缘抵持于多个所述固定块和多个所述固定支柱之间，所述载台通过轴承与所述支撑柱转动连接，并位于所述支撑柱上，所述支撑柱与所述底座固定连接，并位于所述底座上。

3、其中，所述连接件为凸形块，所述载台的外侧具有多个凸形槽，且所述凸形块与所述固定块固定连接，并位于所述固定块的下方，所述凸形块还滑动设置于对应的所述凸形槽内。

4、其中，每个所述凸形块的两侧均设置有第一弧形台，每个所述凸形槽的两内侧均设置有第二弧形凸台，且所述第一弧形台与所述第二弧形凸台相互抵持。

5、其中，所述载台的下方设置有环形定位座，所述环形定位座内具有定位槽，所述定位槽内转动设置有多个辊轴，所述底座的上方设置有环形定位块，且多个所述辊轴均抵触于所述环形定位块上。

6、本实用新型的一种用于分子束外延取放片装置，本设计通过可旋转的所述载台，配合外边缘处的多个所述固定块及所述固定支柱，将托盘稳固置于所述载台上且仅边缘接触，避免了传统堆高方式中垫高块位移及脏污引入的风险；同时，所述载台通过轴承与所述支撑柱转动连接，实现了托盘的平稳旋转，无需抬起托盘即可调整角度，大大降低了衬底滑出的风险，从而显著提高了生产效率并减少了良率损失。

1.一种用于分子束外延取放片装置，其特征在于，

2.如权利要求1所述的用于分子束外延取放片装置，其特征在于，

3.如权利要求2所述的用于分子束外延取放片装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的用于分子束外延取放片装置，其特征在于，