一种半导体载台快速校准定位装置的制作方法

本技术涉及半导体载台，具体是一种半导体载台快速校准定位装置。

背景技术：

1、半导体指室温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。 半导体材料导电性能可通过掺杂来改变，掺杂进入本质半导体的杂质浓度与极性皆会对半导体的导电特性产生很大影响。掺入施主杂质的半导体，导电载流子主要是导带中的电子，掺入受主杂质的半导体，属空穴型导电。半导体载台是半导体制造和测试中用于承载晶圆或芯片的核心设备，主要应用于晶圆检测、激光退火等工艺‌。

2、现有技术中申请号为202221099070.3的一种半导体载台，用于承载放置层状产品的治具。该半导体载台包括画面撷取单元和处理单元，画面撷取单元撷取层状产品的影像，处理单元根据撷取的影像判断产品的状况。由于画面撷取单元为面状侦测，撷取的影像记录了整个“面”的状态，相较于点状侦测提高了侦测能力，可以有效的侦测出翘曲、斜插或叠片等多种类型的非正常状况，从而避免误判，但是，不便于调节半导体载台的水平使用角度，同时不便于对上载台进行水平角度的校准。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种半导体载台快速校准定位装置，以解决现有技术中不便于调节半导体载台的水平使用角度，同时不便于对上载台进行水平角度的校准问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体载台快速校准定位装置，包括底座，所述底座上侧通过立轴和轴承座旋转设有上载台，所述上载台上侧通过第一丝杠相向螺纹设有两个第一滑块，且两个第一滑块上侧设有第一定位夹板，所述第一定位夹板上设有直角夹槽，所述立轴和轴承座之间通过齿轮组传动连接有电动机，所述上载台和底座之间设有用于角度旋转校准的传感器，且传感器包括设置在上载台下侧的信号接收器，所述传感器还包括底座设置在上侧多角度的多个信号发射器。

3、进一步的，所述第一定位夹板一侧通过第二丝杠相向螺纹设有两个第二滑块，且两个第二滑块一侧均设有第二定位夹板。

4、进一步的，所述齿轮组采用减速齿轮，且电动机固定安装在底座上。

5、进一步的，所述的多个信号发射器等夹角设置，所述信号接收器位于信号发射器的正上方。

6、进一步的，所述第一定位夹板和第二定位夹板均采用矩形夹板，且第一定位夹板和第二定位夹板一侧均设有防护垫。

7、进一步的，所述的两个第一滑块滑动设置在上载台上侧的限位滑槽内，且限位滑槽内还设有导向杆。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、1、本实用新型利用立轴和轴承座之间通过齿轮组传动连接有电动机，齿轮组采用减速齿轮，且电动机固定安装在底座上，使得通过电动机和齿轮组驱动轴承座上部的上载台水平旋转调节，从而便于调节半导体载台的水平使用角度。

10、2、本实用新型利用传感器包括设置在上载台下侧的信号接收器，传感器还包括底座设置在上侧多角度的多个信号发射器，使得通过控制不同角度的信号发射器发出信号，通过观察信号接收器是否接收到相应的信号，从而能够对上载台进行水平角度的校准处理。

11、3、本实用新型利用上载台上侧通过第一丝杠相向螺纹设有两个第一滑块，且两个第一滑块上侧设有第一定位夹板，使得通过第一丝杠驱动两个第一定位夹板相向移动调节，能够对半导体左右两侧进行夹持固定，然后利用第一定位夹板一侧通过第二丝杠相向螺纹设有两个第二滑块，且两个第二滑块一侧均设有第二定位夹板，使得通过第二丝杠驱动两个第二定位夹板相向移动调节，能够对半导体前后两侧进行夹持固定，便于提高半导体夹持固定在上载台上的稳定性。

1.一种半导体载台快速校准定位装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）上侧通过立轴（2）和轴承座（3）旋转设有上载台（6），所述上载台（6）上侧通过第一丝杠（7）相向螺纹设有两个第一滑块（8），且两个第一滑块（8）上侧设有第一定位夹板（9），所述立轴（2）和轴承座（3）之间通过齿轮组（4）传动连接有电动机（5），所述上载台（6）和底座（1）之间设有用于角度旋转校准的传感器，且传感器包括设置在上载台（6）下侧的信号接收器（16），所述传感器还包括底座（1）设置在上侧多角度的多个信号发射器（15）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体载台快速校准定位装置，其特征在于：所述第一定位夹板（9）一侧通过第二丝杠（12）相向螺纹设有两个第二滑块（10），且两个第二滑块（10）一侧均设有第二定位夹板（11）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体载台快速校准定位装置，其特征在于：所述齿轮组（4）采用减速齿轮，且电动机（5）固定安装在底座（1）上。

4.根据权利要求1所述的一种半导体载台快速校准定位装置，其特征在于：所述的多个信号发射器（15）等夹角设置，所述信号接收器（16）位于信号发射器（15）的正上方。

5.根据权利要求2所述的一种半导体载台快速校准定位装置，其特征在于：所述第一定位夹板（9）和第二定位夹板（11）均采用矩形夹板，且第一定位夹板（9）和第二定位夹板（11）一侧均设有防护垫。

6.根据权利要求1所述的一种半导体载台快速校准定位装置，其特征在于：所述的两个第一滑块（8）滑动设置在上载台（6）上侧的限位滑槽（13）内，且限位滑槽（13）内还设有导向杆（14）。