真空吸力检验设备的制作方法

1.本实用新型涉及检验设备技术领域，特别涉及真空吸力检验设备。


背景技术：

2.目前在ic芯片的生产加工过程中，常使用真空吸持治具进行ic芯片的定位，为了保持对ic芯片的高质量定位，往往需要对真空吸持治具的通气进行验证，但现今常用的验证方式都是采用目测或者气枪通气的方式进行验证，这样的验证方式只能初步验证是否通气，无法检验真空吸力的大小以及ic芯片安装后的气密性，为此我们提出真空吸力检验设备解决上述问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供真空吸力检验设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：真空吸力检验设备，包括：
5.设备机柜，用于设备的安装定位；
6.吸持定位机构，设置于设备机柜的上方，用于ic芯片的定位；
7.afc空气过滤器，用于气体过滤及气压调节；
8.真空发生器，用于气体压强的检测数显。
9.优选的，所述吸持定位机构包括安装架、吸头座和吸持模板，所述安装架固定设置于设备机柜的顶端，所述吸头座固定安装于安装架的顶端，所述吸持模板设置于吸头座的顶端。
10.优选的，所述afc空气过滤器固定安装于设备机柜的一侧，所述真空发生器固定嵌设于设备机柜顶端的边侧，所述afc空气过滤器、真空发生器、吸头座和吸持模板相互连通设置。
11.优选的，所述吸持模板包括安装座、两个吸嘴和两个弹性卡件，两个所述吸嘴对称固定穿插设置于安装座的顶端，两个所述弹性卡件对称固定设置于安装座的两侧，且两个所述弹性卡件与吸头座的两侧活动卡接。
12.优选的，所述设备机柜底端的边角处均固定设置有用于设备机柜支撑的支撑腿，所述设备机柜位于afc空气过滤器的同一侧分别设置有电源线插孔和控制开关，所述电源线插孔与控制开关电性连接，所述设备机柜的正面设置有方便设备机柜内部检修的机柜端盖。
13.优选的，所述支撑腿的底端设置有支撑底盘，所述支撑底盘的中部穿插设置有支撑螺杆，所述支撑螺杆的底部且位于支撑底盘顶端和内侧顶部位置处螺纹套设有两个安装螺母，所述支撑螺杆外部的顶部与支撑腿底端开设的内螺纹孔螺纹穿插连接。
14.本实用新型的技术效果和优点：
15.(1)本实用新型通过设备机柜上afc空气过滤器和真空发生器的设置，能够对吸头
座上的吸持模板处的吸力大小以及气密性进行检验，检验精度高，操作简单方便，从而达到提高对ic芯片加工的质量；
16.(2)本实用新型利用由安装座、吸嘴和弹性卡件组成的吸持模板，不仅能够方便对ic芯片进行吸持定位，同时方便在吸头座上的拆装，从而提高了吸持模板使用的便捷性；
17.(3)本实用新型利用支撑腿底端设置的支撑底盘、安装螺母和支撑螺杆，能够实现对四个支撑腿高度的精确调整，使得设备机柜能够保持在放置面上的水平放置，从而进一步提高了对ic芯片的加工精度。
附图说明
18.图1为本实用新型整体结构示意图。
19.图2为本实用新型吸持模板立体结构示意图。
20.图3为本实用新型图1的a处局部放大结构示意图。
21.图中：1、设备机柜；11、支撑腿；12、支撑底盘；13、安装螺母；14、支撑螺杆；15、机柜端盖；16、真空发生器；2、安装架；3、吸头座；4、吸持模板；41、安装座；42、吸嘴；43、弹性卡件；5、afc空气过滤器；6、电源线插孔；7、控制开关。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.本实用新型提供了如图1-3所示的真空吸力检验设备，包括：
24.设备机柜1，用于设备的安装定位，设备机柜1的内部设置有控制器模块，用于afc空气过滤器5、真空发生器16电源线插孔6和控制开关7之间的电性连接及控制，设备机柜1底端的边角处均固定设置有用于设备机柜1支撑的支撑腿11，用于设备机柜1的支撑，保持设备机柜1的稳定放置，设备机柜1位于afc空气过滤器5的同一侧分别设置有电源线插孔6和控制开关7，电源线插孔6与控制开关7电性连接，通过将电源插头一端插入到电源线插孔6内，再将另一端插入到电源插座上，对设备机柜1进行通电，以便于器上的电器正常使用，同时方便电源插头的拆装收纳，设备机柜1的正面设置有方便设备机柜1内部检修的机柜端盖15，方便对设备机柜1内部进行检修；
25.吸持定位机构，设置于设备机柜1的上方，用于ic芯片的定位，吸持定位机构包括安装架2、吸头座3和吸持模板4，安装架2固定设置于设备机柜1的顶端，吸头座3固定安装于安装架2的顶端，吸持模板4设置于吸头座3的顶端，吸头座3用于吸持模板4的定位及连通，方便吸持模板4的放置；
26.afc空气过滤器5，用于气体过滤及气压调节，afc空气过滤器5固定安装于设备机柜1的一侧，能够调节气体的压强，同时对气体过滤，避免污染ic芯片；
27.真空发生器16，用于气体压强的检测数显，真空发生器16固定嵌设于设备机柜1顶端的边侧，afc空气过滤器5、真空发生器16、吸头座3和吸持模板4相互连通设置，方便检验人员了解吸持模板4位置的压强。
28.吸持模板4包括安装座41、两个吸嘴42和两个弹性卡件43，两个吸嘴42对称固定穿插设置于安装座41的顶端，两个弹性卡件43对称固定设置于安装座41的两侧，且两个弹性卡件43与吸头座3的两侧活动卡接，利用弹性卡件43的弹性形变特性，使得吸持模板4可快速稳定的安装在吸头座3上；
29.支撑腿11的底端设置有支撑底盘12，支撑底盘12的中部穿插设置有支撑螺杆14，支撑螺杆14的底部且位于支撑底盘12顶端和内侧顶部位置处螺纹套设有两个安装螺母13，支撑螺杆14外部的顶部与支撑腿11底端开设的内螺纹孔螺纹穿插连接，利用两个安装螺母13对支撑底盘12在支撑螺杆14上的限位固定，方便支撑底盘12的拆装更换，同时通过支撑螺杆14的顺时针或逆时针转动，使支撑螺杆14伸入或伸出支撑腿11底端，达到对支撑腿11高度的调整，以便于适应放置面不平整时对设备机柜1水平度的调整。
30.本实用新型工作原理：将afc空气过滤器5接通外部干燥气体，同时调整afc空气过滤器5的使气体压强维持在0.8mpa，通过电源插头插入电源线插孔6内接通外部电源，打开控制开关7，然后堵住吸头座3上的气孔，初步检验吸力是否正常，再将吸持模板4上的吸嘴42与吸头座3上的气孔对齐并插入，利用弹性卡件43将安装座41固定在吸头座3上，快速完成两者之间的拼接，把对应规格的ic芯片放置在吸持模板4的吸嘴42处，查看真空发生器16的显示数值，数值大于85kpa则代表合格，记录下显示数值后取下吸持模板4，快速完成对吸持模板4处吸力大小以及气密性的检验。
31.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
32.本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制。
33.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。