一种用于晶圆盒管理芯片的读写检测系统的制作方法

本发明涉及管理芯片读写检测，具体为一种用于晶圆盒管理芯片的读写检测系统。

背景技术：

1、晶圆盒是半导体制造产线的核心承载配件，是光刻、蚀刻、薄膜沉积等各工序间晶圆转运、存储的专用容器，为解决晶圆盒精细化管控难题，晶圆盒管理芯片应运而生，该芯片是晶圆盒智能化管理的核心载体，可内嵌于晶圆盒内部，具备唯一身份标识、数据存储、信息交互等功能，芯片可实时记录晶圆盒的身份信息、存放晶圆规格、流转轨迹、使用次数、存放时长等核心数据，为自动化、数字化管控提供数据支撑，能实现每一个晶圆盒的全生命周期可追溯管理，在晶圆盒管理芯片生产的过程中，往往需要对其进行检测和读写测试，只有合格的晶圆盒管理芯片才能进行使用。

2、现有晶圆盒管理芯片的ccd视觉外观检测与芯片数据读写测试为相互独立的作业工序，需采用两台独立设备分别完成检测与读写测试作业，作业过程中需要先进行ccd视觉外观检测，然后才能进行数据读写测试，由于采用的是两台独立设备进行ccd视觉检测和读写测试，因此需要频繁更换工位，检测时间较长，难以适配晶圆盒管理芯片批量规模化的生产质检需求，为此我们提出一种用于晶圆盒管理芯片的读写检测系统。

技术实现思路

1、本发明所要解决的技术问题是提供了一种用于晶圆盒管理芯片的读写检测系统，它能够有效解决现有技术中的问题。

2、本发明所采用的技术方案是：一种用于晶圆盒管理芯片的读写检测系统，包括中固定台，所述中固定台的两侧固定安装有上料台，所述中固定台的前后两侧对角安装有侧固定台，所述侧固定台的顶端固定安装有上料机械手，所述上料台的顶端固定安装有晶圆盒摆放定位块，所述上料台的顶端通过晶圆盒摆放定位块放置有晶圆盒本体，所述晶圆盒本体的内部放置有管理芯片晶圆片，所述中固定台的顶端固定安装有顶架，所述中固定台的上方位于顶架的内侧固定安装有内悬吊架，所述内悬吊架的内部固定安装有悬吊板，所述悬吊板的顶端固定安装有四个相同的安装条，所述悬吊板的中间开设有缺槽，所述悬吊板的内部位于缺槽内侧对称设置有视觉检测组件和读写组件，所述中固定台的顶端设置有横移单元，所述横移单元的上侧设置有固定吸附式夹持组件和活动吸附式夹持组件。

3、优选的，所述视觉检测组件包括有横向伺服模组一，所述横向伺服模组一固定安装在悬吊板顶端安装条的外侧，所述横向伺服模组一的活动端固定安装有横向移动块一，所述横向移动块一远离横向伺服模组一的一端固定安装有竖向伺服模组一，所述竖向伺服模组一的活动端固定安装有竖向移动块一，所述竖向移动块一远离竖向伺服模组一的一端固定安装有ccd相机。

4、通过上述技术方案，横向伺服模组一可驱动横向移动块一完成水平横向位移调节，竖向伺服模组一可驱动竖向移动块一完成竖直竖向位移调节，能调节ccd相机的横向和竖向位置，确保ccd相机拍摄清晰。

5、优选的，所述读写组件包括有横向伺服模组二，所述横向伺服模组二固定安装在悬吊板顶端安装条的外侧，所述横向伺服模组二的活动端固定安装有横向移动块二，所述横向移动块二远离横向伺服模组二的一端固定安装有竖向伺服模组二，所述竖向伺服模组二的活动端固定安装有竖向移动块二，所述竖向移动块二远离竖向伺服模组二的一端固定安装有读写测试单元。

6、通过上述技术方案，横向伺服模组二可驱动横向移动块二完成水平横向位移调节，竖向伺服模组二可驱动竖向移动块二完成竖直竖向位移调节，能调节读写测试单元的横向和竖向位置，确保读写测试单元读写稳定。

7、优选的，所述读写组件和视觉检测组件均设置有相同的两个，两个所述读写组件和两个所述视觉检测组件均关于中固定台的竖直轴线呈对称分布，所述读写组件和视觉检测组件位于中固定台的上方，两个所述读写组件位于悬吊板顶端的一侧，两个所述视觉检测组件位于悬吊板顶端的另一侧。

8、通过上述技术方案，对称布设的两组视觉检测组件与两组读写组件可形成独立且同步的检测和读写操作，可实现晶圆片视觉检测与芯片读写测试作业同步并行，互不干涉，大幅提升了设备整体的工作效率。

9、优选的，所述横移单元包括横移模组一和横移模组二，所述横移模组一和横移模组二均固定安装在中固定台的内部，所述横移模组一和横移模组二的活动端均固定安装有横移板，所述横移板与中固定台之间设置有导轨和滑移块，所述导轨与中固定台为固定连接，所述滑移块与横移板为固定连接。

10、通过上述技术方案，横移模组一与横移模组二可驱动横移板进行移动，搭配导轨和滑移块，确保驱动横移板能移动至上料和检测工位。

11、优选的，所述横移单元设置有相同的两组，两组所述横移单元关于中固定台的竖直轴线呈对称分布，一组所述导轨和滑移块设置有相同的四个，四个所述导轨和滑移块采用对称排列。

12、通过上述技术方案，两组对称布设的横移单元可形成双工位横移作业结构，能够同步承载两组吸附式夹持机构完成工件输送作业，成倍提升设备作业效率。

13、优选的，所述固定吸附式夹持组件包括有固定座，所述固定座固定安装于横移板顶端的一侧，所述固定座的上方固定安装有竖向支架，所述竖向支架的一侧固定安装有竖向气缸一，所述竖向气缸一的活动端固定安装有活动块一，所述活动块一远离竖向气缸一的一面固定安装有竖向活动架一，所述竖向活动架一远离活动块一的一端固定安装有旋转气缸一，所述旋转气缸一的活动端固定安装有旋转真空吸附架一，所述旋转真空吸附架一的顶端开设有旋转真空吸附槽一。

14、通过上述技术方案，竖向气缸一可通过活动块一驱动竖向活动架一完成竖向升降动作，旋转气缸一可带动旋转真空吸附架一进行角度旋转调节，可根据作业需求灵活调节工件的高度与角度，适配多场景拍照检测需求。

15、优选的，所述活动吸附式夹持组件包括有横向气缸，所述横向气缸固定安装在横移板的顶端，所述横向气缸的活动端固定安装有活动座，所述活动座与横移板之间设置有横向滑块和横向滑轨，所述横向滑轨与横移板为固定连接，所述横向滑块与活动座为固定连接，所述活动座顶端的一侧固定安装有竖向气缸二，所述竖向气缸二的活动端固定安装有活动块二，所述活动块二远离竖向气缸二的一面固定安装有竖向活动架二，所述竖向活动架二远离活动块二的一面固定安装有旋转气缸二，所述旋转气缸二的活动端固定安装有旋转真空吸附架二，所述旋转真空吸附架二的顶端开设有旋转真空吸附槽二。

16、通过上述技术方案，横向气缸可驱动活动座向着固定座的方向运动或远离，通过改变活动座与固定座之间的间距，能实现旋转真空吸附架一与旋转真空吸附架二对管理芯片晶圆片的吸附式夹持或松开，竖向气缸二可通过活动块二驱动竖向活动架二完成竖向升降动作，旋转气缸二可带动旋转真空吸附架二进行角度旋转调节，通过旋转真空吸附架一与旋转真空吸附架二同步旋转配合，能实现管理芯片晶圆片的角度调节，能满足不同角度拍照检测。

17、优选的，所述旋转真空吸附架一与旋转真空吸附架二竖向截面均呈“l”字型结构，所述旋转真空吸附槽一与旋转真空吸附槽二均呈“c”字型结构，且旋转真空吸附槽一与旋转真空吸附槽二共同组成“o”字型结构。

18、通过上述技术方案，旋转真空吸附架一与旋转真空吸附架二搭配旋转真空吸附槽一与旋转真空吸附槽二能对管理芯片晶圆片进行吸附式夹持，有效避免吸附式夹持过程中出现管理芯片晶圆片脱离的情况。

19、优选的，所述侧固定台、上料机械手、晶圆盒摆放定位块和晶圆盒本体均设置有相同的四个，两个所述侧固定台、上料机械手、晶圆盒摆放定位块和晶圆盒本体位于中固定台横轴线的一侧，另外两个所述侧固定台、上料机械手、晶圆盒摆放定位块和晶圆盒本体位于中固定台横轴线的另一侧。

20、通过上述技术方案，通过四个相同的侧固定台、上料机械手、晶圆盒摆放定位块和晶圆盒本体的设计，能实现双工位检测和读写操作，加快了检测和读写效率，有效解决现有技术中，需要频繁更换工位才能进行读写和检测的问题。

21、与现有技术相比，本发明提供了一种用于晶圆盒管理芯片的读写检测系统，具备以下有益效果：

22、1、该用于晶圆盒管理芯片的读写检测系统，通过两组视觉检测组件、两组读写组件和两组横移单元的相互配合，能实现双工位的检测和读写，同时ccd相机能在横向伺服模组一和竖向伺服模组一的驱动下进行横向以及竖向位置的调节、读写组件能在横向伺服模组二和竖向伺服模组二的驱动下进行横向以及竖向位置的调节，能更好的对管理芯片晶圆片进行检测和读写；

23、2、该用于晶圆盒管理芯片的读写检测系统，通过两组横移单元、两组固定吸附式夹持组件和两组活动吸附式夹持组件的相互配合，既能实现稳定输送，也能实现可靠的吸附夹持，通过旋转气缸一、旋转真空吸附架一、旋转气缸二和旋转真空吸附架二的相互配合，能对管理芯片晶圆片进行角度调节，能实现不同角度的ccd拍照检测，减少拍摄盲区；

24、3、该用于晶圆盒管理芯片的读写检测系统，通过四个上料机械手和四个晶圆盒本体的相互配合，能实现自动化双工位上下料作业，大幅提升了检测与读写效率，有效避免现有技术中，需要频繁更换工位的情况，能满足批量检测和读写测试。