一种用于晶圆快速倒片的辅助装置的制作方法

本技术属于半导体芯片制造，尤其涉及一种用于晶圆快速倒片的辅助装置。

背景技术：

1、在半导体晶圆制造领域，晶圆平时装在晶舟盒内。生产时晶圆需要在不同的生产工序或者生产场景进行传递及转移。这时就需要晶圆在晶舟盒与晶舟盒之间通过互倒的方式进行转移，晶圆在晶舟盒之间互相转移过程中，因作业人员的操作不规范，就会产生晶圆表面划伤，碎裂等异常情形，产生不良品，造成损失。

2、现有技术中，晶圆在清洗后需要将晶圆从pfa晶舟盒导入到pp晶舟盒内。当前流行的倒片操作有整体互倒，单片互倒等，倒片时，会有机器自动倒片，作业人员使用真空吸笔或者两个晶舟盒互倒等方式进行操作，以上几种方法有以下不足之处：1、使用机器进行自动倒片成本较高；2、使用真空吸笔时，操作不规范会造成晶圆划伤，破损等异常；3、晶舟盒互倒时，晶舟盒本身的定位柱容易断裂变形，无法起到定位作用，导致晶圆倒歪或者划伤；4、晶舟盒定位柱断裂或变形后需要报废，造成成本的浪费；5、倒片过程中，人员可能会接触到晶圆造成不良。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种用于晶圆快速倒片的辅助装置，具备模式灵活切换、晶圆防护性强、定位精准可控、适配性高实现高效、稳定、精准的晶圆倒片作业的优点，解决了现有技术中倒片模式单一、易损伤晶圆、定位难、适配差的问题。

2、本实用新型是这样实现的，一种用于晶圆快速倒片的辅助装置，包括晶舟盒放置平台，所述晶舟盒放置平台底部的四个拐角处均固定连接有支撑脚，所述晶舟盒放置平台的顶部固定安装有两个相对设置的晶舟盒限位底板，所述晶舟盒放置平台的左侧安装有推杆机构，所述推杆机构包括推杆件、连杆、固定模块和旋钮，所述晶舟盒放置平台的底部通过螺丝固定有直线轴承基座，两个所述连杆贯穿安装于直线轴承基座上，所述固定模块固定连接于连杆的一端之间，所述推杆件的下部滑动贯穿固定模块，所述旋钮螺纹连接于固定模块上且锁紧推杆件，所述推杆件的上部延伸至晶舟盒放置平台的顶部且与晶圆工件对应，所述推杆件包括第一推杆和第二推杆，当对整体晶圆倒片时，所述推杆件为第一推杆，当对单片晶圆倒片时，所述推杆件为第二推杆。

3、通过该设置，可根据生产需求快速切换整体/单片倒片模式，采用第一推杆完成整组晶圆批量倒片，满足高效转移需求，更换为第二推杆即可开展单片倒片，适配小批量、差异化工序要求；无需额外购置多套设备，大幅降低倒片成本，同时简化操作流程，提升倒片作业的灵活性与通用性，利于避免传统倒片方式模式单一、成本高的情况。

4、作为本实用新型优选的，所述推杆件与晶圆的接触面固定连接有防静电pe软垫，且装置整体采用绝缘防静电材料制作。

5、通过该设置，利用防静电pe软垫的软性防护与绝缘特性，避免推杆直接接触晶圆产生划痕、破损，杜绝静电吸附杂质、击穿晶圆风险，装置整体绝缘防静电，营造稳定的倒片环境，利于保障晶圆表面质量，降低因操作导致的不良品率，利于避免传统倒片易损伤晶圆、静电干扰的情况。

6、作为本实用新型优选的，所述晶舟盒放置平台的顶部一端固定连接有限位挡板。

7、通过该设置，通过晶舟盒限位底板和限位挡板的配合，可精准限制其边界位置，避免因放置偏移导致倒片错位、晶圆滑落，保障晶舟盒与晶圆的相对位置稳定，提升倒片过程的安全性与精准度，利于避免传统倒片晶舟盒易移位、倒片失控的情况，且晶舟盒限位底板分别可以对应4寸，6寸和8寸的标准晶舟盒，适配度高，提高使用效率。

8、作为本实用新型优选的，所述连杆的另一端固定连接有限位块。

9、通过该设置，限位块可限制连杆的最大行程，避免推杆过度前伸导致晶圆被推出晶舟盒、碰撞损坏，以及过度后拉脱离作业区，通过机械限位约束推杆运动范围，保障倒片操作始终在安全、可控区间内，利于避免传统倒推杆行程失控、晶圆易损坏的情况。

10、作为本实用新型优选的，所述固定模块的内部安装有球头弹簧螺丝件，所述推杆件的下部内侧开设有限位孔槽，所述球头弹簧螺丝件和限位孔槽之间相匹配对应连接。

11、通过该设置，球头弹簧螺丝件与限位孔槽配合，可自动限位推杆件，并配合旋钮，可实现对推杆件的快速定位与固定，当更换推杆及调节高度时，球头弹簧螺丝件弹性伸缩适配限位孔槽，降低操作难度，防止推杆使用中松动移位，保障倒片过程推杆位置稳定，利于避免传统倒片推杆易松脱、定位难的情况。

12、作为本实用新型优选的，所述第二推杆内侧的限位孔槽设有若干个且沿着第二推杆均匀分布，所述球头弹簧螺丝件与对应的限位孔槽匹配连接，所述限位孔槽用于调节第二推杆的高度以对应相应层数的晶圆。

13、通过该设置，多层限位孔槽可灵活调节第二推杆高度，精准匹配不同层数晶圆的倒片需求，作业时按需调整限位孔槽卡位，无需更换推杆即可适配多规格晶圆，高度调节精准，确保单片晶圆倒片时受力均匀、位置准确，利于避免传统单片倒片适配性差、易偏移的情况。

14、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

15、模式切换便捷，可快速在整体与单片倒片模式切换，节省生产准备时间，适配不同生产需求；成本降低，限位底板适配多尺寸晶舟盒，降低晶舟盒因定位柱损坏报废的成本，无需依赖高成本自动倒片设备，节约设备投入；晶圆防护好，防静电材料与软性pe防护，推杆减少人员接触，降低晶圆划伤、破损等不良风险，提升晶圆良率，倒片精准度高，降低操作难度，有效提高了工作效率。

1.一种用于晶圆快速倒片的辅助装置，包括晶舟盒放置平台（1），其特征在于：所述晶舟盒放置平台（1）底部的四个拐角处均固定连接有支撑脚（101），所述晶舟盒放置平台（1）的顶部固定安装有两个相对设置的晶舟盒限位底板（2），所述晶舟盒放置平台（1）的左侧安装有推杆机构，所述推杆机构包括推杆件、连杆（3）、固定模块（302）和旋钮（303），所述晶舟盒放置平台（1）的底部通过螺丝固定有直线轴承基座（103），两个所述连杆（3）贯穿安装于直线轴承基座（103）上，所述固定模块（302）固定连接于连杆（3）的一端之间，所述推杆件的下部滑动贯穿固定模块（302），所述旋钮（303）螺纹连接于固定模块（302）上且锁紧推杆件，所述推杆件的上部延伸至晶舟盒放置平台（1）的顶部且与晶圆工件对应，所述推杆件包括第一推杆（4）和第二推杆（5），当对整体晶圆倒片时，所述推杆件为第一推杆（4），当对单片晶圆倒片时，所述推杆件为第二推杆（5）。

2.如权利要求1所述的一种用于晶圆快速倒片的辅助装置，其特征在于：所述推杆件与晶圆的接触面固定连接有防静电pe软垫，且装置整体采用绝缘防静电材料制作。

3.如权利要求1所述的一种用于晶圆快速倒片的辅助装置，其特征在于：所述晶舟盒放置平台（1）的顶部一端固定连接有限位挡板（102）。

4.如权利要求1所述的一种用于晶圆快速倒片的辅助装置，其特征在于：所述连杆（3）的另一端固定连接有限位块（301）。

5.如权利要求1所述的一种用于晶圆快速倒片的辅助装置，其特征在于：所述固定模块（302）的内部安装有球头弹簧螺丝件（304），所述推杆件的下部内侧开设有限位孔槽（6），所述球头弹簧螺丝件（304）和限位孔槽（6）之间相匹配对应连接。

6.如权利要求5所述的一种用于晶圆快速倒片的辅助装置，其特征在于：所述第二推杆（5）内侧的限位孔槽（6）设有若干个且沿着第二推杆（5）均匀分布，所述球头弹簧螺丝件（304）与对应的限位孔槽（6）匹配连接，所述限位孔槽（6）用于调节第二推杆（5）的高度以对应相应层数的晶圆。