双门过渡阀腔的制作方法

1.本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种双门过渡阀腔。


背景技术：

2.薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称hit或 hjt或shj太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，其结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，特别是双面的异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。
3.随着工艺的不断改进和对设备的要求越来越高，在两种工艺腔体之间前后两种腔体由于所作的工艺不同，在将前工艺腔中载板上的硅片搬运至后工艺腔中时，不仅容易导致污染前后两种工艺腔体彼此的气源，而且刚从前工艺腔搬运到后工艺腔的硅片无法符合后工艺腔的温度。
4.为此，亟需提供一种双门过渡阀腔以解决上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种双门过渡阀腔，可以避免硅片在前后工艺腔搬运的过程中发生气源污染，还可以调节硅片的温度以满足工艺要求。
6.为实现上述目的，提供以下技术方案：
7.双门过渡阀腔，包括：
8.阀体，包括进口端、出口端和连通所述进口端及所述出口端的过渡腔，所述阀体上设有进气口和抽真空口，所述进气口设置于所述阀体的顶部且与所述过渡腔连通，且用于引入保护气体；所述抽真空口设置于所述阀体的底部且与所述过渡腔连通；
9.第一密封阀门，设置于所述阀体，且用于封堵所述进口端；
10.第二密封阀门，设置于所述阀体，且用于封堵所述出口端；
11.抽真空设备，与所述抽真空口连通。
12.作为双门过渡阀腔的可选方案，还包括设置于所述阀体内的弥散管，所述弥散管的一端与所述进气口连通，且所述弥散管上设有与所述过渡腔连通的气孔。
13.作为双门过渡阀腔的可选方案，所述进气口设置有多个，所述弥散管设置有多个，且多个所述进气口与多个所述弥散管一一对应设置。
14.作为双门过渡阀腔的可选方案，所述弥散管沿直线向下延伸设置；或所述弥散管螺旋向下延伸设置。
15.作为双门过渡阀腔的可选方案，所述气孔均布在所述弥散管的侧壁上。
16.作为双门过渡阀腔的可选方案，所述阀体的顶部设置有真空度检测孔，所述真空度检测孔与所述过渡腔连通，且真空度检测器安装于所述真空度检测孔上。
17.作为双门过渡阀腔的可选方案，所述阀体的侧壁贯通开设有维修口，所述维修口处设置有维修门，所述维修门能够相对所述阀体打开或闭合。
18.作为双门过渡阀腔的可选方案，所述维修门上设置有视镜窗。
19.作为双门过渡阀腔的可选方案，还包括设置于所述阀体顶部的第一阀门驱动机构和第二阀门驱动机构，所述第一阀门驱动机构与所述第一密封阀门的第一转动轴传动连接以驱动所述第一密封阀门开启或者关闭，所述第二阀门驱动机构与所述第二密封阀门的第二转动轴传动连接以驱动所述第二密封阀门开启或者关闭。
20.作为双门过渡阀腔的可选方案，还包括设置于所述阀体底部的第三阀门驱动机构和第四阀门驱动机构，所述第三阀门驱动机构与所述第一密封阀门的第一转动轴传动连接以驱动所述第一密封阀门开启或者关闭，所述第四阀门驱动机构均与所述第二密封阀门的第二转动轴传动连接以驱动所述第二密封阀门开启或者关闭。
21.与现有技术相比，本实用新型的有益效果：
22.本实用新型所提供的双门过渡阀腔，在阀体上相对设置有进口端和出口端，进口端用于与前工艺腔连通，出口端用于与后工艺腔连通，在进口端和出口端分别转动设置有第一密封阀门和第二密封阀门，阀体的顶部和底部分别设置进气口和抽真空口，抽真空设备使阀体的过渡腔内始终满足一定的真空度；在实际使用中，硅片经过前工艺腔处理完毕后，打开第一密封阀门使硅片进入过渡腔，关闭第一密封阀门，将氮气、氩气等惰性气体通过进气口进入过渡腔，由于抽真空设备持续工作，将过渡腔内的气体从抽真空口排出，然后打开第二密封阀门，将硅片搬运到后工艺腔，避免硅片在前后工艺腔搬运的过程中发生气源污染；由于氮气在过渡腔内吹过硅片，会带走硅片的部分热量，可以调节硅片的温度以满足后工艺腔对硅片温度的要求。
附图说明
23.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
24.图1为本实用新型实施例中双门过渡阀腔的装配示意图(未示出第一密封阀门和第二密封阀门)；
25.图2为本实用新型实施例中双门过渡阀腔的俯视图；
26.图3为本实用新型实施例中双门过渡阀腔的仰视图；
27.图4为本实用新型实施例中双门过渡阀腔的剖视图。
28.附图标记：
29.1、阀体；2、进气口；3、抽真空口；4、弥散管；5、真空度检测孔；6、真空度检测器；7、维修门；8、视镜窗；9、第一转动轴；10、第二转动轴；11、进口端；12、出口端；13、过渡腔；14、气缸；15、连杆；16、摆动杆；
30.100、第一阀门驱动机构；200、第二阀门驱动机构；300、第三阀门驱动机构；400、第四阀门驱动机构。
具体实施方式
31.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新
型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
32.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
33.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
34.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
35.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
36.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
37.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
38.薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称hit或 hjt或shj太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，其结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，特别是双面的异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。为获得更高组件功率以降低单位成本，光伏企业纷纷发布规格或边长为18xmm(例如180mm、 182mm或188mm)以及210mm等大尺寸硅片(简称“大硅片”)，当采用大硅片制作异质结太阳能电池时，其核心制造工艺包括：利用化学气相沉积(cvd)工艺在表面织构化后的n型晶体硅的一面上沉积很薄的i型本征非晶硅薄膜和p型非晶硅薄膜，并在晶体硅的另一面沉积薄的i型本征非晶硅薄膜和n型非晶硅薄膜，两面的非晶硅薄膜制作可同步进行也可分步进行；再在电池的两面沉积透明氧化物导电(ito)薄膜，
然后在ito薄膜上制作金属电极。载板上的硅片与特殊气体喷淋管和热源的距离，是薄膜沉积工艺的重要参数之一。
39.随着工艺的不断改进和对设备的要求越来越高，在两种工艺腔体之间需要一个过渡的腔体成为必须的要求，前后两种腔体由于所作的工艺不同，如何减少前后两种工艺彼此的气源污染，以及让硅片符合前后工艺的温度成为了需要解决的问题。
40.为了可以避免硅片在前后工艺腔搬运的过程中发生气源污染，还可以调节硅片的温度以满足工艺要求，本实施例提供一种双门过渡阀腔，以下结合图1 至图4对本实施例的具体内容进行详细描述。
41.如图1至图3所示，双门过渡阀腔包括阀体1、第一密封阀门、第二密封阀门和抽真空设备。其中，阀体1包括进口端11、出口端12和连通进口端11 及出口端12的过渡腔13。在本实施例中，进口端11和出口端12相对设置，阀体1内设有过渡腔13，进口端11和出口端12均与过渡腔13连通。进气口2 设置于阀体1的顶部且与过渡腔13连通，用于引入保护气体。抽真空口3设置于阀体1的底部且与过渡腔13连通。第一密封阀门设置于阀体1，用于封堵进口端11。第二密封阀门设置于阀体1，用于封堵出口端12。抽真空设备与抽真空口3连通。在本实施例中，保护气体可以为氮气或其他惰性气体。
42.具体地，如图1所示，在进口端11和出口端12均设置有连接法兰部，连接法兰部上周向设置有多个连接孔，便于与前后工艺腔装配。
43.简而言之，本实用新型所提供的双门过渡阀腔，在阀体1上相对设置有进口端11和出口端12，进口端11用于与前工艺腔连通，出口端12用于与后工艺腔连通，在进口端11和出口端12分别转动设置有第一密封阀门和第二密封阀门，阀体1的顶部和底部分别设置进气口2和抽真空口3，抽真空设备使阀体1的过渡腔13内始终满足一定的真空度；在实际使用中，硅片经过前工艺腔处理完毕后，打开第一密封阀门使硅片进入过渡腔13，关闭第一密封阀门，将氮气通过进气口2进入过渡腔13，由于抽真空设备持续工作，将过渡腔13内的气体从抽真空口3排出，然后打开第二密封阀门，将硅片搬运到后工艺腔，避免硅片在前后工艺腔搬运的过程中发生气源污染；由于氮气在过渡腔13内吹过硅片，会带走硅片的部分热量，可以调节硅片的温度以满足后工艺腔对硅片温度的要求。
44.进一步地，如图4所示，双门过渡阀腔还包括设置于阀体1内的弥散管4，弥散管4的一端与进气口2连通，且弥散管4的侧壁上均匀设置有多个气孔。通过在弥散管4上设置多个气孔，便于将来自进气口2的氮气引入过渡腔13，并使氮气在过渡腔13内均匀的扩散。
45.进一步地，进气口2设置有多个，弥散管4设置有多个，且多个进气口2 与多个弥散管4一一对应设置。具体地，在本实施例中，在阀体1的顶部设置有两个进气口2，在阀体1内对应设置有两个弥散管4。
46.在本实施例中，弥散管4沿直线向下延伸设置，氮气通过弥散管4可以快速向下流动。
47.在其他实施例中，弥散管4可以是螺旋向下延伸设置；弥散管4也可以是蛇形向下延伸设置。
48.进一步地，如图2所示，阀体1的顶部设置有真空度检测孔5，真空度检测孔5与过渡腔13连通，且真空度检测器6安装于真空度检测孔5上。通过将真空度检测器6安装在真空度检测孔5内，便于随时检测阀体1的过渡腔13内的真空度。
49.进一步地，如图1所示，阀体1的侧壁贯通开设有维修口，维修口处设置有维修门7，维修门7能够相对阀体1打开或闭合。在本实施例中，过渡腔13 内还设置有举升机构，用于搬运硅片，当举升机构发生故障时，只需打开维修门7即可对过渡腔13内的机械结构进行维修。
50.进一步地，如图1所示，维修门7上设置有视镜窗8。在正常检查阶段，维修人员可以通过视镜窗8观察来判断过渡腔13内的机械运动结构是否正常工作，无需开启维修门7。
51.进一步地，如图1和图2所示，双门过渡阀腔还包括设置于阀体1顶部的第一阀门驱动机构100和第二阀门驱动机构200，以及设置于阀体1底部的第三阀门驱动机构300和第四阀门驱动机构400，第一阀门驱动机构100和第三阀门驱动机构300均与第一密封阀门的第一转动轴9传动连接，第二阀门驱动机构200和第四阀门驱动机构400均与第二密封阀门的第二转动轴10传动连接。在本实施中，第一阀门驱动机构100、第二阀门驱动机构200、第三阀门驱动机构300和第四阀门驱动机构400的机械结构相同，均包括气缸14、连杆15 和摆动杆16。其中气缸14安装在阀体1上，气缸14的活塞与15的第一端铰接，连杆15的另一端与摆动杆16铰接，摆动杆16的一端与转动轴连接。
52.综上，本实施例中的双门过渡阀腔安装到前工艺腔和后工艺腔时的工作流程为：过渡腔13底部相连的抽真空设备一直抽真空，来保证腔内的真空度和前后工艺腔的真空度一致，避免过渡腔13内存在污染前后工艺腔的气体；当前工艺腔的工艺结束后，双门过渡阀腔开始通氮气，同时抽真空设备并不停止工作，使进气口2和抽真空口3形成一个流体运动，第一密封阀门通过阀门驱动机构打开，载板和硅片通过该双阀腔内部，第一密封阀门关闭，完成氮气清扫和降温处理后，第二密封阀门打开，待载板和硅片进入到后工艺腔之后，第二双阀门关闭；此时双门过渡阀腔停止进氮气，抽真空设备将过渡腔13内的真空度抽到和前后工艺腔一样，重复以上的动作。
53.注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所说的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。