一种掩膜版水晶盒开盒装置的制作方法

本申请属于掩模版生产设备，具体涉及一种掩膜版水晶盒开盒装置。

背景技术：

1、在半导体制造及光刻技术领域，掩膜版作为承载精密图形的关键部件，其表面洁净度与结构完整性直接影响光刻图案的转移精度，对最终产品的良品率起着决定性作用。为避免掩膜版在存储、运输及周转过程中受到灰尘污染、物理碰撞或化学腐蚀，行业内通常采用特制的水晶盒对掩膜版进行密封保护。这种水晶盒一般由盒体与盖体组成，盖体与盒体转动连接，并配置有锁止部以实现盖体与盒体的可靠锁定，确保掩膜版在非使用状态下处于完全密封的保护环境中。

2、在掩膜版的使用流程中，需通过开盒操作将掩膜版从水晶盒中取出。目前，水晶盒的开启多依赖人工操作或简易工具辅助完成：人工操作时，操作人员需手动解除锁止部的锁定状态，再翻转盖体实现开盒，该过程中存在因操作力度不均导致盖体晃动、碰撞掩膜版的风险，且人工接触可能引入污染物，影响掩膜版洁净度，且开盒效率低下；采用简易开盒装置辅助时，现有开盒装置往往结构单一，仅能实现解锁或翻转中的单一功能，需多次更换工具或调整操作步骤，不仅降低了开盒效率，易出现锁止部解锁不到位、盖体翻转角度偏差等问题，进而对水晶盒或掩膜版造成潜在损伤，并且影响开盒效率。

技术实现思路

1、本申请提供了一种掩膜版水晶盒开盒装置，以解决传统水晶盒开盒效率低、人工开盒时易对掩模版造成污染等技术问题。

2、本申请所采用的技术方案为：

3、一种掩膜版水晶盒开盒装置，用于开启水晶盒，水晶盒包括盒体以及与所述盒体转动连接的盖体，所述盖体设有锁止部，所述锁止部具备将所述盖体与所述盒体锁定的锁止位置以及解锁所述盖体的分离位置，所述开盒装置包括机体，以及安装于所述机体的：解锁模块，所述解锁模块包括第一驱动组件与解锁部，所述第一驱动组件能够驱动所述解锁部沿解锁方向运动以带动所述锁止部自锁止位置切换至分离位置；上盖翻转模块，所述上盖翻转模块包括第二驱动组件与吸取部，所述第二驱动组件能够驱动所述吸取部运动以吸取所述盖体，并驱动所述吸取部运动以带动所述盖体相对所述盒体转动。

4、本申请所述的开盒装置还包括如下附加技术特征：

5、所述机体设有放置面，所述放置面上方形成用于放置所述水晶盒的放置区域，所述机体在所述放置面下方设有安装腔，所述安装腔具有与所述放置区域连通的避让口，所述解锁模块安装于所述安装腔，所述解锁部通过所述避让口伸出所述安装腔外。

6、所述第一驱动组件包括第一驱动机、第一传动机构以及丝杠机构，所述丝杠机构包括传动螺母与传动螺杆，所述传动螺杆与所述解锁部连接，所述传动螺母与所述第一驱动机固定连接，所述第一驱动机依次通过所述第一传动机构与所述丝杠机构带动所述解锁部沿解锁方向运动。

7、所述第一传动机构包括第一传动轮、第二传动轮以及套设于所述第一传动轮及第二传动轮的第一传动皮带，所述第一传动轮与所述第一驱动机的输出端固定连接，所述第二传动轮与所述传动螺杆的端部固定连接，所述第一驱动机驱动所述第一传动轮转动以带动所述第二传动轮同步转动。

8、所述解锁部包括安装座以及安装于所述安装座顶部的解锁拨叉，所述解锁拨叉用于拨动所述锁止部运动，所述解锁模块还包括导向滑轨，所述安装座底部开设有与所述导向滑轨适配的导向滑槽，所述导向滑轨位于所述导向滑槽内部，所述解锁部通过所述导向滑轨与所述导向滑槽的滑动配合沿解锁方向运动。

9、所述上盖翻转模块还包括与所述机体转动连接的转动结构，所述吸取部安装于所述转动结构，所述第二驱动组件驱动所述转动结构相对所述机体转动，所述吸取部随所述转动结构的转动而发生相对所述机体的运动并带动所述盖体相对所述盒体转动。

10、所述转动结构包括两间隔设置的转动臂以及分别与所述转动臂连接的安装臂，所述吸取部安装于所述安装臂，所述转动臂与所述安装臂配合围成避让空间，当所述吸取部吸取所述盖体时，所述盖体位于所述避让空间内。

11、所述上盖翻转模块还包括第二驱动机与第二传动机构，所述第二驱动机通过所述第二传动机构带动所述转动结构相对所述机体转动。

12、所述第二传动机构包括第三传动轮、第四传动轮以及套设于所述第三传动轮及第四传动轮的第二传动皮带，所述第三传动轮与所述第二驱动机的输出端固定连接，所述第四传动轮与所述转动结构通过转轴固定连接，所述第二驱动机驱动所述第三传动轮转动以带动所述第四传动轮同步转动。

13、所述吸取部包括多个电动吸盘，所述开盒装置还包括安装于所述机体的电磁阀，所述电磁阀控制所述电动吸盘的吸取与放松。

14、由于采用了上述技术方案，本申请所取得的有益效果为：

15、1.本申请的开盒装置包括解锁模块与上盖翻转模块，解锁模块用于带动锁止部自锁止位置切换至分离位置，以实现盖体与盒体的解锁，且通过第一驱动组件带动解锁部运动，取代了人工手动解锁的方式，避免了因操作力度不均导致锁止部解锁不到位或过度操作的问题，保证锁止部能够精准地自锁止位置切换至分离位置。上盖翻转模块通过第二驱动组件驱动吸取部吸附盖体并带动其转动，替代了人工翻转的不稳定操作，通过机械传动控制盖体的翻转轨迹与速度，有效防止盖体晃动、碰撞盒体或掩膜版的情况发生，从结构上保障了掩膜版的结构完整性与表面洁净度。

16、此外，解锁模块与上盖翻转模块的模块化设计增强了操作的可控性与可靠性，减少了人为因素对开盒过程的干扰。人工操作时易因人员技能差异、疲劳程度等因素影响开盒质量，而本装置通过机械结构实现标准化操作，解锁与翻转动作的参数可通过驱动组件精准设定，确保每次开盒操作的一致性，降低了因人为操作失误导致的水晶盒损坏或掩膜版污染风险，为掩膜版的安全取用提供了稳定可靠的设备保障，符合半导体制造领域对精密部件处理的高洁净度、高安全性要求。

17、综上，本申请的开盒装置通过集成解锁模块与上盖翻转模块，实现了水晶盒开启过程的一体化操作，提升了开盒效率，对于连续作业的产业线来说，可搭配上下游的装盒与卸盒单元进行水晶盒的批量开盒，大幅简化了开盒流程，显著提升了操作连贯性与开盒效率，尤其适用于半导体制造领域对生产节拍要求较高的场景。

18、2.通过在机体设置放置面及下方的安装腔，并开设与放置区域连通的避让口，为解锁模块提供了集成化的安装空间。这种结构设计使解锁模块隐藏于放置面下方，大幅降低了解锁模块对放置于放置面上的水晶盒的干涉影响，显著提升了设备整体的紧凑性，有利于实现开盒装置的小型化布局，节省半导体生产车间的空间资源。同时，避让口的设置确保解锁部能够精准伸出并与锁止部配合，减少了解锁部的无效运动行程，缩短了单次解锁操作的时间，进一步提升了开盒效率。此外，安装腔对解锁模块形成封闭保护，可有效防止外界灰尘、杂质进入驱动部件，保障解锁模块长期稳定运行，降低设备维护频率。

1.一种掩膜版水晶盒开盒装置，用于开启水晶盒，水晶盒包括盒体以及与所述盒体转动连接的盖体，所述盖体设有锁止部，所述锁止部具备将所述盖体与所述盒体锁定的锁止位置以及解锁所述盖体的分离位置，其特征在于，所述开盒装置包括机体，以及安装于所述机体的：

2.根据权利要求1所述的开盒装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的开盒装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的开盒装置，其特征在于，

5.根据权利要求1至4任一项所述的开盒装置，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的开盒装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的开盒装置，其特征在于，

8.根据权利要求6所述的开盒装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的开盒装置，其特征在于，

10.根据权利要求1所述的开盒装置，其特征在于，