一种具有高稳定性挡板的晶圆盒的制作方法

本技术涉及半导体载具，特别涉及一种具有高稳定性挡板的晶圆盒。

背景技术：

1、晶圆盒，即晶圆载具，属于半导体载具的一种，是专为半导体晶圆设计的精密承载装置，在半导体生产中起到了至关重要的作用。它主要用于放置和输送晶圆，简化了晶圆的运输过程，降低了晶圆被污染的风险，并确保了晶圆在不同生产环节之间的顺畅流转。

2、在现有技术中，通过将晶圆插设在晶圆盒的放置槽内，进行运输，由于在运输过程中，晶圆可能会发生振动和位移，因此需要再晶圆盒内部设置一个限位挡板来保护晶圆，如在本申请人已授权的公开号为cn119673833b的中国发明一种具有保护性限位装置的晶圆盒中提到了关于在晶圆盒内设置限位架的相关内容，其包括底板，晶圆储存盒，盒盖，限位组件。所述限位组件包括限位座，抵顶组件，转动片，限位架，转轮。所述限位座包括连接横杆，连接臂，抵顶挡片。所述抵顶组件包括连接部，抵顶凸起，连杆，拉伸片，加强筋。与现有技术相比，本发明通过设置所述晶圆储存盒插设晶圆片，设置所述限位组件对晶圆片进行抵顶，有效防止晶圆片损伤。同时通过设置所述抵顶组件，使得抵顶作用具有保护限度，从而防止刚性抵顶对晶圆片的损坏。

3、然而，在晶圆盒的实际使用过程中发现，如果限位挡板直接抵顶在晶圆侧面，虽然限位挡板具有一定的弹性，但是刚性接触的结构还是会导致晶圆有崩坏的风险，因此将限位挡板与晶圆间隔设置。然而在将限位挡板与晶圆间隔设置时，过大的间距会导致晶圆片运动后与限位挡板的碰撞力大于晶圆本身的强度导致损坏，因此需要控制限位挡板与晶圆之间的间距极其微小，从而提供晶圆运动的空间且晶圆运动并撞击在限位挡板上产生的冲击力小于晶圆本身的强度。常规设置的限位挡板由于结构简单，当与晶圆间隔设置时，会在垂直于晶圆片排列的方向上发生左右晃动，从而使得限位挡板表面撞击到晶圆使得晶圆有损坏的风险。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型提供了一种具有高稳定性挡板的晶圆盒，以解决上述技术问题。

2、一种具有高稳定性挡板的晶圆盒，其包括一个盒体，一个设置在所述盒体内的晶圆储存盒，以及一个设置在所述盒体内的限位挡板。所述限位挡板包括一个挡板座，一个设置在所述挡板座上的抵顶部，两个设置在所述挡板座上的连接片，一个连接在所述连接片上的挡板，以及一个设置在所述挡板上的转轮。所述挡板座包括一个横杆，以及两个与所述横杆垂直连接的连接臂。两个所述连接片相互间隔且平行设置在两个所述连接臂之间，并分别位于所述抵顶部的两侧。每个所述连接片均包括一个连接在所述连接臂之间的转轴，两个设置在所述转轴上的翅片，以及一个设置在两个所述翅片之间的连接杆。所述连接杆的两端分别连接两个所述翅片，并与所述转轴间隔且平行设置。所述挡板连接在两个所述连接片上。所述挡板上设置有四个避让口，四个位于所述避让口处的限位部，以及四个扣合在所述限位部上的固定卡扣。四个所述避让口两个为一组呈现为矩形阵列，两组所述避让口分别与两个所述连接片的位置对应，即每组的两个所述避让口的排列方向与所述连接杆的轴向一致，并在所述挡板上呈现为轴对称设置。四个所述限位部分别设置在四个所述避让口上，并横跨在所述避让口上，形成一个拱桥状的凸起结构，且延伸方向为所述连接杆的径向。所述限位部上设置有一个环形卡槽，一个位于所述环形卡槽一侧的抵顶端，以及一个位于所述环形卡槽另一侧的卡扣端。所述环形卡槽位于所述限位部的凸起的顶部，为一个半圆环状的卡槽，直径与所述转轴的直径一致。所述抵顶端设置在所述环形卡槽的靠近所述转轮的一侧。所述卡扣端设置在所述环形卡槽的远离所述转轮的另一侧。所述抵顶端的厚度大于所述卡扣端的厚度。所述固定卡扣包括一个卡扣主体，以及两组设置在所述卡扣主体上的卡扣插脚。所述卡扣主体抱合在所述环形卡槽的开口端。所述卡扣插脚垂直于所述卡扣主体设置，为端部设置卡块的弹性插脚，当所述连接杆卡入在所述环形卡槽内时，所述固定卡扣扣合在所述限位部上，并将所述连接杆抱合在内。

3、进一步地，所述盒体包括一个底板，以及一个扣合在所述底板上的盒盖。

4、进一步地，所述横杆的两端通过紧固件固定在所述盒盖的腔体内侧的顶部，且所述横杆的长度延伸方向与所述盒盖的顶面平行。

5、进一步地，两个所述连接臂与所述横杆的两端均为垂直设置，并均朝向所述盒盖的开口处延伸，两个所述连接臂彼此间隔且平行设置，并均与所述盒盖的侧壁垂直。

6、进一步地，所述抵顶部包括一个连接主体，以及两个设置在所述连接主体上的抵顶凸起。

7、进一步地，所述转轴同时垂直于两个所述连接臂设置，所述转轴的两端设置有插入端，两个连接臂上设置有供所述转轴插入的插孔，所述连接臂上还设置有挡块。

8、进一步地，两个所述翅片均为与所述转轴一体成型，分别位于所述转轴的在轴向的两端，彼此间隔且以所述连接杆为对称轴呈现为轴对称设置，每个所述翅片的延伸方向均为所述转轴的径向。

9、进一步地，每个所述避让口均为一个开设在所述挡板上的矩形通孔。

10、进一步地，所述转轮设置在所述挡板的远离所述横杆的底部，所述转轮的轴向为与所述转轴的轴向一致。

11、与现有技术相比，本实用新型提供的具有高稳定性挡板的晶圆盒通过设置所述限位部与固定卡扣，将所述连接杆扣合固定，加强了所述挡板与连接片之间的连接结构，对所述连接杆进行限位，避免所述挡板受力后带动所述连接片发生弹性形变而发生晃动。每个所述连接杆均通过两个所述限位部与固定卡扣进行固定两端，能够加强所述挡板与连接片连接处的稳定性，避免所述挡板在垂直于晶圆片排列的方向上发生左右晃动，从而撞击到晶圆片上，导致晶圆损坏。

1.一种具有高稳定性挡板的晶圆盒，其特征在于：所述具有高稳定性挡板的晶圆盒包括一个盒体，一个设置在所述盒体内的晶圆储存盒，以及一个设置在所述盒体内的限位挡板，所述限位挡板包括一个挡板座，一个设置在所述挡板座上的抵顶部，两个设置在所述挡板座上的连接片，一个连接在所述连接片上的挡板，以及一个设置在所述挡板上的转轮，所述挡板座包括一个横杆，以及两个与所述横杆垂直连接的连接臂，两个所述连接片相互间隔且平行设置在两个所述连接臂之间，并分别位于所述抵顶部的两侧，每个所述连接片均包括一个连接在所述连接臂之间的转轴，两个设置在所述转轴上的翅片，以及一个设置在两个所述翅片之间的连接杆，所述连接杆的两端分别连接两个所述翅片，并与所述转轴间隔且平行设置，所述挡板连接在两个所述连接片上，所述挡板上设置有四个避让口，四个位于所述避让口处的限位部，以及四个扣合在所述限位部上的固定卡扣，四个所述避让口两个为一组呈现为矩形阵列，两组所述避让口分别与两个所述连接片的位置对应，即每组的两个所述避让口的排列方向与所述连接杆的轴向一致，并在所述挡板上呈现为轴对称设置，四个所述限位部分别设置在四个所述避让口上，并横跨在所述避让口上，形成一个拱桥状的凸起结构，且延伸方向为所述连接杆的径向，所述限位部上设置有一个环形卡槽，一个位于所述环形卡槽一侧的抵顶端，以及一个位于所述环形卡槽另一侧的卡扣端，所述环形卡槽位于所述限位部的凸起的顶部，为一个半圆环状的卡槽，直径与所述转轴的直径一致，所述抵顶端设置在所述环形卡槽的靠近所述转轮的一侧，所述卡扣端设置在所述环形卡槽的远离所述转轮的另一侧，所述抵顶端的厚度大于所述卡扣端的厚度，所述固定卡扣包括一个卡扣主体，以及两组设置在所述卡扣主体上的卡扣插脚，所述卡扣主体抱合在所述环形卡槽的开口端，所述卡扣插脚垂直于所述卡扣主体设置，为端部设置卡块的弹性插脚，当所述连接杆卡入在所述环形卡槽内时，所述固定卡扣扣合在所述限位部上，并将所述连接杆抱合在内。

2.如权利要求1所述的具有高稳定性挡板的晶圆盒，其特征在于：所述盒体包括一个底板，以及一个扣合在所述底板上的盒盖。

3.如权利要求2所述的具有高稳定性挡板的晶圆盒，其特征在于：所述横杆的两端通过紧固件固定在所述盒盖的腔体内侧的顶部，且所述横杆的长度延伸方向与所述盒盖的顶面平行。

4.如权利要求2所述的具有高稳定性挡板的晶圆盒，其特征在于：两个所述连接臂与所述横杆的两端均为垂直设置，并均朝向所述盒盖的开口处延伸，两个所述连接臂彼此间隔且平行设置，并均与所述盒盖的侧壁垂直。

5.如权利要求1所述的具有高稳定性挡板的晶圆盒，其特征在于：所述抵顶部包括一个连接主体，以及两个设置在所述连接主体上的抵顶凸起。

6.如权利要求1所述的具有高稳定性挡板的晶圆盒，其特征在于：所述转轴同时垂直于两个所述连接臂设置，所述转轴的两端设置有插入端，两个连接臂上设置有供所述转轴插入的插孔，所述连接臂上还设置有挡块。

7.如权利要求1所述的具有高稳定性挡板的晶圆盒，其特征在于：两个所述翅片均为与所述转轴一体成型，分别位于所述转轴的在轴向的两端，彼此间隔且以所述连接杆为对称轴呈现为轴对称设置，每个所述翅片的延伸方向均为所述转轴的径向。

8.如权利要求1所述的具有高稳定性挡板的晶圆盒，其特征在于：每个所述避让口均为一个开设在所述挡板上的矩形通孔。

9.如权利要求1所述的具有高稳定性挡板的晶圆盒，其特征在于：所述转轮设置在所述挡板的远离所述横杆的底部，所述转轮的轴向为与所述转轴的轴向一致。