湿法制备装置及太阳能电池制造生产线的制作方法

本申请涉及光伏，具体涉及一种湿法制备装置及太阳能电池制造生产线。

背景技术：

1、在太阳能电池的硅片生产过程中，需要对硅片进行湿法制备，例如，制绒、蚀刻、电镀等等。湿法制备工序主要在湿法制备槽内进行，为确保硅片具有较佳的制备效果，通常，会利用鼓泡管向湿法槽内通入气体，气体可以搅拌药液，以保证药液的浓度更加均匀，且使得药液能够与硅片充分接触并反应。

2、但是，受传统的鼓泡管本身结构的影响，会导致鼓泡到药液内的气体无法充分且均匀地搅拌药液，进而造成湿法制备形成的不良片的风险升高。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述问题，提供一种能够降低硅片生产的不良片的湿法制备装置及太阳能电池制造生产线。

2、一种湿法制备装置，所述湿法制备装置包括：

3、湿法制备主体，其内具有湿法制备槽；

4、鼓泡管道组件，设置于所述湿法制备槽内，且所述鼓泡管道组件包括进气管及鼓泡管，所述进气管连通于外部气源及所述鼓泡管之间，所述鼓泡管具有沿其轴向依次间隔布设的多个鼓泡孔，以及沿其轴向逐渐远离所述进气管的第一段、第二段及第三段，所述第一段中每相邻的两个所述鼓泡孔之间的间距为l1，所述第二段中每相邻的两个所述鼓泡孔之间的间距为l2，所述第三段中每相邻的两个所述鼓泡孔之间的间距为l3，l1＞l2＞l3。

5、在一些实施例中，在所述鼓泡管的轴向上，每相邻的两个所述鼓泡管之间的间距逐渐减小。

6、在一些实施例中，15mm≤l1≤30mm，和/或，10mm≤l2≤20mm，和/或，5mm≤l3≤15mm。

7、在一些实施例中，0.6l1≤l2≤0.8l1，和/或，0.5l1≤l3≤0.7l1。

8、在一些实施例中，所述鼓泡管的长度为l，l1＝1/4l，l2＝2/4l，l3＝1/4l。

9、在一些实施例中，所述鼓泡管道组件设置于所述湿法制备槽的底部，且所述鼓泡孔倾斜朝向所述湿法制备槽的槽口所在的平面设置。

10、在一些实施例中，所述鼓泡孔的中心轴线与所述湿法制备槽的槽口所在的平面之间的夹角为锐角a，30°≤a≤60°。

11、在一些实施例中，所述鼓泡管与所述进气管垂直连通。

12、在一些实施例中，所述鼓泡管为多根，并沿所述进气管的轴向平行且等间距分布。

13、一种太阳能电池制造生产线，包括如上述任意一项实施例所述的湿法制备装置。

14、与现有技术相比，本申请具有以下有益效果：

15、上述湿法制备装置及太阳能电池制造生产线，通过设计沿着鼓泡管的轴向，第一段中每相邻的两个鼓泡孔之间的间距小于第二段中每相邻的两个鼓泡孔之间的间距，第二段中每相邻的两个鼓泡孔之间的间距小于第三段中每相邻的两个鼓泡孔之间的间距，可以补偿气体压力沿程所形成的压力损失，使得气体能够均匀地由第一段、第二段及第三段的鼓泡孔输出。在这种情况下，第一段、第二段及第三段输出的气体流量较为接近，使得气体能够在鼓泡管的轴向上均匀地进入到湿法制备槽内，并充分搅拌药液，以保证药液的浓度更加均匀，且使得药液能够与硅片充分接触并均匀地反应，提升了反应效率，且硅片生产的不良片也得以降低。此外，由于气体在流经鼓泡管内的过程中压损较小，这样可以充分利用气体进行搅拌药液，从而提升了气体的利用率。

1.一种湿法制备装置，其特征在于，所述湿法制备装置包括：

2.根据权利要求1所述的湿法制备装置，其特征在于，在所述鼓泡管(22)的轴向上，每相邻的两个所述鼓泡管(22)之间的间距逐渐减小。

3.根据权利要求1所述的湿法制备装置，其特征在于，15mm≤l1≤30mm，和/或，10mm≤l2≤20mm，和/或，5mm≤l3≤15mm。

4.根据权利要求1所述的湿法制备装置，其特征在于，0.6l1≤l2≤0.8l1，和/或，0.5l1≤l3≤0.7l1。

5.根据权利要求1所述的湿法制备装置，其特征在于，所述鼓泡管(22)的长度为l，l1＝1/4l，l2＝2/4l，l3＝1/4l。

6.根据权利要求1所述的湿法制备装置，其特征在于，所述鼓泡管道组件(20)设置于所述湿法制备槽(11)的底部，且所述鼓泡孔倾斜朝向所述湿法制备槽(11)的槽口所在的平面设置。

7.根据权利要求6所述的湿法制备装置，其特征在于，所述鼓泡孔的中心轴线与所述湿法制备槽(11)的槽口所在的平面之间的夹角为锐角a，30°≤a≤60°。

8.根据权利要求1所述的湿法制备装置，其特征在于，所述鼓泡管(22)与所述进气管(21)垂直连通。

9.根据权利要求1所述的湿法制备装置，其特征在于，所述鼓泡管(22)为多根，并沿所述进气管(21)的轴向平行且等间距分布。

10.一种太阳能电池制造生产线，其特征在于，包括如上述权利要求1至9任意一项所述的湿法制备装置。