光伏设备反应室的升降温结构及光伏干法设备的制作方法

本技术属于光伏电池片制造设备，尤其涉及一种光伏设备反应室的升降温结构及光伏干法设备。

背景技术：

1、太阳能目前已经成为最清洁、经济和安全的能源，且有取之不尽、用之不绝的优势，因此受到世界各国的广泛重视。

2、在诸多光伏电池片制造设备中，管式设备占比很大且至为关键，包括扩散、pecvd、ald、氧化、退火及lpcvd等设备。而反应室作为工艺气体的反应区域，是管式设备的灵魂，对提升质量及生产效率、降低制造成本等方面发挥着极其重要的作用。

3、目前干法设备反应室的腔体，绝大多数为单腔体结构，只有一个封闭式内腔体，如图1至图2所示，内腔体11a外部围绕布置加热器2a，加热器2a外部布置保温材料3a，封闭式内腔体结合炉口处的炉门机构12a及炉尾侧的盖板13a，可形成稳定的真空工艺环境，加热器2a提供热源，可形成高温工艺环境的，隔热材料3a可减轻热量流失浪费，进气管道4a和出气管道5a提供工艺气体。较少数情况也有双腔体结构，如图3所示，相对单腔体结构，主要是增加了封闭式外腔体，具体结构为：内腔体11b外部围绕布置加热器2b，加热器2b外部布置保温材料3b，封闭式内腔体结合炉口处的炉门机构12b及炉尾侧的炉尾盖板13b，可形成稳定真空工艺环境的内腔室，保温材料3b的外侧还布置有外腔体14b，外腔体14b、炉口盖板15b、内腔体11b以及炉尾盖板13b形成了外腔室，进气管道4b和出气管道5b为内腔室提供工艺气体。上述两个结构存在的问题为：为了缩短工艺时间从而增加产能，通常希望反应室既可快速升温，也可快速降温，但两者是一对矛盾体，实现快速升温相对比较容易，主要可以采用加大功率及加强保温能力两种方式，加强保温能力的主要手段包括加厚保温层及采用隔热性更强的保温材料，这些都可以提升升温速度，但过度加大功率等于浪费能源，加强保温能力会导致降温速度降低，导致降温工艺时间大幅度甚至是数倍程度的加长。反之，如果降低保温能力，往往可以加快总体工艺时间，增加产能，但会导致热能流失浪费，设备功率增大等问题，即浪费了能源，又降低了设备寿命。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种光伏设备反应室的升降温结构及光伏干法设备，以解决现有技术中的反应室无法快速升降温的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型提供的一种光伏设备反应室的升降温结构，所述反应室包括内腔体、加热器、外腔体、炉门组件以及炉尾盖板组件，所述内腔体、所述加热器以及所述外腔体由内向外依次布置，所述炉门组件设于所述内腔体的一端，所述炉门组件包括炉门盖板组件以及炉门，所述炉尾盖板组件设于所述内腔体的另一端，所述内腔体、所述炉门盖板组件、所述炉门及所述炉尾盖板组件形成内腔室，所述内腔体、所述外腔体、所述炉门盖板组件以及所述炉尾盖板组件形成外腔室，所述内腔室上设有第一进气管和第一排气管以向所述内腔室通入或排出气体，所述外腔室上设有第二进气管及第二排气管以向所述外腔室通入或排出气体。

3、优选地，所述第二进气管穿设于所述炉尾盖板组件或炉门盖板组件并伸入至所述外腔室中，所述第二进气管的长度方向与所述外腔室的轴线方向平行或所述第二进气管的长度方向与所述外腔室的轴线方向垂直；所述第二排气管穿设于所述炉尾盖板组件或炉门盖板组件并伸入至所述外腔室中，所述第二排气管的长度方向与所述外腔室的轴线方向平行或所述第二排气管的长度方向与所述外腔室的轴线方向垂直。

4、优选地，所述第二进气管穿设于所述炉尾盖板组件并伸入所述外腔室中，所述第二进气管位于所述第二排气管的外侧且所述第二进气管上位于所述外腔室内的出气口靠近所述炉门盖板组件；所述第二排气管穿设于所述炉尾盖板组件并伸入所述外腔室中，所述第二排气管的长度方向与所述外腔室的轴线方向平行，所述第二排气管上位于所述外腔室内的进气口位于所述加热器与所述炉尾盖板组件之间且靠近所述加热器设置。

5、优选地，还包括隔热组件，所述隔热组件包覆于所述加热器的外周上，所述第二进气管设于所述隔热组件与所述外腔体之间，所述隔热组件与加热器之间设有气体流通通道。

6、优选地，所述隔热组件的厚度为小于或等于120毫米，所述隔热组件包括至少一层隔热层。

7、优选地，所述隔热层的材料选自固化碳毡、陶瓷纤维板及纳米隔热板中的至少一种。

8、优选地，所述第一进气管以及所述第一排气管的长度方向与所述内腔室的轴线方向平行，所述第一进气管以及所述第一排气管均穿设于所述炉尾盖板组件上且所述第一进气管和/或所述第一排气管伸入所述内腔室的内部。

9、优选地，所述隔热组件外部设置有外框架，所述隔热组件安装于所述外框架上，所述外框架的下部设有滚轮组件。

10、优选地，所述第二排气管上位于所述外腔室外部的排气口连接有真空泵，所述真空泵选自隔膜泵、旋片泵、干式螺杆泵、罗茨泵中的一种。

11、本实用新型还提供一种光伏干法设备，包括上述的光伏设备反应室的升降温结构。

12、与现有技术相比，本实用新型在外腔室增加了可独立控制的第二进气管及第二排气管，当工艺需要降温时，通过第二进气管向外腔室通入气体，并通过第二排气管排出外腔室的热气，通过主动降温方式，实现反应室的快速冷却，有效提高生产效率，增加产能。

1.一种光伏设备反应室的升降温结构，其特征在于，所述反应室包括内腔体、加热器、外腔体、炉门组件以及炉尾盖板组件，所述内腔体、所述加热器以及所述外腔体由内向外依次布置，所述炉门组件设于所述内腔体的一端，所述炉门组件包括炉门盖板组件以及炉门，所述炉尾盖板组件设于所述内腔体的另一端，所述内腔体、所述炉门盖板组件、所述炉门及所述炉尾盖板组件形成内腔室，所述内腔体、所述外腔体、所述炉门盖板组件以及所述炉尾盖板组件形成外腔室，所述内腔室上设有第一进气管和第一排气管以向所述内腔室通入或排出气体，所述外腔室上设有第二进气管及第二排气管以向所述外腔室通入或排出气体。

2.根据权利要求1所述的光伏设备反应室的升降温结构，其特征在于，所述第二进气管穿设于所述炉尾盖板组件或炉门盖板组件并伸入至所述外腔室中，所述第二进气管的长度方向与所述外腔室的轴线方向平行或所述第二进气管的长度方向与所述外腔室的轴线方向垂直；所述第二排气管穿设于所述炉尾盖板组件或炉门盖板组件并伸入至所述外腔室中，所述第二排气管的长度方向与所述外腔室的轴线方向平行或所述第二排气管的长度方向与所述外腔室的轴线方向垂直。

3.根据权利要求1所述的光伏设备反应室的升降温结构，其特征在于，所述第二进气管穿设于所述炉尾盖板组件并伸入所述外腔室中，所述第二进气管位于所述第二排气管的外侧且所述第二进气管上位于所述外腔室内的出气口靠近所述炉门盖板组件；所述第二排气管穿设于所述炉尾盖板组件并伸入所述外腔室中，所述第二排气管的长度方向与所述外腔室的轴线方向平行，所述第二排气管上位于所述外腔室内的进气口位于所述加热器与所述炉尾盖板组件之间且靠近所述加热器设置。

4.根据权利要求3所述的光伏设备反应室的升降温结构，其特征在于，还包括隔热组件，所述隔热组件包覆于所述加热器的外周上，所述第二进气管设于所述隔热组件与所述外腔体之间，所述隔热组件与加热器之间设有气体流通通道。

5.根据权利要求4所述的光伏设备反应室的升降温结构，其特征在于，所述隔热组件的厚度为小于或等于120毫米，所述隔热组件包括至少一层隔热层。

6.根据权利要求5所述的光伏设备反应室的升降温结构，其特征在于，所述隔热层的材料选自固化碳毡、陶瓷纤维板及纳米隔热板中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的光伏设备反应室的升降温结构，其特征在于，所述第一进气管以及所述第一排气管的长度方向与所述内腔室的轴线方向平行，所述第一进气管以及所述第一排气管均穿设于所述炉尾盖板组件上且所述第一进气管和/或所述第一排气管伸入所述内腔室的内部。

8.根据权利要求4所述的光伏设备反应室的升降温结构，其特征在于，所述隔热组件外部设置有外框架，所述隔热组件安装于所述外框架上，所述外框架的下部设有滚轮组件。

9.根据权利要求1所述的光伏设备反应室的升降温结构，其特征在于，所述第二排气管上位于所述外腔室外部的排气口连接有真空泵，所述真空泵选自隔膜泵、旋片泵、干式螺杆泵、罗茨泵中的一种。

10.一种光伏干法设备，其特征在于：包括权利要求1至9中任意一项所述的光伏设备反应室的升降温结构。