取放模组和晶圆检测装置的制作方法

本申请涉及半导体检测，特别是涉及取放模组和晶圆检测装置。

背景技术：

1、在半导体制造流程中，晶圆背面检测是保障晶圆质量和后续芯片生产良率的关键环节。在该检测环节中，背检盘作为吸附晶圆的核心部件，需要频繁地在存储工位与检测工装之间进行转移。目前，行业内对于背检盘的取放操作多依赖人工完成，具体流程为：操作人员先打开半导体检测设备的防护门，手动从存储架上取出背检盘，再将其精准安装到检测工装的指定位置；当检测完成后，又需手动将背检盘拆卸并放回存储架。

2、然而，这种人工取放方式存在诸多缺陷：人工操作精度有限，容易造成晶圆吸附不稳定，进而影响检测数据的准确性，甚至可能引发晶圆划伤、破损等问题；人工频繁开关防护门会破坏设备内部的洁净环境，引入灰尘、颗粒等杂质，检测结果会受到干扰；人工取放操作的效率较低，无法满足半导体制造过程中大规模、高节拍的生产需求。

3、

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述问题，提供一种取放模组，旨在解决人工取放背检盘精度不足、洁净环境易被破坏和生产效率低的问题。

2、本申请提供一种取放模组，应用于晶圆检测装置，所述晶圆检测装置具有检测工位，所述取放模组包括：

3、机架；

4、背检盘，被配置为用于存储待检测晶圆；

5、存储机构，安装于所述机架，所述存储机构被配置为至少用于承载所述背检盘；以及

6、转移机构，活动安装于所述机架，所述转移机构被配置为用于在所述存储机构和所述检测工位之间转移所述背检盘及其上的所述待检测晶圆。

7、在其中一个实施例中，所述转移机构包括抓取组件，所述背检盘设有配合部；

8、所述抓取组件被配置为通过抓取所述配合部，抓取所述背检盘，并带动所述背检盘在所述存储机构和所述检测工位之间转移。

9、在其中一个实施例中，所述抓取组件包括驱动结构、及分设于所述驱动结构的至少两个夹持件，所述配合部具有至少两个，且多个所述配合部凸设于所述背检盘的边侧；所述驱动结构被配置为用于驱动多个所述夹持件相靠近或者相远离，使多个所述夹持件分别夹持多个所述配合部，由此夹持所述背检盘。

10、在其中一个实施例中，所述夹持件和所述夹持凸部中的一者设有压力传感器，所述压力传感器被配置为用于检测所述夹持件对所述夹持凸部的夹持力；和/或，

11、所述夹持件朝向所述夹持凸部的一侧设有缓冲件，所述缓冲件夹设于所述夹持件与所述夹持凸部之间。

12、在其中一个实施例中，所述抓取组件包括电磁体，所述配合部配置为磁性件，所述电磁体吸附所述磁性件，以抓取所述背检盘；和/或，

13、所述转移机构还包括固定于所述机架的第一滑动导轨，所述抓取组件滑动安装于所述第一滑动导轨，以带动所述背检盘在所述存储机构和所述检测工位之间转移。

14、在其中一个实施例中，所述存储机构包括安装板，所述安装板设有承载位，所述背检盘可分离地设置于所述承载位，所述安装板被配置为通过滑动运动带动所述背检盘运动至待拿取位置，以供所述转移机构抓取或者放置所述背检盘。

15、在其中一个实施例中，所述背检盘设有触发件，所述安装板设有触发位，且所述触发位设有触发器；所述背检盘设置于所述承载位时，所述触发件插接于所述触发位，以触发所述触发器；和/或，

16、所述背检盘和所述安装板的一者设有定位件，另一者设有定位孔，所述定位件和所述定位孔被配置为用于在所述背检盘设置于所述承载位时相互插接。在其中一个实施例中，所述存储机构包括多个安装板、及多个第二滑动导轨，每一所述安装板均滑动安装于一所述第二滑动导轨上，多个所述安装板中的至少两者上的所述背检盘的规格不同设置，且多个所述安装板择一在所述第二滑动导轨上滑动，以将所述背检盘运送至所述待拿取位置。

17、在其中一个实施例中，所述背检盘上设有容纳槽，所述容纳槽被配置为用于容纳所述待检测晶圆，且所述容纳槽内设有吸附口，所述吸附口被配置为通过真空吸附作用将所述待检测晶圆固定于所述容纳槽。

18、本申请还提供一种晶圆检测装置，包括如上所述的取放模组。

19、上述取放模组包括机架、背检盘、存储机构和转移机构，背检盘被配置为用于存储待检测晶圆；从而使得转移机构通过背检盘转移晶圆，无需直接接触晶圆，进一步降低了晶圆被划伤、污染的风险，更好地保障晶圆的检测质量和生产安全。存储机构安装于机架，存储机构被配置为至少用于承载背检盘；使得背检盘能够有序存放，方便转移机构快速定位抓取，相比于人工存放，本方案能够避免背检盘随意放置导致的磕碰损伤，也能减少背检盘被环境杂质污染的可能。转移机构活动安装于机架，转移机构被配置为用于带动背检盘在存储机构和检测工位之间转移，以转移待检测晶圆，从而使得转移机构能够自动完成背检盘在存储机构和检测工位之间的转移，全程无需操作人员手动介入操作，避免了人工操作带来的精度不足问题，也不需要频繁开关半导体检测设备的防护门，有效维持了晶圆检测装置内部的高洁净度，满足生产环境要求，同时能够稳定按照设定程序完成取放操作，大幅缩短了背检盘更换转移的耗时，适配大规模高节拍的生产需求，也避免了操作人员磕碰设备精密部件的风险，消除了人工操作的安全隐患。

1.一种取放模组，应用于晶圆检测装置，所述晶圆检测装置具有检测工位，其特征在于，所述取放模组包括：

2.根据权利要求1所述的取放模组，其特征在于，所述转移机构包括抓取组件，所述背检盘设有配合部；

3.根据权利要求2所述的取放模组，其特征在于，所述抓取组件包括驱动结构、及分设于所述驱动结构的至少两个夹持件，所述配合部具有至少两个，且多个所述配合部凸设于所述背检盘的边侧；所述驱动结构被配置为用于驱动多个所述夹持件相靠近或者相远离，使多个所述夹持件分别夹持多个所述配合部，由此夹持所述背检盘。

4.根据权利要求3所述的取放模组，其特征在于，所述夹持件和所述配合部中的一者设有压力传感器，所述压力传感器被配置为用于检测所述夹持件对所述配合部的夹持力；和/或，

5.根据权利要求2所述的取放模组，其特征在于，所述抓取组件包括电磁体，所述配合部配置为磁性件，所述电磁体吸附所述磁性件，以抓取所述背检盘；和/或，

6.根据权利要求1所述的取放模组，其特征在于，所述存储机构包括安装板，所述安装板设有承载位，所述背检盘可分离地设置于所述承载位，所述安装板被配置为通过滑动运动带动所述背检盘运动至待拿取位置，以供所述转移机构抓取或者放置所述背检盘。

7.根据权利要求6所述的取放模组，其特征在于，所述背检盘设有触发件，所述安装板设有触发位，且所述触发位设有触发器；所述背检盘设置于所述承载位时，所述触发件插接于所述触发位，以触发所述触发器；和/或，

8.根据权利要求6所述的取放模组，其特征在于，所述存储机构包括多个安装板、及多个第二滑动导轨，每一所述安装板均滑动安装于一所述第二滑动导轨上，多个所述安装板中的至少两者上的所述背检盘的规格不同设置，且多个所述安装板择一在所述第二滑动导轨上滑动，以将所述背检盘运送至所述待拿取位置。

9.根据权利要求1所述的取放模组，其特征在于，所述背检盘上设有容纳槽，所述容纳槽被配置为用于容纳所述待检测晶圆，且所述容纳槽内设有吸附口，所述吸附口被配置为通过真空吸附作用将所述待检测晶圆固定于所述容纳槽。

10.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的取放模组。