一种获取目标光源光斑分布方法与流程

一种获取目标光源光斑分布方法
【技术领域】
1.本发明涉及计算光刻技术领域，具体涉及一种获取目标光源光斑分布方法。


背景技术：

2.光源光点检测作为光刻流程中步骤，主要应用于芯片、平板显示器等微电子制造行业。随着光刻工艺的不断发展，新目标节点的不断逼近，目标光斑位置是否准确成了决定光刻精度的关键因素之一。目前比较常见的检测光斑中心的算法有灰度质心法、圆拟合法、hough变换法以及多种改进算法等。
3.如果光斑光强分布均匀，使用恰当的算法可以使光斑定位精度达到亚像素级别，但是在一些实际应用中，光源存在散斑，非对称，光强不均等多种情况，很难快速得到目标光源光强分布的相关信息。特别是对于复杂的光源，传统算法得到的最大光点时常是噪点，导致光源信息传递不准确，同时不规则的光斑信息很难快速确认，需要工程师对此二次确认，准确度低，为此，本发明提供一种获取目标光源光斑分布方法。


技术实现要素：

4.为解决现有技术中难以准确的对光斑进行定位的技术问题，本发明提供一种获取目标光源光斑分布方法。本发明解决技术问题的方案是提供一种获取目标光源光斑分布方法，包括以下步骤：
5.提供一带有光源信息的文件，并从中获取完整的光源数据；
6.根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step；
7.对所述光源数据进行预处理以筛选出光斑；
8.从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光斑的初始光强收敛坐标(s
x
,sy)以及平均光强l
avg
；
9.预设阈值l1，从初始光强收敛坐标(s
x
,sy)中输出平均光强l
avg
大于该阈值l1的光斑的目标光强收敛坐标(s
′
x
,s
′y)。
10.优选的，所述光源数据包括至少一光源的坐标像素点n、光源坐标(x,y)、光源强度l
xy
以及光斑面积。
11.优选的，在获取所述光源强度l
xy
后，还包括对所述光源强度l
xy
进行归一化得到归一化后光源强度l
′
xy
。
12.优选的，所述根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step具体包括：
13.选取一最小的光斑面积预设一初始搜寻步长ds；
14.根据该光斑的坐标像素点n，以及从该光斑中提取出光源的最大坐标(x
max
，y
max
)以及最小坐标(x
min
，y
min
)，计算出该光源的实际搜索步长step。
15.优选的，所述对所述光源数据进行预处理以剔除背景噪点具体为：
16.针对其中一光源的光源坐标(x1,y1)界定一预设范围，获取该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强；
17.若该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强不能收敛至该预设范围内一光源坐标(x2,y2)处，则将该光源作为噪点剔除。
18.优选的，若该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强可以收敛至该预设范围内的一光源坐标(x2,y2)处，则判断为光斑，并通过计算获得计算光强i(x,y)。
19.优选的，对所述光源数据进行预处理后还包括对计算光强进行归一化处理得到归一化光强l
x,y
。
20.优选的，所述从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(s
x
,sy)以及平均光强l
avg
具体包括：
21.获取光源的sym特性，并根据光源的sym特性将光源划分成若干相同的集群；
22.选择至少一存在光斑的集群进行分析，获取计算光强大于0的光斑的集合l；计算光斑的初始光强收敛点(sx，sy)以及该集合l的平均光强l
avg
。
23.优选的，所述选择一存在光斑的集群进行分析具体为：
24.对划分后的集群选择任一集群判定是否存在光斑；
25.若未存在光斑，则顺时针或者逆时针选择该集群相邻的集群进行判定是否存在光斑；直到获取到含有光斑信息的集群。
26.优选的，设置一阈值l1，若l
avg
＞l1时，则输出目标光强收敛坐标(s
′
x
,s
′y)；否之则循环到从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(s
x
,sy)以及平均光强l
avg
位置。
27.与现有技术相比，本发明提供的一种获取目标光源光斑分布方法具有以下优点：
28.1、本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，包括以下步骤提供一带有光源信息的文件，并从中获取完整的光源数据；根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step；对所述光源数据进行预处理以筛选出光斑；从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光斑的初始光强收敛坐标(s
x
,sy)以及平均光强l
avg
；预设阈值l1，从初始光强收敛坐标(s
x
,sy)中输出平均光强l
avg
大于该阈值l1的光斑的目标光强收敛坐标(s
′
x
,s
′y)，通过这样的设计，对于情况复杂的实际图像，包括噪声、变形、部分区域残缺等有很好的适应性和抗干扰能力，对于不均匀的光源也可以快速计算得到最佳分布矢量结果信息，且不占用内存，极大提高了对光斑亮度不均匀的光源、散点光源、以及边缘不规则光源的光源等诸多实用光源的支持性。
29.2、本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，在获取所述光源强度l
xy
后，还包括以下步骤：对所述光源强度l
xy
进行归一化得到归一化后光源强度l
′
xy
；并判断所述光源数据是否完整，若光源数据不完整，则对缺失的光源数据进行提示以及补充；通过对光源强度归一化处理，方便将所有的光源强度固定在一个范围内，便于后期计算。
30.3、本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，所述根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step具体包括：选取一最小的光源面积预设一初始搜寻步长ds，根据该光源的坐标像素点n，以及从该光源坐标(x,y)中提取出光源的最大坐标(x
max
，y
max
)以及最小坐标(x
min
，y
min
)，计算出该光源的实际搜索步长step。通过光斑面积的大小设置初始搜寻步长ds，便于调整光源信息的搜索精度，有利于在保证寻找到有效光斑的情况下，减少搜寻时间和计算资源。
31.4.本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，所述对所述光源数据
进行预处理以剔除背景噪点具体为：针对其中一光源的光源坐标(x1,y1)界定一预设范围，获取该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强；若该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强不能收敛至该预设范围内一光源坐标(x2,y2)处，则将该光源作为噪点剔除；本发明利用了光斑信息为范围信息而背景噪点为点信息的不同将背景噪点剔除，避免了背景噪点对计算结果的干扰，确保了最终得出目标光强收敛坐标的准确性。通过该预处理步骤，还可以避免后续无效的计算，从而极大的提高的运行该方法的效率。
32.5.本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，对所述光源数据进行预处理后还包括对计算光强进行归一化处理得到归一化光强l
x,y
，在预处理将噪点分离出去后，再通过一次归一化处理，光源归一化处理仅需要较少的运算资源，可以消除噪点对成像结果的影响，提高成像的准确性和可靠性。
33.6.本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，所述从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(s
x
,sy)以及平均光强l
avg
具体包括：获取光源的sym特性，并根据光源的sym特性将光源划分成若干相同的集群；选择至少一存在光斑的集群进行分析，获取计算光强大于0的光斑的集合l；获取光斑的初始光强收敛点(sx，sy)以及该集合l的平均光强l
avg
，相比于全光源范围内搜索得到光斑集群信息，本实施体提供的技术方案利用了光源的对称性，可以优化光学检测或成像过程中的光斑搜索和处理，提高处理效率和精度，减少计算量，还可以避免遇到光斑不均匀无法处理以及相邻光斑过于接近被误识为一个光斑的风险。
34.7.本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，包括设置一阈值l1,若l
avg
＞l1时，则输出目标光强收敛坐标(s
′
x
,s
′y)；否之则循环到从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(s
x
,sy)以及平均光强l
avg
位置，通过设置阈值，便于使用人员根据需要获取不同的光源强度的光斑的光强收敛坐标，在实际使用中，该方法可以快速的输出目标光强收敛坐标。
【附图说明】
35.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
36.图1是本发明第一实施例提供的一种获取目标光源光斑分布方法的流程图。
37.图2是本发明第一实施例提供的获取实际搜寻步长的流程示意图。
38.图3是本发明第一实施例提供的对光源进行预处理的流程示意图。
39.图4是本发明第一实施例提供的获取光斑集群流程示意图。
【具体实施方式】
40.为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施实例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
41.请参阅图1，本发明第一实施例提供一种获取目标光源光斑分布方法，包括以下步
骤：
42.s1：提供一带有光源信息的文件，并从中获取完整的光源数据；
43.s2：根据获取的光源数据得到光源实际搜寻步长step；
44.s3：对光源数据进行预处理以筛选出光斑；
45.s4：从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(s
x
,sy)以及平均光强l
avg
。
46.s5：预设阈值l1，从初始光强收敛坐标(s
x
,sy)中输出平均光强l
avg
大于该阈值l1的光斑的目标光强收敛坐标(s
′
x
,s
′y)。
47.需要说明的是，光源信息文件用于显示光源的亮度信息，在理想情况下包含至少一个光斑信息，但是在实际中还包括噪点信息，噪点信息会导致光源信息传递不准确，导致光刻精度降低，因此，本发明实施例提供的一种获取目标光源光斑分布方法用于快速去除噪点信息并得到光斑的坐标。
48.需要说明的是，在步骤s1中通过读取光源信息文件，获取的光源数据包括坐标像素点n、光源坐标(x,y)、光源强度l
xy
、光源对称度结果sym以及光斑面积。
49.示例性的，若光源像素点为256*256，即x方向坐标包括256个点，y的方向包括256个点，即根据光源信息文件建立一个坐标系，用光源坐标(x,y)表述该坐标系的每一个点，便于后期确定光斑的具体位置。
50.需要说明的是，读取光源信息文件后需要对光源坐标做归一化处理，使光源坐标中，x∈{-1,1},y∈{-1,1}内，由此得到多个光源的光源坐标(x,y)；对应每一个光源坐标(x,y)获取对应的光源强度信息，可以理解的，不同位置的光源的光源强度不同，其光强最强点可以是有效的光斑，也可以是噪点，因此，在获取光源强度后，还需要对光源强度l
xy
进行归一化处理，即将所有光源的对应的光源强度l
xy
除以其中最大的光强l
xymax
，得到归一化后的光源强度l
′
xy
，方便将所有的光源强度固定在一个范围内，便于后期计算。
51.需要说明的是，在获取光源数据后，需要判断光源数据是否完整，若光源数据缺失，则需要对缺失的信息进行提示，便于使用者根据提示检查输入光源的准确性并对其进行补充，避免信息缺失导致计算结果出现较大的误差。
52.在一些实施例中，当光源数据缺失时，还需要判断是否为关键数据缺失，如果为关键数据缺失，则需要更换光源文件，若不是关键数据缺失如光源像素点理论上应该为256*256，而在实际测量中获取的光源像素点为256*255，且缺失的像素点为边缘信息，则使用者主动进行补充即可。
53.需要说明的是，通过步骤s2中得出的实际搜寻步长step，有利于在步骤s3中分离出背景噪点信息以及光斑信息，即，光斑信息为范围信息，而背景噪点信息为点信息，通过获取一光源坐标附近范围内的光源强度，若该光源坐标附近的光源强度可以收敛至该预设范围内任一光源坐标处，则判定为光斑信息，否之则判定为噪点信息进行剔除。在步骤s4中。获取光斑集群信息可以利用光源的对称度sym搜寻部分光斑集群信息后得出全部的光斑集群信息，也可以全光源范围内按照实际搜寻步长step进行搜寻获取全部光斑集群信息。在步骤s5中，通过设置阈值i1，便于根据实际情况输出满足该阈值l1的平均光强l
avg
的光斑坐标。
54.需要说明的是，相比于现有技术中的灰度质心法、圆拟合法、hough变换法，本发明
实施例提供的方法可以用于复杂情况的图像，对含有噪点、变形以及部分区域残缺的光源信息文件的光源图像具有良好的适应性，对于不均匀的光源也可以快速计算得到最佳分布矢量结果信息。
55.进一步的，步骤s2具体包括：
56.s21:选取一最小的光斑面积预设一初始搜寻步长ds，
57.s22:根据该光源的坐标像素点n，以及从光源坐标(x,y)中提取出该光源的最大坐标(x
max
，y
max
)以及最小坐标(x
min
，y
min
)，计算出该光源的实际搜索步长step；
58.所述实际搜索补偿step计算式为：
[0059][0060]
需要说明的是，根据最小光斑面积确定初始搜寻步长，可以保证搜索的精确性和效率，避免因为在后期搜寻光斑的过程中因为实际搜寻步长过大导致在搜寻过程中跳过较为细小的光斑，从而无法获得准确的光斑信息，选择以最小光斑作为初始搜寻步长还可以更快速地覆盖整个光源区域，减少搜索的盲目性和冗余性。这样可以在较短的时间内找到光源并获取完整的光斑信息。
[0061]
需要说明的是，初始搜寻步长ds可以为一个固定值如0.2，也可以根据光斑的面积进行手动设置，若光斑面积较大，可以设置一较大的初始搜寻步长ds＝0.3，若光斑面积较小，可以设置一较小的初始搜寻步长，ds＝0.05。可以理解的，通过光斑面积的大小设置初始搜寻步长ds，便于调整光源信息的搜索精度，有利于在保证寻找到有效光斑的情况下，减少搜寻时间和计算资源。
[0062]
需要说明的是，同一份光源文件的实际搜寻步长step相同，但由于一份光源文件包括多个光斑和噪点，而针对噪点的光源面积为0，因此，获取的大于0的光源面积即为光斑面积。若多个光源面积相同，则选择任一光源面积预设一初始搜寻步长ds；若多个光源面积不同，在预设初始搜寻步长ds时，选择最小光斑面积预设初始搜寻步长，并根据该光斑对应的最大坐标(x
max
，y
max
)以及最小坐标(x
min
，y
min
)计算出实际搜寻步长，可以确保在搜寻过程中可以获取所有光斑信息。
[0063]
进一步的，步骤s3具体包括如下步骤：
[0064]
s31：针对其中一光源的光源坐标(x1,y1)界定一预设范围，获取该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强；
[0065]
s32a：若该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强不能收敛至该预设范围内一光源坐标(x2,y2)处，则将该光源作为噪点剔除。
[0066]
s32b：若该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强可以收敛至该预设范围内一光源坐标(x2,y2)处，则判断为光斑，并通过计算获得计算光强i(x,y)，计算光强计算式为
[0067][0068]
式中，(x
min
，y
min
)为该光斑的最小坐标。
[0069]
需要说明的是，(x1,y1)为一出光坐标，并以该光源坐标(x1,y1)为中心，获取该满足该光源坐标(x
±
step,y
±
step)为边界的正方形范围内点的位置，并获取所有位置的光源强度得到光源强度，若该光源坐标预设范围内的光源强度可以收敛至该预设范围内一光
源坐标(x2,y2)处，则判断为光斑信息，否则则判断为背景噪点信息剔除。
[0070]
需要说明的是，在本实施例中，(x1,y1)与(x2,y2)仅表示存在的两个点，不代表具体坐标，仅用于在步骤s3中区分光斑以及噪点。
[0071]
需要说明的是，(x2,y2)表述该预设范围内光强收敛点，也是光强最强的点，即，若该预设范围内光强分布均匀，则(x2,y2)为该预设范围内的中心位置，即(x1,y1)与(x2,y2)可以为同一个坐标位置，也可以为不同的两个位置。而由于该预设范围是由实际搜寻步长step决定的，因此，可以理解的，若(x1,y1)为一光斑内的点，则(x2,y2)表示该光斑光强最大的点。
[0072]
可以理解的，本发明利用了光斑信息为范围信息而背景噪点为点信息的不同将背景噪点剔除，避免了背景噪点对计算结果的干扰，确保了最终得出目标光强收敛坐标的准确性。通过该预处理步骤，还可以避免后续无效的计算，从而极大的提高的运行该方法的效率。
[0073]
需要说明的是，该计算光强公式中，针对具体一光斑，其中l
′
xy
为步骤s1中该光斑归一化后的光源强度，step为实际搜寻步长，x
2-x
min
用以表示该光强收敛点与该光斑最小位置x方向的距离，y
2-y
min
用以表示该光强收敛点与该光斑最小位置x方向的距离。
[0074]
进一步的，在对光源数据进行预处理得到计算光强后还包括：
[0075]
s33:对计算光强i(x,y)进行归一化处理得到归一化光强l
x,y
。
[0076]
需要说明的是，得到归一化光强l
x,y
计算式为：
[0077][0078]
需要说明的是，在步骤s32b中，针对一光斑获得对应的一计算光强，在获得归一化光强l
x,y
中，将所有的光斑的计算光强做归一化处理，便于后期计算，其中，i(x,y)
max
为该光源中所有光斑对应的计算光强的最大值。
[0079]
可以理解的，若只有一个光斑或者该光源文件中的所有光斑相同，i
x,y
为1，若该光源文件包括多个不相同的光斑，则0＜i
x,y
＜1。综上，0＜i
x,y
≤1。
[0080]
需要说明的是，在步骤s1对光强做归一化处理时，可能存在光源强度最大的点为噪点，进而导致有效的光斑信息进行归一化处理后得到的归一化后的光源强度l
′
xy
值较小，因此，在预处理将噪点分离出去后，再通过一次归一化处理，光源归一化处理仅需要较少的运算资源，可以消除噪点对成像结果的影响，提高成像的准确性和可靠性。
[0081]
进一步的，步骤s4具体包括：
[0082]
s41：获取光源的sym特性，并根据光源的sym特性将光斑划分成若干相同的集群；
[0083]
s42：选择至少一存在光斑的集群进行分析，获取计算光强大于0的光斑位置的集合l；计算出光斑的初始光强收敛点(sx，sy)以及该集合l的平均光强l
avg
。
[0084]
光斑的初始光强收敛点计算式为：
[0085][0086][0087]
其中，lx的为该光斑位置在整个光源中x方向的坐标，ly的为光斑位置在整个光源
中y方向的坐标，(x
min
，y
min
)为该光斑的最小坐标。
[0088]
示例性的，获取一光斑x方向的范围为0-0.3，y方向的范围为08-0.9，则lx为0、0.1、0.2、0.3，ly为0.8、0.9。
[0089]
需要说明的是，光源的sym对称包括c2对称以及d4对称，具体的，光源的c2对称即光源具有二重对称性，可以只对光源的一半进行集群分析，然后根据对称性将分析结果复制到光源的另一侧；d4对称即光源具有四重对称性，可以只对光源的八分之一进行集群分析，然后根据对称性将分析结果复制到其他位置，从而得到完整的光斑形状以及位置信息。
[0090]
可以理解的，相比于全光源范围内搜索得到光斑集群信息，本实施例提供的技术方案利用了光源的对称性，只要获得其中一个具有光斑信息的集群，再可利用光源的对称性获得整个光源的光斑的位置信息，通过这种方法，可以优化光学检测或成像过程中的光斑搜索和处理，提高处理效率和精度，减少计算量，还可以避免遇到光斑不均匀无法处理以及相邻光斑过于接近被误识为一个光斑的风险。
[0091]
需要说明的是，选择至少一存在光斑的集群进行分析具体包括对划分成的若干相同的集群选择任一集群判定是否存在光斑；若未存在光斑，则顺时针或者逆时针选择该集群相邻的集群进行判定是否存在光斑；直到获取到含有光斑信息的集群。
[0092]
具体的，在利用光源的sym特效将光源划分成若干个集群后，在对一集群获取光斑信息时，从其中一集群外周选取一初始位置进行搜索，该初始位置一般设置为光斑集群中的边缘点，若该位置未搜索到光斑，则按照实际搜寻步长step搜寻相邻位置，以此类推，直到获取到该集群中的光斑信息。
[0093]
若对该集群中未搜寻到光斑信息，则再对相邻集群进行搜寻，直到获得光斑信息，根据实际搜寻步长step获取到光斑信息后，组成集合l。
[0094]
示例性的，若该光源c2对称，如果第一次选择的二分之一位置没有找到光斑信息，则第二次在剩下的二分之一位置挑选。若该光源d4对称，如果选择的八分之一位置没有找到光斑信息，则顺时针方向选择相邻八分之一位置搜寻，以此类推，直到搜寻到光斑信息，
[0095]
需要说明的是，集合l的平均光强i
avg
计算式为：
[0096][0097]
式中，n为光斑集群中l里收集到的光斑点数；
[0098]
需要说明的是，在获取光斑集群后，将根据实际搜寻步长将保护光斑信息的集群全部搜索完后，即获得该集群中m个光强大于0的集合n≤m。
[0099]
可以理解的，0＜i
avg
≤1。
[0100]
进一步的，所述s5具体包括
[0101]
设置一阈值i1,若l
avg
＞l
11
时，则输出目标光强收敛坐标(s
′
x
,s
′y)；否之则循环到从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(s
x
,sy)以及平均光强l
avg
位置。
[0102]
示例性的，在步骤s42中获取到一光斑信息后，则计算获得该光斑的收敛点，此时，该集合l只包含一个光斑信息，即l
avg
＝l
x,y
，若该光斑为所有光斑中平均光强最大的点，即l
avg
＝i
x,y
＝1。此时，将该光斑中的光强收敛坐标(s
′
x
,s
′y)输出。
[0103]
示例性的，在步骤s42中获取到一光斑信息后，则计算获得该光斑的收敛点，此时，
若l只包含一个光斑信息，即l
avg
＝i
x,y
，若i
avg
≤i1，则不符合输出要求，这需要返回到s4中进行重新搜寻光斑，此时，将该光斑的初始光强收敛点(sx，sy)作为初始位置，以实际搜寻步step为半径进行搜寻，直到搜寻到一光强较大的光斑使l
avg
＞l1，将该光强较大的光斑中的光强收敛坐标(s
′
x
,s
′y)输出。
[0104]
需要说明的是，在搜寻到满足l
avg
＞l1后，若实际需要输出的光斑收敛点并非只为平均光强最强光斑的光斑收敛点，则还需要判断该集群中光斑是否均搜索完成，若未搜寻完成，还需进一步以(s
′
x
,s
′y)作为初始位置进行搜寻，直到将该集群的所有光斑搜寻完，确保可以输出满足该阈值的所有光斑的光强收敛点。
[0105]
可以理解的，通过设置阈值，便于使用人员根据需要获取不同的光源强度的光斑的光强收敛坐标，在实际使用中，该方法可以快速的输出目标光强收敛坐标。
[0106]
可以理解的，通过本发明实施例提供的一种获取目标光源光斑分布方法，适用于对于情况复杂的实际图像，包括噪声、变形、部分区域残缺等有很好的适应性和抗干扰能力，对于不均匀的光源也可以快速计算得到最佳分布矢量结果信息，且不占用内存，极大提高了对光斑亮度不均匀的光源、散点光源、以及边缘不规则光源的光源等诸多实用光源的支持性。
[0107]
在本发明所提供的实施例中，应理解，“与a对应的b”表示b与a相关联，根据a可以确定b。但还应理解，根据a确定b并不意味着仅仅根据a确定b，还可以根据a和/或其他信息确定b。
[0108]
应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定特征、结构或特性可以以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于可选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。
[0109]
在本发明的各种实施例中，应理解，上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的必然先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本发明实施例的实施过程构成任何限定。
[0110]
在本发明的附图中的流程图和框图，图示了按照本技术各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，该模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现方案中，方框中所标注的功能也可以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，在此基于涉及的功能而确定。需要特别注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。
[0111]
与现有技术相比，本发明提供的一种获取目标光源光斑分布方法具有以下优点：
[0112]
1、本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，包括以下步骤提供一带有光源信息的文件，并从中获取完整的光源数据；根据获取的所述光源数据得到光源实
际搜寻步长step；对所述光源数据进行预处理以筛选出光斑；从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光斑的初始光强收敛坐标(s
x
,sy)以及平均光强l
avg
；预设阈值l1，从初始光强收敛坐标(s
x
,sy)中输出平均光强l
avg
大于该阈值l1的光斑的目标光强收敛坐标(s
′
x
,s
′y)，通过这样的设计，对于情况复杂的实际图像，包括噪声、变形、部分区域残缺等有很好的适应性和抗干扰能力，对于不均匀的光源也可以快速计算得到最佳分布矢量结果信息，且不占用内存，极大提高了对光斑亮度不均匀的光源、散点光源、以及边缘不规则光源的光源等诸多实用光源的支持性。
[0113]
2、本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，在获取所述光源强度l
xy
后，还包括以下步骤：对所述光源强度l
xy
进行归一化得到归一化后光源强度l
′
xy
；并判断所述光源数据是否完整，若光源数据不完整，则对缺失的光源数据进行提示以及补充；通过对光源强度归一化处理，方便将所有的光源强度固定在一个范围内，便于后期计算。
[0114]
3、本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，所述根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step具体包括：选取一最小的光源面积预设一初始搜寻步长ds，根据该光源的坐标像素点n，以及从该光源坐标(x,y)中提取出光源的最大坐标(x
max
，y
max
)以及最小坐标(x
min
，y
min
)，计算出该光源的实际搜索步长step。通过光斑面积的大小设置初始搜寻步长ds，便于调整光源信息的搜索精度，有利于在保证寻找到有效光斑的情况下，减少搜寻时间和计算资源。
[0115]
4.本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，所述对所述光源数据进行预处理以剔除背景噪点具体为：针对其中一光源的光源坐标(x1,y1)界定一预设范围，获取该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强；若该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强不能收敛至该预设范围内一光源坐标(x2,y2)处，则将该光源作为噪点剔除；本发明利用了光斑信息为范围信息而背景噪点为点信息的不同将背景噪点剔除，避免了背景噪点对计算结果的干扰，确保了最终得出目标光强收敛坐标的准确性。通过该预处理步骤，还可以避免后续无效的计算，从而极大的提高的运行该方法的效率。
[0116]
5.本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，对所述光源数据进行预处理后还包括对计算光强进行归一化处理得到归一化光强l
x,y
，在预处理将噪点分离出去后，再通过一次归一化处理，光源归一化处理仅需要较少的运算资源，可以消除噪点对成像结果的影响，提高成像的准确性和可靠性。
[0117]
6.本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，所述从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(s
x
,sy)以及平均光强l
avg
具体包括：获取光源的sym特性，并根据光源的sym特性将光源划分成若干相同的集群；选择至少一存在光斑的集群进行分析，获取计算光强大于0的光斑的集合l；获取光斑的初始光强收敛点(sx，sy)以及该集合l的平均光强l
avg
，相比于全光源范围内搜索得到光斑集群信息，本实施体提供的技术方案利用了光源的对称性，可以优化光学检测或成像过程中的光斑搜索和处理，提高处理效率和精度，减少计算量，还可以避免遇到光斑不均匀无法处理以及相邻光斑过于接近被误识为一个光斑的风险。
[0118]
7.本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，包括设置一阈值l1,若l
avg
＞l1时，则输出目标光强收敛坐标(s
′
x
,s
′y)；否之则循环到从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(s
x
,sy)以及平均光强l
avg
位
置，通过设置阈值，便于使用人员根据需要获取不同的光源强度的光斑的光强收敛坐标，在实际使用中，该方法可以快速的输出目标光强收敛坐标。
[0119]
以上对本发明实施例公开的一种获取目标光源光斑分布方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制，凡在本发明的原则之内所作的任何修改，等同替换和改进等均应包含本发明的保护范围之内。