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真空系统设备和方法与流程

2023-03-15 07:02:16 来源:中国专利 TAG:

1.本公开涉及一种真空系统设备和方法。本发明的方面涉及一种真空系统;一种热交换设备;一种操作真空系统的方法和一种用于控制真空系统操作的控制器。


背景技术:

2.已知为工业真空系统提供冷却块以保持真空泵的目标操作温度。目标操作温度通常被设定为适合特定的工业过程。真空泵的目标操作温度持续升高,以减少过程相关的泵故障。
3.需要高功率压缩级或主动加热来实现目标操作温度。排气导管中的气体温度必须保持与泵出口温度相似,以防止或减少过程气体的冷凝。已知将诸如氮气(n)的净化气体引入真空泵或真空泵的排气导管中,以最小化冷凝故障。随着流向泵的过程流量增加,泵在高负荷下操作时,泵功率也会增加。存在真空泵的操作温度的对应升高。真空泵配备有冷却块,以在这种情况期间保持泵温度。然而,当真空泵在低负荷下操作时,例如在空转操作状况期间,冷却块起到散热器的作用,散热器吸收热能。冷却块延迟真空泵达到目标操作温度。因此,消耗附加的功率来实现目标操作温度。
4.本发明的目的是解决与现有技术相关联的缺点中的一个或多个缺点。


技术实现要素:

5.本发明的方面和实施例提供了如所附权利要求中所要求保护的真空系统、操作真空系统的方法和控制器。
6.根据本发明的第一方面,提供了一种真空系统,包括:真空泵;以及热交换器,该热交换器用于接收热传递流体,该热传递流体包括气体;其中热交换器热联接到真空泵,并且可操作以从真空泵吸收热能。
7.热传递流体促进从真空泵散热。至少在某些实施例中,可以控制对热交换器的热传递流体的供应。因此,例如根据真空泵的一个或多个操作参数,可以控制来自真空泵的热能传递。至少在某些实施例中,真空系统的占用面积可以小于现有技术系统的占用面积。可以降低真空系统的功率消耗;和/或可以减少与真空系统的操作相关联的排放。
8.热交换器可以包括入口和出口。可以在入口与出口之间限定流动路径。在使用中,通过入口引入的热传递流体遵循流动路径,并通过出口排放。流动路径可以例如包括蛇形路径或盘绕路径或由其组成,以增加热交换表面积。热交换器可以具有一个或多个内部翅片,用于促进与热传递流体的热交换。
9.热交换器可以安装到真空泵。真空泵可以包括泵壳体。热交换器可以热联接到泵壳体。热交换器可以安装到泵壳体。热联接器可以设置在热交换器与热交换器之间以促进热传导。
10.热传递流体可以包括用于引入真空泵内的净化气体。
11.真空系统可以包括至少一个端口。热交换器可以连接到至少一个端口。例如,热交换器出口管线可以连接到该端口或每个端口。在使用中,来自热交换器的热传递流体可以被引入至少一个端口。该端口可以设置在真空泵中,以能够将热传递流体引入真空泵。该端口可以例如被配置成将热交换流体引入真空泵的中间级。该端口可以例如包括真空泵的级间端口。替代地或附加地,该端口可以设置在真空泵的排出管(或最终级)中,以能够将热传递流体引入该排出管。
12.真空系统可以包括用于加热该热传递流体的气体加热器。气体加热器可以例如设置在热交换器与该端口之间。从热交换器排放的热传递流体可以被供应到气体加热器。气体加热器可以在将净化气体引入真空泵之前执行附加的加热。
13.真空系统可以包括用于控制对热交换器的热传递流体供应的装置。例如,控制装置可以包括泵。替代地,控制装置可以包括至少一个控制阀。(一个或多个)控制阀可适于控制对热交换器的热传递流体供应。(一个或多个)控制阀可以例如包括一个或多个三通阀。也可以设想到其他类型的阀。
14.该至少一个控制阀可以任选地控制热传递流体的供应速率。替代地或附加地,可以提供限流器来控制供应速率。限流器可以是固定的或可变的。
15.该至少一个控制阀可操作以选择性地绕过热交换器。例如,可以绕过热交换器,将气体直接供应给气体加热器。
16.真空系统可以包括阀控制器,用于控制至少一个控制阀的操作。阀控制器可以包括至少一个电子处理器,该电子处理器具有用于接收指示真空泵操作状态的信号的至少一个输入端。
17.阀控制器可被配置成选择性地致动该控制阀,以降低或禁止对热交换器的热传递流体供应,从而减少从真空泵吸收热能。阀控制器可以被配置成控制该控制阀,以在真空泵的空转操作期间,例如在起动程序期间,减少散热。热交换器可以被配置成根据真空泵上的降低的负荷或低负荷来减少散热。阀控制器可以被配置成根据指示真空泵在低负荷状况下操作的信号选择性地致动该控制阀以降低对热交换器的热传递流体供应。
18.阀控制器可以被配置成选择性地致动该控制阀,以增加对热交换器的热传递流体供应,从而增加从真空泵吸收热能。阀控制器可以被配置成控制该控制阀以在高负荷操作状况期间增加散热。热交换器可以被配置成根据真空泵上增加的负荷或高负荷来增加散热。阀控制器可以被配置成根据指示真空泵在高负荷状况下操作的信号选择性地致动该控制阀以增加对热交换器的热传递流体供应。
19.气体可以在供应给气体加热器之前预热。真空系统可以被配置成在热交换器工作时减少由气体加热器执行的加热。
20.真空系统可以包括热联接到热交换器的冷却块。冷却块可操作以选择性地从热交换器吸收热能。冷却块可以被配置成接收冷却剂。冷却剂可以包括液体或由液体组成。例如,液体可以包括水。
21.冷却块可以具有用于输送冷却剂的入口和出口。液体冷却剂可以通过入口引入到冷却块中,并通过出口排放。
22.真空系统可以包括冷却块控制器,用于控制对冷却块的冷却剂供应。可以提供冷却剂控制阀来控制对冷却块的冷却剂供应。冷却块控制器可以控制冷却剂控制阀的操作。
冷却块控制器可以被配置成根据热交换器的温度大于或等于预定义温度阈值的确定来供应冷却剂。
23.热交换器和冷却块可以彼此独立地操作。例如,真空系统可以被配置为当冷却块不工作时启用热交换器。真空系统可以被配置成同时启用热交换器和冷却块。
24.根据本发明的另一方面,提供了一种用于安装到真空泵的热交换设备,该热交换组件包括:气体热交换器,该气体热交换器具有用于热联接到真空泵的第一侧;和冷却块,该冷却块用于接收液体冷却剂,该冷却块热联接到气体热交换器的第二侧。第一侧和第二侧可以是气体热交换器的相对侧。在使用中,气体热交换器设置在真空泵与冷却块之间。至少在某些实施例中,冷却块与真空泵间隔开。在使用中,冷却块可以至少部分地与真空泵热隔离。气体热交换器可以被操作以促进从真空泵散发热能。冷却块可以操作以促进从气体热交换器散发热能。气体热交换器和冷却块可以彼此独立地操作。在使用中,气体热交换器和冷却块中的一者或两者可以是工作的。例如,气体热交换器可以单独操作或者结合冷却模块操作。
25.气体热交换器可以包括气体入口和气体出口。气体入口和气体出口可以通过内部导管连接。内部导管可以例如包括蛇形通路。冷却块包括液体冷却剂入口和液体冷却剂出口。气体入口和气体出口通过内部导管连接。内部导管可以例如包括蛇形通路。
26.根据本发明的另一方面,提供了一种操作真空系统的方法,该真空系统包括真空泵和热交换器,热交换器用于从真空泵吸收热能,该热交换器被配置成接收热传递流体;其中热传递流体包括净化气体,并且该方法包括选择性地将热传递流体从热交换器供应到真空泵或供应到真空泵的排出管中。
27.该方法可包括根据真空泵的一个或多个操作参数来控制对热交换器的热传递流体供应。
28.该方法可以包括根据真空泵具有大于或等于预定阈值的操作温度的确定,将热传递流体供应到热交换器。
29.该方法可包括致动控制阀以控制对热交换器的热传递流体供应。
30.该方法可包括选择性地致动控制阀以旁通对热交换器的热传递流体供应。
31.根据本发明的另一方面,提供了一种用于控制真空系统操作的控制器,该控制器包括至少一个电子处理器和存储器,其中一组指令存储在存储器中;并且,当运行时,指令使控制器实施本文描述的方法。
32.在本技术的范围内,很明显意图是在前面的段落中、在权利要求中和/或在下面的描述和附图中阐述的各个方面、实施例、示例和替代方案,特别是其各独立的特征,可以独立地或以任何组合的方式采用。也就是说,所有实施例和/或任何实施例的特征可以以任何方式和/或组合进行组合,除非这些特征是不兼容的。申请人保留相应地改变任何原始提交的权利要求或提交任何新权利要求的权利,包括能够修改任何原始提交的权利要求以从属于任何其它权利要求和/或并入任何其它权利要求的任何特征的权利,尽管最初没有以该方式要求保护。
附图说明
33.现在将参考附图,仅通过示例的方式描述本发明的一个或多个实施例,其中:图1示出了根据本发明第一实施例的真空系统的示意图;图2示出了用于安装到图1所示的真空系统的真空泵的热交换器的透视图;图3示出了表示图1所示的真空系统的操作的框图;图4示出了根据本发明第二实施例的真空系统的示意图;以及图5示出了用于安装到图4所示的真空系统的真空泵的热交换器的透视图。
具体实施方式
34.在本文中参照附图描述根据本发明实施例的真空系统1。
35.真空系统1包括真空泵3。真空泵3可操作以在真空室(未示出)中产生真空。真空室适于执行工业过程。在使用中,过程气体被引入真空室。真空泵3包括支撑转子轴(未示出)的泵壳体5。真空泵3可以例如在工业和高真空过程中使用。真空泵3是包括多个级的多级泵。真空泵3可以例如具有五(5)、六(6)或七(7)级。过程气体通过过程气体入口被引入这些级中的第一级;并且通过过程气体出口从这些级中最后一级排出。
36.如图1所示,真空系统1包括真空泵3、热交换器7、控制阀9和气体加热器11。热交换器7热联接到真空泵3的泵壳体5。如本文所描述,热交换器7通过操作以冷却真空泵3。本实施例中的控制阀9包括三通阀。控制阀9控制对热交换器7的热传递流体供应。热传递流体传递来自热交换器7的热能,从而有助于从真空泵3散热并提供冷却功能。在本实施例中,热交换器包括气体热交换器,并且热传递流体由气体组成。气体从主气体供应源13供应。提供热传递流体控制阀14,用于选择性地控制来自主气体供应源13的气体供应。在本实施例中,热传递流体是适用于引入真空泵3内以净化污染物的净化气体。本实施例中的净化气体是氮气(n),但是应当理解,不同的净化气体可以用于其他工业过程。热传递流体也用作净化气体并不重要。
37.图2示出了热交换器7的透视图。热交换器7包括主体部分15、用于引入热传递流体的第一入口17;和用于排放热传递流体的第一出口19。热交换器7热联接到泵壳体5。在本实施例中,热交换器7以面对面的布置紧固到泵壳体5。机械紧固件(未示出)位于主体部分15中形成的相应安装孔21中。热交换器7的主体部分15和泵壳体5可以具有互补的轮廓。例如,泵壳体5可以包括用于接触热交换器7的主体部分15的侧壁的平面部分。诸如导热凝胶的热导体可以任选地设置在泵壳体5与热交换器7之间的界面处。在变型中,热交换器7可以集成到泵壳体5中。例如,热交换器7可以形成在泵壳体5中。
38.真空系统1包括入口管线23;出口管线25和旁通管线27。入口管线23将热交换器7的第一入口17连接到控制阀9。出口管线25将热交换器7的第一出口19连接到气体加热器11。在使用中,入口管线23将热传递流体从气体供应源13供应到热交换器7;并且出口管线25将热传递流体从热交换器7输送到气体加热器11。至少一个内部导管形成在热交换器7的主体部分15中,以在第一入口17与第一出口19之间建立流动路径。该至少一个内部导管形成用于热传递流体的盘绕流动路径,以增加热交换器7的内部热交换表面积。该至少一个内部导管可以例如在热交换器7内限定蛇形流动路径。替代地或附加地,可以在热交换器7内部设置一个或多个翅片或突出部,以增加内部热交换表面积。热交换器7由导热材料例如铝
或金属合金构成。在本实施例中,热交换器7使用增材制造工艺例如三维(3d)打印而形成。替代地或附加地,热交换器7可以使用铸造和/或机械加工过程形成。
39.提供气体加热器11以在引入真空泵3之前加热净化气体。气体加热器11可以包括管线中的加热器。在本实施例中,气体加热器11是正温度系数(ptc)加热器。从热交换器7排放的热传递流体通过出口管线23被输送到气体加热器11。如上文所概述,热传递流体是用于引入真空泵3(或另一个泵)中的净化气体。在热传递流体与过程气体混合之前,该气体加热器11将热传递流体加热到预定的目标温度。热传递流体被供应到设置在真空泵3中的级间端口29。级间端口29将热传递流体引入真空泵3的中间级或最终(排出)级。如本文所描述,在热传递流体被引入气体加热器11之前,热交换器7可以预热热传递流体。热传递流体的预热可以减少由气体加热器11的能量消耗。替代地,控制阀9可以被致动以绕过热交换器7,并将热传递流体直接供应给气体加热器11。在此变型中,在热传递流体被气体加热器11加热之后,热传递流体到真空泵3(或另一个泵)的引入是不变的。
40.真空系统1包括阀控制器31,阀控制器31用于控制该控制阀9的操作。阀控制器31包括至少一个电子处理器33和存储器35。一组计算指令存储在存储器35中。当运行时,计算指令使至少一个电子处理器33执行本文描述的(一种或多种)方法。阀控制器31被配置成从真空泵控制器37接收一个或多个输入信号s1;并向控制阀9输出一个或多个控制信号s2。输入信号s1被配置成提供真空泵3的操作状态的指示。输入信号s1可以指示真空泵3的负荷。阀控制器31可以确定真空泵3在低负荷下操作(例如,空转状态)。阀控制器31可以确定真空泵3在高负荷下操作,例如当过程气体入口阀处于打开状态以向真空泵3供应过程气体时。阀控制器31被配置成根据所确定的真空泵3的操作状态来致动控制阀9。替代地或附加地,输入信号s1可以指示真空泵3的负荷状况。真空泵3的操作由真空泵控制器37以常规方式控制。应当理解,阀控制器31和真空泵控制器37可以组合成单个控制器。单个控制器可以控制真空泵3和控制阀9两者。例如,真空泵控制器37也可以被配置成根据本文描述的(一种或多种方法)方法来控制控制阀9。
41.由真空泵3的操作生成的热能传导至热交换器7。阀控制器31控制该控制阀9以控制对热交换器7的热传递流体供应,从而控制真空泵3和泵壳体5的冷却。阀控制器31向控制阀9和热传递流体控制阀14输出控制信号s2。控制阀9和热传递流体控制阀14根据控制信号s2被致动。阀控制器31被配置成当输入信号s1指示真空泵3没有操作时,将热传递流体控制阀14致动到关闭状态。阀控制器31被配置成当输入信号s1指示真空泵3在低负荷或高负荷状况下操作时,将热传递流体控制阀14致动到打开状态。热传递流体穿过形成在热交换器7中的至少一个内部导管23(在图2中示意性示出)。热传递流体从热交换器7吸收热能,并且随后从热交换器7排放。如本文所描述,在本实施例中,控制阀9包括三通阀。为了控制热交换器7的操作,控制阀9可以选择性地配置成在以下状态下操作:(i)热交换器供应(heat exchanger supply)-入口管线23被放置成与主气体供应源13流体连通,使得热传递流体被供应到热交换器7。旁通管线27关闭,从而禁止(或减少)对气体加热器11的热传递流体的直接供应。
42.(ii)热交换器旁通(heat exchanger bypass)-旁通管线27被放置成与主气体供应13流体连通,使得热传递流体被直接供应到气体加热器11。入口管线23关闭,从而禁止(或减少)对热交换器7的热传递流体供应。
43.阀控制器31被配置成当输入信号s1指示真空泵3在低负荷下操作时,将控制阀9致动到热交换器旁通状态。热传递流体绕过热交换器7,并且被直接供应到气体加热器11。这使真空泵3能够在空转或低负荷状况下更快地实现目标操作温度,因为从泵壳体5的热能散发减少了。阀控制器31被配置成当输入信号s1指示真空泵3在高负荷状况下操作时,将控制阀9致动到热交换器供应状态。控制阀9至少部分地将热交换流体转向到热交换器7,以补偿由于高负荷引起的泵温度的升高。热交换器7在保持或降低真空泵3的温度方面是有效的。热交换流体被热交换器7预热,并被供应给气体加热器11。
44.现在将参照图3所示的第一框图100描述真空系统1的操作。真空系统1被启用(框105)。真空泵3最初不操作,并且阀控制器31将热传递流体控制阀14致动(或保持)在关闭状态(框110)。禁止对热交换器7和气体加热器11的热传递流体供应。真空泵控制器37启用真空泵3(框115)。真空泵3在空转、低负荷状况下操作。阀控制器31将传递流体控制阀14致动到打开状态。阀控制器31将控制阀9致动至热交换器旁通状态(框120)。旁通管线27打开,使得热传递流体绕过热交换器7。在这种配置中,热交换器7提供对真空泵3的有限冷却。真空泵3达到目标操作温度(框125)。过程气体入口阀被致动到打开状态,并且过程气体被供应到真空泵3。真空泵控制器37输出第一控制信号s1,以指示真空泵3在高负荷状况下操作(框130)。阀控制器31将控制阀9致动至热交换器供应状态(框135)。入口管线23打开,使得热传递流体被供应到热交换器7。在这种配置中,热交换器7提供真空泵3的有效冷却。热传递流体被热交换器7预热,然后被供应给气体加热器11。气体加热器11可以提供对热传递流体的受控加热,以用于引入真空泵3并与过程气体混合。真空泵控制器37关闭过程气体供应阀,以禁止对真空泵3的过程气体供应。第一控制信号s1由真空泵控制器37输出,以指示真空泵3在低负荷状况下操作。真空泵控制器37停用真空泵3(框140)。阀控制器31将传递流体控制阀14致动到关闭状态(框143)。真空系统1被停用(框150)。
45.至少在某些实施例中,真空系统1可以提供优于现有技术布置的优点。通过绕过热交换器7,可以减少热能从真空泵3(到热交换器7)的传导。结果,在某些实施例中,可以降低真空泵3的功率消耗。在现有技术的布置中,冷却器块可以安装到真空泵3的泵壳体5上。冷却器块使用液体冷却剂,通常是水。至少在某些实施例中,本文描述的真空系统1可能需要较少的水来冷却真空泵3。这也可以减少冷却已被加热的冷却剂(水)的需求,从而减少在再循环之前操作冷却器来降低已被加热的冷却剂的温度的需要。至少在某些实施例中,热交换器7可以在尺寸上小于冷却块(并且潜在地也具有比冷却块低的质量),从而减小真空泵3的占用面积。由真空泵3生成的多余热量可以用来加热净化气体。这可以降低气体加热器11的功率消耗。
46.阀控制器31在本文被描述为根据从真空泵控制器37接收的输入信号s1来控制该控制阀9。在变型中,输入信号s1可以包括指示真空泵3的操作温度的温度信号或由该温度信号组成。温度信号可以例如通过一个或多个温度传感器来测量;或者可以基于真空泵3的一个或多个操作参数来建模。
47.现在将参照图4描述根据本发明另一实施例的真空系统1。真空系统1是上述实施例的发展,并且这里的描述集中在不同之处。相似的附图标记用于相似的部件。
48.真空系统1包括真空泵3,真空泵3可操作以在真空室中产生真空,用于执行工业过程。过程气体可以被引入真空室中。真空泵3包括支撑在泵壳体5中的转子轴(未示出)。真空
系统1包括真空泵3、热交换器7、控制阀9和气体加热器11。热交换器7、控制阀9和气体加热器11对应于上述实施例中的相同部件。这些部件的操作基本上没有变化。
49.真空系统1还包括冷却块39。液体冷却剂被供应到冷却块39以提供冷却。冷却块39热联接到热交换器7。在本实施例中,冷却块39以面对面的布置安装到热交换器7。如图4所示,冷却块39安装在热交换器7的外表面,与泵壳体5间隔开。因此,热交换器7设置在泵壳体5与冷却块39之间。冷却块39可以例如具有与形成在热交换器7中的安装孔21对准的安装孔。机械紧固件可以将热交换器7和冷却块39紧固到泵壳体5上。在变型中,热交换器7和冷却块39可以一体形成。
50.冷却块39包括第二入口41和第二出口43。冷却剂控制阀45被提供用于控制对第二入口41的液体冷却剂供应。冷却剂控制阀45被选择性地致动,以控制从热交换器7吸收热能。液体冷却剂通过第二出口43排放。从第二出口43排放的冷却剂可以被供应到制冷机(未示出)用于冷却,然后通过冷却块39再循环。
51.真空系统1包括阀控制器31,阀控制器31被配置成控制冷却块39。在本实施例中,阀控制器31控制冷却剂控制阀45的操作,以控制对冷却块39的冷却剂供应。如图4所示,阀控制器31输出泵控制信号s3来控制冷却剂控制阀45的操作。在变型中,阀控制器31可以选择性地打开和关闭控制阀,以控制对冷却块39的冷却剂供应。阀控制器31可以根据真空泵3和/或热交换器7的操作温度来控制冷却剂控制阀45的操作。真空泵3和/或热交换器7的操作温度可以例如通过一个或多个温度传感器来测量;或者可以根据真空泵3的一个或多个操作参数来建模。阀控制器31可以被配置成根据真空泵3和/或热交换器7的操作温度大于或等于预定温度阈值的确定来控制冷却剂控制阀45以向冷却块供应冷却剂。当真空泵3的工作负荷使得温度超过(或预期超过)热交换器7的能力时,可以部署冷却块39。
52.现在将参照图6所示的第二框图200描述根据本实施例的真空系统1的操作。真空系统1被启用(框205)。真空泵3最初不操作。阀控制器31将热传递流体控制阀14致动(或保持)到关闭状态(框210)。禁止对热交换器7和气体加热器11的热传递流体供应。禁止对冷却块39的冷却剂供应(框215)。真空泵控制器37启用真空泵3(框220)。真空泵3在空转、低负荷状况下操作。阀控制器31将热传递流体控制阀14致动到打开状态,并将控制阀9致动到热交换器旁通状态(框225)。旁通管线27打开,使得热传递流体绕过热交换器7。在这种配置中,热交换器7提供对真空泵3的有限冷却。真空泵3达到目标操作温度(框230)。过程气体入口阀被致动到打开状态,并且过程气体被供应到真空泵3。真空泵3在高负荷状态下操作(框235)。阀控制器31将控制阀9致动至热交换器供应状态(框240)。入口管线23打开,使得热传递流体被供应到热交换器7。阀控制器31确定真空泵3的操作温度大于预定义的操作阈值(框245)。阀控制器31确定附加的冷却适合于真空泵3。阀控制器31启用冷却剂控制阀45以向冷却块39供应冷却剂(框250)。例如,当真空泵3的温度降低到低于预定义操作阈值时,阀控制器31停用冷却剂控制阀45(框255)。真空泵控制器37关闭过程气体供应阀,以禁止对真空泵3的过程气体供应。第一控制信号s1由真空泵控制器37输出,以指示真空泵3在低负荷状况下操作。真空泵控制器37停用真空泵3(框260)。阀控制器31将控制阀9致动到关闭状态(框265)。真空系统1被停用(框270)。
53.应当理解,在不脱离本技术的范围的情况下,可以对本发明进行各种改变和修改。
54.第一框图(100)标记
105启用真空系统。110禁止热传递流体供应。115真空泵在低负荷状况下操作。120禁止热传递流体供应,或绕过热交换器。125真空泵达到目标操作温度。130真空泵在高负荷状况下操作。135向热交换器供应热传递流体。140停用真空泵。143禁止热传递流体供应。150停用真空系统。
55.第二框图(200)标记205启用真空系统。210禁止热传递流体供应。215禁止冷却剂供应。220真空泵在低负荷状况下操作。225禁止热传递流体供应,或者绕过热交换器。230真空泵达到目标操作温度。235真空泵在高负荷状况下操作。240向热交换器供应热传递流体。243真空泵温度超过阈值。250向冷却块供应冷却剂以提供附加冷却。255禁止对冷却块的冷却剂供应。260停用真空泵。265禁止热传递流体供应。270停用真空系统。
56.附图标记1真空系统3真空泵5泵壳体7热交换器(气体热交换器)9控制阀11气体加热器13气体供应源14热传递气体控制阀15主体部分17第一入口19第一出口21安装孔23入口管线
25出口管线27旁通管线29端口31阀控制器33处理器35存储器37真空泵控制器39冷却块41第二入口43第二出口45冷却剂控制阀
再多了解一些

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