一种用于光栅读数头位移偏移校准的方法

技术特征：
1.一种用于光栅读数头位移偏移校准的方法。所述方法包括：s1、规划测量路径，设定测量点，在每个测量点都设置工作台姿态z、rx、ry、rz为零；s2、分别在3读数头组合和4读数头组合的有效区域内的测量点处执行测量；s3、根据测量系统全局模型计算工作台水平位置，求解读数头的水平位移偏差；s4、建立偏差值与位移补偿机器常数之间的关联方程；s5、求解位移补偿机器常数，利用补偿后的机器常数重新计算工作台的位置，从而对光栅读数头位移偏移进行校准。2.根据权利要求1所述的一种用于光栅读数头位移偏移校准的方法，其特征是：在规划的测量范围内设置从区域中点向两边同时进行的s曲型测量路径。3.根据权利要求2所述的一种用于光栅读数头位移偏移校准的方法，其特征是：在测量范围内划分3读数头和4读数头组合的有效区域，同时设定测量间隔为2mm的测量点。4.根据权利要求1所述的一种用于光栅读数头位移偏移校准的方法，其特征是：控制工作台沿设计路径依次从不同的3读头有效区域切换到4读数头有效区域内的各个测量点处执行测量，并分别将不同的3读数头组合与4读数头组合测得的工作台的水平位置做差。5.根据权利要求1所述的一种用于光栅读数头位移偏移校准的方法，其特征是：将不同的3读数头组合的位移模型函数进行一阶泰勒展开后与4读数头组合水平向位移做差。6.根据权利要求1所述的一种用于光栅读数头位移偏移校准的方法，其特征是：将关联方程运算结果简化后利用最小二乘法进行拟合。

技术总结
本发明提供的是一种用于光栅读数头位移偏移校准的方法，属于精密测量领域。所述方法包括：规划测量路径，设定测量点，设定工作台姿态，在每个测量点都设置工作台姿态Z、Rx、Ry、Rz为零；分别在3读数头组合和4读数头组合的有效区域内的测量点处执行测量；根据测量系统全局模型计算工作台的水平位置，求解读数头的水平向位移偏差；建立偏差值与位移补偿机器常数之间的关联方程，最后求解位移补偿机器常数；利用补偿后的机器常数重新计算工作台的位置，从而达到对光栅读数头位移偏移校准的目的。本发明可用于光栅读数头位移偏移误差的分析、光栅尺位移测量系统的位移测量优化。尺位移测量系统的位移测量优化。尺位移测量系统的位移测量优化。


技术研发人员：熊显名 张文涛 韩雪 杜浩 谷兴泉 李承航
受保护的技术使用者：桂林电子科技大学
技术研发日：2023.05.04
技术公布日：2023/8/5