聚光镜和包括聚光镜的用于产生极紫外光的装置的制作方法

技术特征：
1.一种用于极紫外euv光发生器的聚光镜，所述聚光镜包括：第一镜，在容器中，所述容器被配置为接收材料和激光束以用于生成所述euv光；第二镜，围绕所述第一镜；以及可拆卸的第三镜，在所述第一镜和所述第二镜之间，所述第三镜具有不小于所述第一镜的外径的内径和不大于所述第二镜的内径的外径。2.根据权利要求1所述的聚光镜，其中，所述第一镜、所述第二镜和所述第三镜的组合结构具有半球形状。3.根据权利要求2所述的聚光镜，其中，所述第三镜的内径与所述第一镜的外径基本相同，所述第三镜的内表面与所述第一镜的外表面直接接触。4.根据权利要求3所述的聚光镜，其中，所述第一镜的外表面和所述第三镜的内表面之间具有迷宫式密封。5.根据权利要求2所述的聚光镜，其中，所述第三镜的外径与所述第二镜的内径基本相同，所述第三镜的外表面与所述第二镜的内表面直接接触。6.根据权利要求5所述的聚光镜，其中，所述第三镜的外表面和所述第二镜的内表面之间具有迷宫式密封。7.根据权利要求1所述的聚光镜，其中，所述第一镜包括：第一表面，面向所述容器的内部；以及内表面，与所述第一表面连接，所述内表面的上部包括指向所述第一表面以喷射空气的第一喷嘴。8.根据权利要求7所述的聚光镜，还包括：第一空气源，与所述第一喷嘴连接，所述第一空气源被配置为向所述第一喷嘴供应空气；以及控制器，被配置为控制从所述第一空气源向所述第一喷嘴供应的空气的压力。9.根据权利要求1所述的聚光镜，其中：所述第三镜的内表面的上端位于比所述第一镜的外表面的上端低的高度处，使得所述第一镜的外表面的上部被暴露，以及第二喷嘴位于所述第一镜的外表面的暴露的上部处，所述第二喷嘴指向所述第三镜的表面。10.根据权利要求9所述的聚光镜，还包括：第二空气源，与所述第二喷嘴连接，所述第二空气源被配置为向所述第二喷嘴供应空气；以及控制器，被配置为控制从所述第二空气源向所述第二喷嘴供应的空气的压力。11.根据权利要求1所述的聚光镜，其中：所述第三镜的外表面的上端位于比所述第二镜的内表面的上端高的高度处，使得所述第三镜的外表面的上部被暴露，以及第三喷嘴位于所述第三镜的外表面的暴露的上部处，所述第三喷嘴指向所述第二镜的表面。12.根据权利要求11所述的聚光镜，还包括：第三空气源，与所述第三喷嘴连接，所述第三空气源被配置为向所述第三喷嘴供应空
气；以及控制器，被配置为控制从所述第三空气源向所述第三喷嘴供应的空气的压力。13.根据权利要求1所述的聚光镜，其中，所述第一镜包括固定槽，并且所述第三镜包括从所述第三镜的下表面延伸到所述固定槽中的固定部。14.根据权利要求13所述的聚光镜，其中，所述固定部具有向下渐缩的下端，并且所述固定槽具有与所述固定部的渐缩下端相对应的渐缩形状。15.根据权利要求14所述的聚光镜，还包括在所述第一镜中的磁体以使用磁力固定所述固定部。16.一种用于极紫外euv光发生器的聚光镜，所述聚光镜包括：第一镜，在容器中，所述容器被配置为接收材料和激光束以生成所述euv光；第二镜，围绕所述第一镜；以及可拆卸的第三镜，在所述第一镜和所述第二镜之间，所述第三镜具有与所述第一镜的外径基本相同的内径和与所述第二镜的内径基本相同的外径，其中，所述第一镜、所述第二镜和所述第三镜的组合结构具有半球形状，其中，所述第一镜包括在所述第一镜的内表面的上部处的第一喷嘴，所述第一喷嘴指向所述第一镜，其中，所述第三镜的内表面的上端位于比所述第一镜的外表面的上端低的高度处，使得所述第一镜的外表面的上部被暴露，并且第二喷嘴设置在所述第一镜的外表面的暴露的上部处，以向所述第三镜喷射空气，以及其中，所述第三镜的外表面的上端位于比所述第二镜的内表面的上端高的高度处，使得所述第三镜的外表面的上部被暴露，并且第三喷嘴没置在所述第三镜的外表面的暴露的上部处，以向所述第二镜喷射空气。17.根据权利要求16所述的聚光镜，还包括：第一空气源，与所述第一喷嘴连接并且被配置为向所述第一喷嘴供应空气；第二空气源，与所述第二喷嘴连接并且被配置为向所述第二喷嘴供应空气；第三空气源，与所述第三喷嘴连接并且被配置为向所述第三喷嘴供应空气；以及控制器，被配置为单独地控制分别从所述第一空气源至所述第三空气源到所述第一喷嘴至所述第三喷嘴的压力。18.根据权利要求16所述的聚光镜，其中，所述第三镜包括从所述第三镜的下表面延伸的固定部，并且所述第一镜包括被配置为容纳所述固定部的固定槽。19.根据权利要求18所述的聚光镜，其中，所述固定部具有向下渐缩形状的下端，并且所述固定槽具有与所述固定部的下端相对应的渐缩形状。20.一种用于生成极紫外euv光的装置，所述装置包括：容器，被配置为接收材料和激光束以生成所述euv光；材料供应器，被配置为将所述材料供应到所述容器中；激光照射器，被配置为向所述容器中的所述材料照射所述激光束；以及聚光镜，被配置为反射所述euv光，所述聚光镜包括：第一镜，在所述容器中，第二镜，围绕所述第一镜，以及
可拆卸的第三镜，在所述第一镜和所述第二镜之间，所述第三镜具有不小于所述第一镜的外径的内径和不大于所述第二镜的内径的外径。

技术总结
一种用于极紫外(EUV)光发生器的聚光镜，包括：第一镜，在容器中，该容器被配置为接收用于生成EUV光的材料和激光束；第二镜，围绕第一镜；以及可拆卸的第三镜，在第一镜和第二镜之间，第三镜具有不小于第一镜的外径的内径和不大于第二镜的内径的外径。大于第二镜的内径的外径。大于第二镜的内径的外径。


技术研发人员：宋镐石 金圣协 李寅载 金桢吉
受保护的技术使用者：三星电子株式会社
技术研发日：2022.06.15
技术公布日：2023/3/10