晶圆定心寻参装置的制作方法

本技术涉及晶圆制造设备，尤其涉及一种晶圆定心寻参装置。

背景技术：

1、在晶圆的制造过程中，需要对晶圆进行化学机械抛光、单面减薄、边缘倒角等加工工序，而在将晶圆放入对应的加工设备前，需要精准确定晶圆的圆心和方位。其中，晶圆的边缘通常设置有缺角、切边等定位特征，这些定位特征用于表征晶圆的方位。

2、相关技术中，晶圆定心寻参装置包括承载结构和用于识别晶圆定位特征的部件，而该用于识别晶圆定位特征的部件位于承载结构的上侧，从而导致晶圆无法直接在上下方向从承载结构上取料和放料，这增加了晶圆取放料动作的复杂程度，进而影响晶圆整体的生产效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提出一种晶圆定心寻参装置，整个承载定位模块能够同步相对于激光寻参模块移动，从而使晶圆可以在竖向进行上料和下料，晶圆取放动作简单、效率高。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、晶圆定心寻参装置，包括底座模块、激光寻参模块和承载定位模块，所述激光寻参模块与所述底座模块连接，所述承载定位模块包括支撑机构、载台机构、定心机构和旋转驱动机构，所述载台机构可转动地安装在所述支撑机构上，能够承载晶圆并固定晶圆；所述定心机构安装在所述支撑机构上，且能够纠正所述晶圆在所述载台机构上的位置，以使所述晶圆的圆心与所述载台机构的旋转轴线共线；所述支撑机构与所述底座模块沿第一方向滑动配合，并使所述承载定位模块能够运动到第一位置或第二位置，在所述第一位置，所述承载定位模块远离所述激光寻参模块，以使所述晶圆能沿竖向放置于所述载台机构，在所述第二位置，所述承载定位模块靠近所述激光寻参模块，以使所述晶圆部分位于所述激光寻参模块下方；所述旋转驱动机构与所述支撑机构连接，且能够驱动所述载台机构旋转，以使所述晶圆边缘的定位特征被所述激光寻参模块识别。

4、作为一个可选的方案，所述底座模块包括底板和直线驱动组件，所述承载定位模块与所述底板滑动配合，所述直线驱动组件安装在所述底板上，所述直线驱动组件的输出端与所述支撑机构连接，所述直线驱动组件能够驱动所述承载定位模块在所述第一位置和所述第二位置之间运动。

5、作为一个可选的方案，所述底座模块还包括第一导轨，所述第一导轨沿第一方向延伸并安装在所述底板上，所述支撑机构上安装有第一滑块，所述第一滑块与所述第一导轨滑动配合；和/或

6、所述底座模块包括还包括第一到位检测件和第二到位检测件，所述第一到位检测件和所述第二到位检测件均与所述直线驱动组件通讯连接，且沿第一方向间隔设置在所述底板上，所述支撑机构上安装有感应片，所述承载定位模块到达所述第一位置时，所述感应片被所述第一到位检测件识别，所述承载定位模块到达所述第二位置时，所述感应片被所述第二到位检测件识别；和/或

7、所述底座模块包括还包括第一到位缓冲组件和第二到位缓冲组件，所述第一到位缓冲组件和所述第二到位缓冲组件沿第一方向间隔设置在所述底板上，所述第一到位缓冲组件配置为在所述承载定位模块到达所述第一位置时接触并缓冲所述支撑机构，所述第二到位缓冲组件配置为在所述承载定位模块到达所述第二位置时接触并缓冲所述支撑机构。

8、作为一个可选的方案，所述激光寻参模块包括：

9、支架组件，下端安装在所述载台机构上；

10、第一激光传感器，安装在所述支架组件的上端，用于识别第一尺寸规格的晶圆的参考特征；

11、第二激光传感器，安装在所述支架组件的上端，用于识别第二尺寸规格的晶圆的参考特征。

12、作为一个可选的方案，所述定心机构包括定心驱动组件和至少三个定心支柱，至少三个所述定心支柱设置在所述载台机构的周围，且围绕所述载台机构的转动轴线呈圆周排布，所述定心驱动组件能够驱动至少三个所述定心支柱同步靠近所述载台机构的转动轴线以定位所述载台机构上的晶圆。

13、作为一个可选的方案，所述支撑机构上安装有至少三个第二导轨，至少三个所述第二导轨围绕所述载台机构的转动轴线呈圆周分布，且每个所述第二导轨均沿至少三个所述第二导轨围成的圆周的径向延伸，每个所述定心支柱连接一个第二滑块，每个所述第二滑块对应与一个第二导轨滑动配合。

14、作为一个可选的方案，所述定心机构还包括转盘组件，所述转盘组件与所述支撑机构转动配合，且所述转盘组件的旋转轴线与所述载台机构的转动轴向重合，所述转盘组件上设置有至少三个引导槽，每个所述定心支柱对应插接于一个所述引导槽能沿对应的所述引导槽滑动，所述定心驱动组件能够驱动所述转盘组件转动，以使各个所述引导槽推动对应的所述定心支柱靠近或远离所述载台机构上的晶圆。

15、作为一个可选的方案，所述定心驱动组件包括第一旋转驱动组件和第一皮带组件，所述第一旋转驱动组件安装在所述支撑机构上，所述第一皮带组件的输入端与所述第一旋转驱动组件的输出端连接，所述第一皮带组件的输出端与所述转盘组件连接，以使所述第一旋转驱动组件能够驱动所述转盘组件转动；和/或

16、所述支撑机构包括下固定板、上固定板和连接轴座，所述下固定板和所述上固定板沿竖直方向间隔排布，所述连接轴座连接所述上固定板和所述下固定板；所述转盘组件设置在所述上固定板和所述下固定板之间，且所述转盘组件套设于所述连接轴座并与所述连接轴座转动配合；所述定心驱动组件安装在所述下固定板上；所述载台机构穿设所述连接轴座并与所述连接轴座转动配合。

17、作为一个可选的方案，所述载台机构包括：

18、载台转轴，所述载台转轴穿设所述支撑机构且与所述支撑机构转动配合，所述载台转轴内设置有第一连通通道；

19、旋转气接头，连接于所述载台转轴的下端，且一端与所述第一连通通道连通，另一端配置为与负压供应组件连通；

20、承载吸附组件，连接在所述载台转轴的上端，且能够支撑所述晶圆，所述承载吸附组件顶部设置有吸附口，内部设置有第二连通通道，所述第二连通通道分别与所述第一连通通道和所述吸附口连通，所述吸附口用于吸附锁定所述晶圆。

21、作为一个可选的方案，所述旋转驱动机构包括：

22、第二旋转驱动组件，安装在所述支撑机构上；

23、第二皮带组件，所述第二皮带组件的输入端与所述第二旋转驱动组件的输出端连接，所述第二皮带组件的输出端与所述载台转轴连接，以使所述第二旋转驱动组件能够驱动所述载台转轴转动。

24、本实用新型有益效果为：

25、本实用新型的晶圆定心寻参装置，使用时先使整个承载定位模块沿第一方向运动到第一位置；外部机械手或者人工将晶圆沿竖向放置在载台机构上；整个承载定位模块沿第一方向运动到第二位置；定心机构动作并纠正晶圆在载台机构上的位置，使所述晶圆的圆心与所述载台机构的旋转轴线共线，从而实现晶圆的定心；接着载台机构固定晶圆；接着旋转驱动机构驱动载台机构及载台机构上的晶圆旋转，当晶圆的定位特征转动到激光寻参模块下侧且被激光寻参模块识别后，旋转驱动机构停止驱动载台机构转动，晶圆此时的位置实现了定心寻参；接着整个承载定位模块沿第一方向回到第一位置，以使所述晶圆能沿竖向从载台机构上取下。本实用新型的晶圆定心寻参装置可以实现晶圆的定心寻参，且通过承载定位模块的水平移动在竖向错开激光寻参模块，使晶圆可以竖向从载台机构上取放晶圆，晶圆取放动作简单、效率高。