技术特征：
1.一种流体控制装置，其中，具备：流体输送元件；外壳体，内含所述流体输送元件；以及支承部件，将所述流体输送元件固定于所述外壳体，所述流体输送元件具备：第一平板，具有流体的吸入孔；第二平板，具有所述流体的排出孔；以及压电元件，所述外壳体具有由所述流体输送元件及所述支承部件区隔出的第一内部空间及第二内部空间，所述外壳体具备：第一外壁，形成成为所述第一平板侧的所述第一内部空间，并具有使所述第一内部空间与外部空间连通的第一贯通孔；和第二外壁，形成成为所述第二平板侧的所述第二内部空间，并具有使所述第二内部空间与外部空间连通的第二贯通孔，所述第二外壁具备：第二外壁主板，具有与所述第二平板对置的主面；和第二侧板，与所述第二外壁主板连接，所述第二外壁主板具有在从与该第二外壁主板的主面正交的方向平面观察时与所述排出孔重叠的部分，所述第二外壁主板的与所述排出孔重叠的部分的导热性比所述第一外壁的导热性高。2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，所述第一外壁是树脂，所述第二外壁主板中在从与所述第二外壁主板的主面正交的方向平面观察时与所述排出孔重叠的部分的面向所述第一内部空间的表面是金属。3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其中，所述第二外壁主板的与所述排出孔重叠的部分是金属。4.根据权利要求3所述的流体控制装置，其中，所述第二外壁主板是金属。5.根据权利要求1～4中任一项所述的流体控制装置，其中，所述第二贯通孔形成于所述第二侧板。6.根据权利要求1～5中任一项所述的流体控制装置，其中，所述第一外壁具备：第一外壁主板，具有在平面观察时与所述吸入孔重叠的部分；和第一侧板，与所述第一外壁主板连接，所述第二外壁主板中在从与所述第二外壁主板的主面正交的方向平面观察时与所述排出孔重叠的部分，比所述第一外壁主板中在从与所述第二外壁主板的主面正交的方向平面观察时与所述吸入孔重叠的部分薄。
技术总结
本发明提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备由泵(20)及阀(60)构成的流体输送元件、和内含流体输送元件的外壳体(40)。外壳体(40)具备：第一外壁，形成泵(20)侧的内部空间(101)；和第二外壁，形成阀(60)侧的内部空间(102)。第二外壁具备外壁主板(42)，该外壁主板(42)具有在平面观察时与阀(60)的排出孔亦即贯通孔(TH61)重叠的部分。外壁主板(42)的与排出孔重叠的部分的导热性比第一外壁的导热性高。高。高。
技术研发人员：田中伸拓 川端友德 阿知波宽基
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：2021.08.17
技术公布日：2023/6/14
再多了解一些
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