一种光路调光治具、光学系统和激光加工装置的制作方法

技术特征：
1.一种光路调光治具，其特征在于，包括：固定部(100)，内部设有通道(110)；入射光部(200)，设于所述通道(110)的第一端，设有入射光孔(210)；出射光部(300)，设于所述通道(110)的第二端，设有出射光孔(310)，且所述出射光孔(310)和所述入射光孔(210)同轴设置。2.根据权利要求1所述的光路调光治具，其特征在于：所述入射光部(200)与所述固定部(100)为可拆卸连接。3.根据权利要求1所述的光路调光治具，其特征在于：所述出射光部(300)与所述固定部(100)为可拆卸连接。4.根据权利要求1至3任一项所述的光路调光治具，其特征在于：所述入射光部(200)还设有至少两个形状相同的第一通孔(220)，至少两个所述第一通孔(220)以所述入射光孔(210)为中心点且均匀分布于所述入射光部(200)上。5.根据权利要求4所述的光路调光治具，其特征在于：所述第一通孔(220)的形状为半圆形、扇形、矩形或圆形中的一种。6.根据权利要求1至3任一项所述的光路调光治具，其特征在于：所述固定部(100)的侧壁上设有至少两个第二通孔(120)，所述第二通孔(120)与所述通道(110)连通。7.根据权利要求6所述的光路调光治具，其特征在于：至少两个所述第二通孔(120)均匀分布于所述固定部(100)的侧壁上。8.根据权利要求1至3任一项所述的光路调光治具，其特征在于：所述固定部(100)的第一端还设有连接部(130)，所述连接部(130)用于与光学系统或激光加工装置连接。9.一种光学系统，其特征在于，包括：如权利要求1至8任一项所述的光路调光治具；安装座，设有位于成像光路上的安装部，所述安装部用于安装所述的光路调光治具；第一驱动件，用于驱动所述安装座移动。10.一种激光加工装置，其特征在于，包括：如权利要求1至8任一项所述的光路调光治具；安装座，设有位于激光光路上的安装部，所述安装部用于安装所述的光路调光治具；第一驱动件，用于驱动所述安装座移动。

技术总结
本实用新型涉及光路校准技术领域，公开了一种光路调光治具、光学系统和激光加工装置，能够提升准直度的精度，且可以提升准直度的调试效率。本实用新型包括固定部、入射光部和出射光部；所述入射光部设于所述通道的第一端，所述入射光部设有入射光孔；所述出射光部设于所述通道的第二端，所述出射光部设有出射光孔，且所述出射光孔和所述入射光孔同轴设置。本实用新型在调试成像光路或激光光路时，成像光路或激光光路若能够同时穿过入射光孔和出射光孔，同时观察穿过出射光孔之后的光路形状，则可以判断对应的光路准直度是否调试好，本实用新型结构简单、结构小、便于对成像光路或激光光路的准直度进行矫正，有效地提升了准直度的调试效率。直度的调试效率。直度的调试效率。


技术研发人员：郭良
受保护的技术使用者：珠海东辉半导体装备有限公司
技术研发日：2022.11.07
技术公布日：2023/2/23