光学感测模块的制作方法

技术特征：
1.一种适用于气相样品的光学感测模块，所述光学感测模块包括：硅或氮化硅发射器光子集成电路(pic)，所述发射器pic包括：一个或多个激光器，所述一个或多个激光器中的每个激光器在与其他激光器的波长不同的波长下工作；一个或多个光学输出，所述一个或多个光学输出用于源自所述一个或多个激光器的光，所述光学输出被布置为使得所述光与所述气相样品相互作用；以及一个或多个光电检测器，所述一个或多个光电检测器被配置为在与所述气相样品相互作用之后检测光。2.如权利要求1所述的光学感测模块，其还包括光学操纵区域，所述光学操纵区域包括以下各项中的一者或多者：光调制器、光学多路复用器(mux)；以及附加光学操纵元件，其中所述附加光学操纵元件包括以下各项中的一者或多者：功率分接头、透镜、功率分配器、滤波器、镜和偏振旋转器。3.如权利要求1或权利要求2所述的光学感测模块，其中所述一个或多个激光器包括具有iii-v rsoa增益激光芯片或芯片小方块的一个或多个激光器，所述激光芯片或芯片小方块混合集成到所述pic，使得iii-v rsoa或激光波导中的光学模式边缘耦合到所述pic的一个或多个波导。4.如前述权利要求中任一项所述的光学感测模块，其还包括用于容纳所述气相样品的气体小室或所述气体样品行进穿过的气体路径。5.如前述权利要求中任一项所述的光学感测模块，其还包括多个led，所述led在与所述一个或多个激光器不同的波长下工作，并且每个led在与组成所述多个led的所述其他led的波长不同的波长下工作。6.如前述权利要求中任一项所述的光学感测模块，其中所述光学操纵区域包括镜，以在单个光学输出处将来自所有所述一个或多个激光器的光耦合出所述光学感测模块。7.如前述权利要求中任一项所述的光学感测模块，其中所述光电检测器位于所述发射器pic上，使得所述pic是发射器/接收器pic。8.如前述权利要求中任一项所述的光学感测模块，其中所述光电检测器与所述发射器pic分开定位。9.如权利要求8所述的光学感测模块，其中所述一个或多个光电检测器位于垂直集成并安装在与所述发射器pic共用的同一衬底上的单独芯片上。10.如权利要求8所述的光学感测模块，其中所述一个或多个光电检测器位于所述发射器pic旁边的承载件上。11.如权利要求6至10中任一项所述的光学感测模块，其中所述一个或多个光电检测器包括从所述发射器pic接收光信号以作为相干检测器操作的检测器。12.如权利要求6至11中任一项所述的光学感测模块，其中所述发射器pic的光学输出从通向所述一个或多个光电检测器的光学输入横向移位。13.如前述权利要求中任一项所述的光学感测模块，其还包括用于分析在与所述气相样品相互作用之后检测到的光的处理器。14.如权利要求13所述的光学感测模块，其中执行的所述分析是以下各项中的一者或多者：
吸收光谱学和/或米氏散射。15.如权利要求13或权利要求14所述的光学感测模块，其中所述处理器被配置为对随时间推移获得的测量结果进行积分。16.一种包括如前述权利要求中任一项所述的光学感测模块的可穿戴装置。17.如权利要求16所述的可穿戴装置，其中所述光学感测模块包括位于可穿戴装置的外壳内的气体小室或气体路径。18.如权利要求16或17所述的可穿戴装置，其还包括可拆卸嘴口件。19.一种适用于液相样品的光学感测模块，所述光学感测模块包括：硅或氮化硅发射器光子集成电路(pic)，所述发射器pic包括：一个或多个激光器，所述一个或多个激光器中的每个激光器在与其他激光器的波长不同的波长下工作；一个或多个光学输出，所述一个或多个光学输出用于源自所述一个或多个激光器的光，所述光学输出被布置为使得所述光与所述液相样品相互作用；以及一个或多个光电检测器，所述一个或多个光电检测器被配置为在与所述气相样品相互作用之后检测光。

技术总结
一种适用于气相样品的光学感测模块，所述光学感测模块包括：硅或氮化硅发射器光子集成电路(PIC)，所述发射器PIC包括：一个或多个激光器，所述一个或多个激光器中的每个激光器在与其他激光器的波长不同的波长下工作；用于源自所述一个或多个激光器的光的一个或多个光学输出，所述光学输出被布置为使得所述光与所述气相样品相互作用；以及一个或多个光电检测器，所述一个或多个光电检测器被配置为在与所述气相样品相互作用之后检测光。述气相样品相互作用之后检测光。述气相样品相互作用之后检测光。


技术研发人员：S
受保护的技术使用者：洛克利光子有限公司
技术研发日：2021.09.27
技术公布日：2023/8/29