一种芯片转移机械手的制作方法

本发明涉及机械手，具体为一种芯片转移机械手。

背景技术：

1、随着半导体产业、集成电路及芯片封装测试行业的高速发展，高端精密芯片的市场需求量持续大幅增长，芯片转移工序作为芯片封装、分拣、搬运与对位装配流程中的关键核心环节，直接关乎芯片生产的自动化水平、作业效率与成品良率；芯片转移机械手承担着芯片精准抓取、跨工位输送和定点放置的重要作用，其定位精度、夹持稳定性及工况适配性直接影响芯片封装整体加工品质，因此一款高性能的芯片转移机械手，对满足行业规模化精密生产需求具有重要现实意义。

2、但是现有的机械手在使用过程中，大多仅具备单一方向的吸附抓取功能，难以对芯片实现前后、左右进行多方位定位，不便于自动校正芯片偏移姿态，容易出现芯片对位偏差、放置错位的现象。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种芯片转移机械手，通过设置定位部，解决了现有的机械手在使用过程中，大多仅具备单一方向的吸附抓取功能，难以对芯片实现前后、左右进行多方位定位，不便于自动校正芯片偏移姿态，容易出现芯片对位偏差、放置错位现象的问题。

2、为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

3、本发明为一种芯片转移机械手，包括椭圆形块和设置在椭圆形块下方的矩形盒，还包括：定位部，所述定位部设置有两个，两个所述定位部呈镜像设置在矩形盒内；驱动部，所述驱动部安装在椭圆形块上；旋转升降部，所述旋转升降部设置在椭圆形块上；所述定位部包括定位组件，所述定位组件设置在矩形盒内；滑动组件，所述滑动组件安装在定位组件上；所述定位组件包括设置在矩形盒内的矩形板，所述矩形板的左侧固定连接有若干个弹簧阻尼器一，若干个所述弹簧阻尼器一的左侧固定连接有定位板一，所述矩形板的左侧铰接设置有两个铰接杆，两个所述铰接杆的左侧均铰接设置有铰接块，两个所述铰接块的左侧均与定位板一的右侧滑动连接；弹簧阻尼器一阵列设置有四个，两个铰接杆倾斜设置且互为镜像。

4、进一步地，所述滑动组件包括铰接设置在两个圆柱杆二上的两个l形杆，所述定位板一的右侧固定连接有两个限位块，两个所述限位块的内壁分别与两个l形杆的外壁滑动连接，两个所述l形杆上均固定连接有定位板二；两个定位板二互为镜像。

5、进一步地，所述驱动部包括传动组件，所述传动组件设置在矩形盒上；弹性组件，所述弹性组件设置在矩形盒上，所述传动组件包括滑动连接在矩形盒内壁上的两个矩形滑块，两个所述矩形滑块的底部均固定连接有圆柱杆一，两个所述圆柱杆一的外壁均滑动连接有固定块，两个所述固定块相互远离的一侧均与矩形盒的内壁固定连接，所述矩形盒内设置有两个连接块一，两个所述连接块一上均贯穿有圆柱杆二，两个所述圆柱杆二的外壁分别与两个连接块一的内壁固定连接，两个所述连接块一分别与两个矩形板固定连接，两个所述矩形滑块上均开设有两个弧形槽，所述矩形盒内设置有导向件；位于左侧的圆柱杆二的外壁与位于左侧的两个弧形槽的内壁滑动接触，位于右侧的圆柱杆二的外壁与位于右侧的两个弧形槽的内壁滑动接触，一个矩形滑块上的两个弧形槽呈c形且互为镜像，在矩形滑块上升的过程中会先带动两个圆柱杆二相互靠近，再带动两个圆柱杆二相互远离，所述导向件包括固定连接在矩形盒内壁上的两个方形滑杆，两个所述方形滑杆的外壁分别滑动贯穿两个连接块一。

6、进一步地，所述弹性组件包括分别固定连接在两个矩形滑块相互靠近的一侧的两个连接块二，若干个所述连接块二的顶部均固定连接有弹簧阻尼器二，若干个所述弹簧阻尼器二的顶部均与矩形盒的顶部内壁固定连接；弹簧阻尼器二设置有四个，分两组分别用于复位两个矩形滑块。

7、进一步地，所述旋转升降部包括设置在椭圆形块上方的圆柱壳，所述圆柱壳的内壁滑动连接有空心圆柱滑块，所述空心圆柱滑块的内壁固定连接有电机，所述电机的输出轴通过联轴器固定连接有转轴，所述转轴的底部贯穿椭圆形块，所述转轴的外壁与椭圆形块的内壁固定连接，所述圆柱壳的顶部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出轴滑动延伸至圆柱壳内，所述矩形盒内设置有吸附件；电动伸缩杆的输出轴与空心圆柱滑块的顶部固定连接，所述吸附件包括安装在矩形盒顶部内壁上的真空吸盘，所述真空吸盘的顶部连通设置有管道；管道延伸至矩形盒外并与之固定连接。

8、本发明具有以下有益效果：

9、（1）本发明通过设置定位部，依托矩形板、弹簧阻尼器一、铰接杆与铰接块的联动配合，配合滑动组件实现分步定位作业，先通过定位板一完成芯片左右方向快速对中，再借助铰接传动及l形杆带动定位板二靠拢夹紧芯片前后两侧，实现芯片前后、左右多方位围合定位，自动校正芯片偏移姿态，适配芯片放置过程中的规整限位需求，避免出现芯片对位偏差、放置错位的现象；

10、（2）本发明通过设置驱动部，传动组件中矩形滑块随矩形盒下行产生的相对竖向滑动，利用c形弧形槽的轨迹导向作用，驱动圆柱杆二实现先相向靠近再相互远离的有序运动，配合方形滑杆对连接块一进行滑动限位保证传动平稳，同时借助弹性组件的弹簧阻尼器二在矩形滑块上移时压缩蓄力，作业结束后回弹带动整体传动结构复位，从而无需额外增设独立驱动源即可为定位部的夹持动作提供机械动力，简化装置结构的同时实现定位夹持与自动复位的联动自动化；

11、（3）本发明通过设置旋转升降部，电动伸缩杆驱动空心圆柱滑块沿圆柱壳竖向滑动，带动整个机械手完成平稳升降进给，同时由电机经转轴驱动椭圆形块及下方矩形盒整体旋转调姿，搭配真空吸盘与外接真空泵组成的吸附结构，实现芯片的负压抓取与释放，适配芯片自动化转运工作，同时为定位部和驱动部提供动力。

12、当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

1.一种芯片转移机械手，包括椭圆形块（111）和设置在椭圆形块（111）下方的矩形盒（112），其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种芯片转移机械手，其特征在于，所述驱动部（3）包括传动组件（31），所述传动组件（31）设置在矩形盒（112）上；以及

3.根据权利要求1所述的一种芯片转移机械手，其特征在于，所述旋转升降部（4）包括设置在椭圆形块（111）上方的圆柱壳（411），所述圆柱壳（411）的内壁滑动连接有空心圆柱滑块（412），所述空心圆柱滑块（412）的内壁固定连接有电机（413），所述电机（413）的输出轴通过联轴器固定连接有转轴（414），所述转轴（414）的底部贯穿椭圆形块（111），所述转轴（414）的外壁与椭圆形块（111）的内壁固定连接，所述圆柱壳（411）的顶部固定连接有电动伸缩杆（415），所述电动伸缩杆（415）的输出轴滑动延伸至圆柱壳（411）内，所述矩形盒（112）内设置有吸附件；

4.根据权利要求2所述的一种芯片转移机械手，其特征在于，所述传动组件（31）包括滑动连接在矩形盒（112）内壁上的两个矩形滑块（311），两个所述矩形滑块（311）的底部均固定连接有圆柱杆一（312），两个所述圆柱杆一（312）的外壁均滑动连接有固定块（313），两个所述固定块（313）相互远离的一侧均与矩形盒（112）的内壁固定连接，所述矩形盒（112）内设置有两个连接块一（314），两个所述连接块一（314）上均贯穿有圆柱杆二（315），两个所述圆柱杆二（315）的外壁分别与两个连接块一（314）的内壁固定连接，两个所述连接块一（314）分别与两个矩形板（211）固定连接，两个所述矩形滑块（311）上均开设有两个弧形槽（316），所述矩形盒（112）内设置有导向件；

5.根据权利要求2所述的一种芯片转移机械手，其特征在于，所述弹性组件（32）包括分别固定连接在两个矩形滑块（311）相互靠近的一侧的两个连接块二（321），若干个所述连接块二（321）的顶部均固定连接有弹簧阻尼器二（322），若干个所述弹簧阻尼器二（322）的顶部均与矩形盒（112）的顶部内壁固定连接；

6.根据权利要求1所述的一种芯片转移机械手，其特征在于，所述滑动组件（22）包括铰接设置在两个圆柱杆二（315）上的两个l形杆（221），所述定位板一（213）的右侧固定连接有两个限位块（222），两个所述限位块（222）的内壁分别与两个l形杆（221）的外壁滑动连接，两个所述l形杆（221）上均固定连接有定位板二（223）；

7.根据权利要求4所述的一种芯片转移机械手，其特征在于，所述导向件包括固定连接在矩形盒（112）内壁上的两个方形滑杆（317），两个所述方形滑杆（317）的外壁分别滑动贯穿两个连接块一（314）。

8.根据权利要求3所述的一种芯片转移机械手，其特征在于，所述吸附件包括安装在矩形盒（112）顶部内壁上的真空吸盘（416），所述真空吸盘（416）的顶部连通设置有管道（417）；