一种高沸物回收方法与流程

技术特征：
1.一种高沸物回收方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤s1、将高沸物雾化或汽化，得到雾化高沸物或汽化高沸物；步骤s2、将雾化高沸物或汽化高沸物裂解成包括三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅和低沸物的混合物；步骤s3、将步骤s2得到的混合物进行冷凝；步骤s4、将经过步骤s3冷凝后的混合物精馏，以分离、回收该混合物的各组分；其中，在步骤s2中，裂解雾化高沸物或汽化高沸物时，将雾化高沸物或汽化高沸物送入等离子体反应器中，并向等离子体反应器中通入反应器载气；所述反应器载气包括氢气、氯气和氯化氢气中的一种或几种。2.根据权利要求1所述的高沸物回收方法，其特征在于，在步骤s3前，使步骤s2中未完成裂解的雾化高沸物或汽化高沸物返回至步骤s1或步骤s2。3.根据权利要求1所述的高沸物回收方法，其特征在于，在步骤s3中，冷凝温度为20～100℃。4.根据权利要求1所述的高沸物回收方法，其特征在于，在步骤s2中，将雾化高沸物送入等离子体反应器中时，用雾化器载气将雾化高沸物送入等离子体反应器中；雾化器载气包括氢气、氯气和氯化氢气中的一种或几种。5.根据权利要求1所述的高沸物回收方法，其特征在于，所述等离子体反应器产生的等离子体的温度为50～5000℃。6.根据权利要求1所述的高沸物回收方法，其特征在于，所述等离子体反应器的反应压力大于0mpa而小于或等于10mpa。7.根据权利要求1所述的高沸物回收方法，其特征在于，所述等离子体反应器内气体的总流量为0.1～10m
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/min。8.根据权利要求1～7任一项所述的高沸物回收方法，其特征在于，所述等离子体反应器包括：等离子发生器，包括相互连接的等离子体火炬进气段和等离子体火炬，所述等离子体火炬进气段具有载气通道，所述等离子体火炬用于产生等离子体；物料进口，用于向所述等离子体反应器通入雾化高沸物或汽化高沸物；等离子体反应区域，位于所述物料进口和物料出口之间，所述载气通道用于向所述等离子体火炬通入反应器载气，通过反应器载气将等离子体送入所述等离子体反应区域中；及物料出口，依次连接有冷凝器和精馏塔。9.根据权利要求8所述的高沸物回收方法，其特征在于，所述物料进口包括高沸通道和/或高沸喷嘴。10.根据权利要求9所述的高沸物回收方法，其特征在于，所述物料进口包括高沸通道；所述等离子体火炬进气段呈夹层式结构，所述高沸通道和所述载气通道位于所述等离子体火炬进气段内且相对独立。

技术总结
本发明提供了一种高沸物回收方法，涉及多晶硅技术领域，其包括：步骤S1、将高沸物雾化或汽化，得到雾化高沸物或汽化高沸物；步骤S2、将雾化高沸物或汽化高沸物裂解成包括三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅和低沸物的混合物；步骤S3、将步骤S2得到的混合物进行冷凝；步骤S4、将经过步骤S3冷凝后的混合物精馏；其中，在步骤S2中，裂解雾化高沸物或汽化高沸物时，将雾化高沸物或汽化高沸物送入等离子体反应器中。雾化高沸物或者汽化高沸物进入等离子体反应区域中后，通过高温的作用，打断其中不稳定的硅-硅键，在断链的分子上接枝形成三氯氢硅、四氯化硅等多晶硅生产所需的原料，以便于有效利用高沸储罐中的高沸物。高沸储罐中的高沸物。高沸储罐中的高沸物。


技术研发人员：贾琳蔚 刘宏超 时梁 宋垒 程茂林 陈绍林 米茜 王亚萍 刘逸枫 甘居富 叶凡凡 张榆春 翟倩 成敏 李鑫
受保护的技术使用者：四川永祥能源科技有限公司
技术研发日：2023.07.03
技术公布日：2023/10/7