一种空心阴极真空镀膜电源的制作方法

本技术涉及真空镀膜电源的，特别是涉及一种空心阴极真空镀膜电源。

背景技术：

1、空心阴极真空镀膜电源作为真空镀膜机的核心动力与控制单元，通常由专业的电源制造商单独生产，再运输至用户现场进行集成安装。该类电源集成了多种功能各异的外部电气接口，包括主电源输入接口、高压大电流的弧光输出接口、控制信号接口及水冷接口等，其接口的性能与可靠性直接决定了整个镀膜系统的稳定性。

2、目前，在电源的运输、仓储以及现场安装过程中，其裸露的电气接口极易暴露在复杂的环境中，遭受粉尘、潮气甚至磕碰。然而，现有技术的真空镀膜电源（如中国发明专利cn118450647a所公开的方案）主要聚焦于电源内部散热与通断控制，其散热风道的设计反而加剧了灰尘在箱体内的积聚风险。更重要的是，该类电源普遍缺乏对电气接口在“运输与安装”这一关键阶段的专门防护。当污染物在接口连接前就已侵入金属接触表面，会导致接触电阻增大，引起连接点过热、电火花甚至拉弧放电，为后续的稳定运行埋下严重隐患。

3、尽管部分电源会在接口处粘贴临时防尘贴纸，但此种方式强度低、易脱落且无法在电源工作时提供保护，实用性差。因此，针对从电源出厂、运输到现场运行的整个生命周期，设计一种能对关键电气接口提供持续、有效物理防护的结构，已成为本领域一个亟待解决的实际问题。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种空心阴极真空镀膜电源。

2、本实用新型的一种空心阴极真空镀膜电源，包括空心阴极真空镀膜电源主体、电源接口、通信接口、阴极加热输出口、辅助偏压输出口和互锁接口，所述空心阴极真空镀膜电源主体后端分别设置有电源接口、通信接口、阴极加热输出口、辅助偏压输出口和互锁接口，还包括防尘组件，所述空心阴极真空镀膜电源主体后端设置有防尘组件，所述防尘组件对电源接口、通信接口、阴极加热输出口、辅助偏压输出口和互锁接口进行防尘操作；工作人员将防尘组件安装在空心阴极真空镀膜电源主体后端，对空心阴极真空镀膜电源主体进行运输或者储存时，防尘组件对电源接口、通信接口、阴极加热输出口、辅助偏压输出口和互锁接口进行防尘操作，同时当需要对空心阴极真空镀膜电源主体进行使用时，插线接头穿过防尘组件与电源接口、通信接口、阴极加热输出口、辅助偏压输出口和互锁接口连接，提高便捷性。

3、优选的，防尘组件包括卡框、壳体、通孔、侧板、螺纹槽、螺栓、卡板和密封组件，所述空心阴极真空镀膜电源主体后端设置有两组卡框，壳体底端设置有两组卡板，所述壳体后端设置有多组通孔，壳体顶端设置有侧板，侧板上设置有圆孔，圆孔中穿设有螺栓，所述空心阴极真空镀膜电源主体后端设置有螺纹槽，所述壳体内部设置有多组密封组件，每组通孔分别由一组密封组件密封；安装时，将壳体上的两组卡板分别插入两组卡框内侧，之后使圆孔与螺纹槽重合，之后使螺栓穿过圆孔并且与螺纹槽螺纹连接，从而完成壳体的安装，密封组件分别对通孔进行密封，插线插头穿过一组通孔从而使密封组件解除密封，提高操作便捷性。

4、优选的，密封组件包括轴销、连板和密封板，所述连板通过轴销与壳体铰接，所述连板底端设置有密封板；常规状态下，密封板在自身重力的作用下与连板和轴销配合对一组通孔密封，当插头穿过通孔时，密封板在轴销和连板的配合下解除对通孔的密封，提高便捷性。

5、优选的，还包括环形平垫，所述螺栓上套装有环形平垫；螺栓在环形平垫的配合下增加与侧板的接触面积，提高连接牢固性。

6、优选的，还包括观察窗，所述壳体顶端设置有观察口，所述观察口上安装有观察窗；工作人员通过密封垫操作插头进入壳体内侧，提高便捷性。

7、优选的，还包括密封垫，所述空心阴极真空镀膜电源主体后端设置有密封垫；密封垫对空心阴极真空镀膜电源主体与壳体之间的缝隙进行密封，提高密封性。

8、优选的，还包括护角，所述空心阴极真空镀膜电源主体的四角分别设置有护角；四组护角相互配合对空心阴极真空镀膜电源主体进行防磕碰保护，提高安全防护性。

9、与现有技术相比本实用新型的有益效果为：工作人员将防尘组件安装在空心阴极真空镀膜电源主体后端，对空心阴极真空镀膜电源主体进行运输或者储存时，防尘组件对电源接口、通信接口、阴极加热输出口、辅助偏压输出口和互锁接口进行防尘操作，同时当需要对空心阴极真空镀膜电源主体进行使用时，插线接头穿过防尘组件与电源接口、通信接口、阴极加热输出口、辅助偏压输出口和互锁接口连接，提高便捷性。

1.一种空心阴极真空镀膜电源，包括空心阴极真空镀膜电源主体（1）、电源接口（2）、通信接口（3）、阴极加热输出口（4）、辅助偏压输出口（5）和互锁接口（19），所述空心阴极真空镀膜电源主体（1）后端分别设置有电源接口（2）、通信接口（3）、阴极加热输出口（4）、辅助偏压输出口（5）和互锁接口（19），其特征在于，还包括防尘组件，所述空心阴极真空镀膜电源主体（1）后端设置有防尘组件，所述防尘组件对电源接口（2）、通信接口（3）、阴极加热输出口（4）、辅助偏压输出口（5）和互锁接口（19）进行防尘操作。

2.如权利要求1所述的一种空心阴极真空镀膜电源，其特征在于，防尘组件包括卡框（6）、壳体（7）、通孔（8）、侧板（9）、螺纹槽（10）、螺栓（11）、卡板（20）和密封组件，所述空心阴极真空镀膜电源主体（1）后端设置有两组卡框（6），壳体（7）底端设置有两组卡板（20），所述壳体（7）后端设置有多组通孔（8），壳体（7）顶端设置有侧板（9），侧板（9）上设置有圆孔，圆孔中穿设有螺栓（11），所述空心阴极真空镀膜电源主体（1）后端设置有螺纹槽（10），所述壳体（7）内部设置有多组密封组件，每组通孔（8）分别由一组密封组件密封。

3.如权利要求2所述的一种空心阴极真空镀膜电源，其特征在于，密封组件包括轴销（12）、连板（13）和密封板（14），所述连板（13）通过轴销（12）与壳体（7）铰接，所述连板（13）底端设置有密封板（14）。

4.如权利要求2所述的一种空心阴极真空镀膜电源，其特征在于，还包括环形平垫（15），所述螺栓（11）上套装有环形平垫（15）。

5.如权利要求2所述的一种空心阴极真空镀膜电源，其特征在于，还包括观察窗（16），所述壳体（7）顶端设置有观察口，所述观察口上安装有观察窗（16）。

6.如权利要求1所述的一种空心阴极真空镀膜电源，其特征在于，还包括密封垫（17），所述空心阴极真空镀膜电源主体（1）后端设置有密封垫（17）。

7.如权利要求1所述的一种空心阴极真空镀膜电源，其特征在于，还包括护角（18），所述空心阴极真空镀膜电源主体（1）的四角分别设置有护角（18）。