一种激光干涉仪的制作方法

1.本技术涉及测量装置的领域，尤其是涉及一种激光干涉仪。


背景技术：

2.激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。自激光干涉仪投入市场，随即受到了相关行业特别是精密零件制造行业的重视，其主要在：线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。随着激光干涉仪测量技术的不断提高，测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛，特别是在测量零件精密尺寸方面用途最为广泛。
3.现有的激光干涉仪在使用的过程中激光干涉仪主体通过三脚架进行支撑固定。激光干涉仪主体在通过三脚架支撑固定后，需要对激光干涉仪主体的俯仰角度进行调节，现有的调节方式多是工作人员直接手动掰动激光干涉仪主体进行俯仰角度调节，该种调节方式不方便对调整量进行精准掌控，容易出现调整过度或调整不到位的情况。


技术实现要素：

4.为了能够精准的对激光干涉仪的俯仰角度进行调节，本技术提供一种激光干涉仪。
5.本技术提供的一种激光干涉仪采用如下的技术方案：一种激光干涉仪，包括有干涉仪主体以及位于干涉仪主体下方的三脚支架，所述三脚支架与干涉仪主体之间设置有用于调节干涉仪主体俯仰角度的俯仰角度调节机构，所述俯仰角度调节机构包括有位于三脚支架顶端的底座，所述干涉仪主体的尾部铰接在所述底座的顶端表面，所述底座的顶端表面设置有转动环，所述转动环的顶端表面为环形上坡面，所述转动环将干涉仪主体与所述底座之间的铰接处围在内部，所述干涉仪主体的底端与转动环的顶端表面相抵接，所述底座上设置有控制所述转动环进行转动的驱动组件，所述转动环转动时，所述干涉仪主体进行俯仰摆动。
6.通过采用上述技术方案，由于转动环的顶端表面为环形上坡面，当驱动组件带动转动环进行转动的时候，干涉仪主体的底端能够与转动环顶端表面的不同高度位置相抵接，随着转动环的转动能够带动干涉仪主体进行俯仰摆动，以实现干涉仪主体进行俯仰角度的微调。
7.同时通过控制转动环在底座的顶端表面转动来带动干涉仪主体的俯仰角度调节，能够增加干涉仪主体俯仰摆动的准确性，且通过将转动环的顶端表面设计为环形上坡面，能够将干涉仪主体与转动环的相对位置停留在任意位置处，进一步增加干涉仪主体俯仰角度微调时的精准度。
8.可选的，所述底座的内部设置有中空的空腔，所述驱动组件包括竖向设置且转动连接在所述空腔内的转动轴，所述转动轴上设置有蜗轮，所述驱动组件还包括横向转动连接在所述空腔内的蜗杆，所述蜗杆与所述蜗轮相啮合，所述蜗杆的其中一端伸至底座的外侧，所述转动轴的顶端伸出至底座的顶端端面上方，所述转动轴的顶端与所述转动环之间
设置有传动机构，所述转动轴进行转动的时候，通过所述传动机构从而带动所述转动轴转动。
9.通过采用上述技术方案，通过控制蜗杆进行转动，使蜗杆带动蜗轮，并同时带动转动轴在空腔内进行转动，当取消对蜗杆施加的外力时，蜗杆与蜗轮之间的相对位置能够进行锁定。
10.可选的，所述传动机构包括有固定在转动环内侧的内齿圈、固定在转动轴上的主动齿轮以及位于主动齿轮与内齿圈之间的传动齿轮，所述传动齿轮与所述内齿圈以及主动齿轮相啮合。
11.通过采用上述技术方案，通过内齿圈、主动齿轮以及传动齿轮的配合，能够稳定的带动转动环进行转动，从而达到精准控制转动环转动的目的。
12.可选的，所述底座与三脚支架之间设置有xy向调节机构，所述xy向调节机构包括沿着x轴方向设置的x向导轨以及沿着y轴方向设置的y向导轨，所述y向导轨滑动连接在所述x向导轨上，所述x向导轨上设置有驱动y向导轨沿着x向方向进行移动的第一驱动机构，所述底座滑动连接在所述y向导轨上，所述y向导轨上设置有驱动所述底座在y向导轨上沿着y向方向进行移动的第二驱动机构。
13.通过采用上述技术方案，对精密配件进行测量的时候，能够对干涉仪主体的x轴位置以及y轴位置进行微调，从而使干涉仪主体与待测量的精密配件之间的相对位置更加的精准。
14.可选的，所述第一驱动机构包括有回转连接在所述x向导轨上的第一驱动丝杠，所述第一驱动丝杠的轴向方向沿着x向设置，所述第一驱动丝杠与所述y向导轨之间螺纹相连。
15.通过采用上述技术方案，通过第一驱动丝杠带动y向导轨在x向导轨上进行移动，能够精准的控制y向导轨在x向导轨上所处的位置。
16.可选的，所述第二驱动机构包括有回转连接在所述y向导轨上的第二驱动丝杠，所述第二驱动丝杠的轴向方向沿着y向设置，所述第二驱动丝杠与所述底座之间螺纹相连。
17.通过采用上述技术方案，通过第二驱动丝杠带动底座在y向导轨上进行移动，能够精准的控制底座在y向导轨上所处的位置。
18.可选的，所述干涉仪主体的底端设置有滚轮，所述滚轮抵接在所述转动环的顶端表面上。
19.通过采用上述技术方案，能够减少干涉仪主体与转动环之间的摩擦力，使干涉仪主体在调节的时候减少磨损。
20.可选的，所述干涉仪主体上设置有气泡水平仪。
21.通过采用上述技术方案，当需要将干涉仪主体调节至水平状态时，气泡水平仪能够准确反应干涉仪主体是否处于水平状态。
22.可选的，所述转动环可拆卸连接在所述底座上。
23.通过采用上述技术方案，当转动环发生损坏需要更坏或者需要更换不同高度的转动环的时候，能够将转动环从底座上拆卸下来进行更换。
24.可选的，所述转动环的底端设置有分别向内侧以及外侧伸出的凸缘，所述转动环的外侧以及内侧均设置有沿着转动环的圆周方向排列设置的多个压块，所述压块通过螺栓
固定在底座上，位于转动环外侧的压块抵压在转动环外侧的凸缘的顶端表面上，位于转动环内侧的压块抵压在转动环内侧的凸缘的顶端表面上。
25.通过采用上述技术方案，通过压块将转动环内侧和外侧的凸缘抵压在底座的顶端表面上，在转动环转动的时候，转动环能够贴合在底座的表面进行转动。当需要将转动环拆卸下来的时候，只需要将压块从底座上拆卸下来，即可将转动环从底座上拆下。
26.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：1.通过控制转动环在底座的顶端表面转动，随着转动环的转动从而推动干涉仪主体进行俯仰角度的调节，同时能够增加干涉仪主体俯仰摆动的准确性，且通过将转动环的顶端表面设计为环形上坡面，能够将干涉仪主体与转动环的相对位置停留在任意位置处，进一步增加干涉仪主体俯仰角度微调时的精准度；2.对精密配件进行测量的时候，能够对干涉仪主体的x轴位置以及y轴位置进行微调，从而使干涉仪主体与待测量的精密配件之间的相对位置更加的精准。
附图说明
27.图1是本技术实施例一的激光干涉仪的结构示意图；图2是本技术实施例的干涉仪主体与俯仰角度调节结构的连接结构示意图；图3是本技术实施例中的俯仰角度调节机构的结构示意图；图4是本技术实施例的底座的内部结构示意图；图5是本技术实施例二的激光干涉仪的结构示意图；图6是本技术实施例中的xy向调节机构部位的结构示意图。
28.附图标记说明：1、干涉仪主体；11、延伸部；12、滚轮；2、三脚支架；3、俯仰角度调节机构；31、底座；311、空腔；32、转动环；321、内凸缘；322、外凸缘；33、压块；34、内齿圈；35、转动轴；36、主动齿轮；37、传动齿轮；38、蜗轮；39、蜗杆；391、旋帽；4、xy向调节机构；41、x向导轨；42、y向导轨；43、第一驱动机构；431、第一驱动丝杠；432、第一拧帽；44、第二驱动机构；441、第二驱动丝杠；442、第二拧帽；5、气泡水平仪。
具体实施方式
29.以下结合附图1-6对本技术作进一步详细说明。
30.实施例一本技术实施例公开了一种激光干涉仪。
31.参照图1，激光干涉仪包括有干涉仪主体1以及位于干涉仪主体1下方用于对干涉仪主体1进行支撑的三脚支架2。在干涉仪主体1以及三脚支架2之间还设置有用于调节干涉仪主体1的仰俯角度的俯仰角度调节机构，俯仰角度调节机构固定在三脚支架2上，干涉仪主体1铰接在俯仰角度调节机构上。
32.参照图2、图3，俯仰角度调节机构包括固定在三脚支架2顶端的底座31，干涉仪主体1的尾端铰接在底座31的顶端端面上。在底座31的顶端端面上转动连接有转动环32，转动环32的轴线垂直于底座31的顶端端面。转动环32能够在底座31的顶端表面以自身的轴线为轴进行回转。转动环32位于干涉仪主体1的下方并将干涉仪主体1与底座31之间的铰接位置围在内部。
33.参照图3、图4，转动环32的顶端表面为围绕一周的环形上坡面。在干涉仪主体1的底端表面设置有向下伸出的延伸部11，延伸部11与干涉仪主体1一体成型，延伸部11与转动环32的顶端表面上下相对。延伸部11的底端转动连接有滚轮12，滚轮12抵接在转动环32的顶端表面。
34.当转动环32进行转动的时候，由于转动环32的顶端表面为环形上坡面，当干涉仪主体1上的滚轮12位于转动环32顶端表面的最低位置处，随着转动环32的转动，滚轮12沿着转动环32的顶端表面移动至转动环32顶端表面的最高处时，干涉仪主体1则向上转动。当滚轮12自转动环32的顶端表面的最高处向最低处移动时，则干涉仪主体1向下转动。
35.转动环32底端内侧设置有与转动环32一体成型的环形的内凸缘321，内凸缘321与转动环32同轴设置。转动环32底端外侧设置有与转动环32一体成型的环形的外凸缘322，外凸缘322与转动环32同样同轴设置。在转动环32的外侧以及内侧均设置有多个沿着转动环32的圆周方向间隔排列设置的多个压块33，压块33通过螺栓固定在底座31上。位于转动环32外侧的压块33抵压在外凸缘322的顶端表面上，位于转动环32内侧的压块33抵压在内凸缘321的顶端表面上。转动环32能够在位于转动环32内侧和外侧的压块33之间进行转动。
36.通过压块33将转动环32安装到底座31的顶端端面上，当将压块33从底座31上取下的时候，能够对转动环32进行拆卸、更换。
37.在转动环32的内侧表面还设置有转动环同轴设置的内齿圈34，内齿圈34固定在转动环32上或者与转动环32一体加工而成。
38.在底座31的内部设置有中空的空腔311，在空腔311的内部设置有竖向设置且转动连接在空腔311内部的转动轴35，转动轴35的顶端贯穿底座31的顶端表面从而露出。在转动轴35的顶端固定有与转动轴35同轴设置的主动齿轮36。在主动齿轮36与内齿圈34之间设置有传动齿轮37，传动齿轮37转动连接在底座31的顶端表面上。传动齿轮37与内齿圈34以及主动齿轮36之间均啮合。当转动轴35进行转动的时候，通过主动齿轮36、传动齿轮37以及内齿圈34之间的配合来带动转动环32进行转动。
39.参照图4，转动轴35位于空腔311内部的轴身上固定有与转动轴35同轴设置的蜗轮38，蜗轮38固定在转动轴35上。在空腔311的内部还设置有横向设置的蜗杆39，蜗杆39转动连接在空腔311的内部。蜗杆39与蜗轮38之间相啮合。蜗杆39的其中一端自底座31的侧壁面伸出至外面。在蜗杆39伸出至底座31外面的一端固定有旋帽391。
40.本技术实施例一种激光干涉仪的实施原理为：当需要对激光干涉仪的俯仰角度进行微调的时候，手握旋帽391对蜗杆39进行转动，当蜗杆39进行转动的时候，蜗轮38带动转动轴35进行同步转动，随着转动轴35的转动，主动齿轮36、传动齿轮37以及内齿圈34之间的配合带动转动环32在底座31的顶端表面进行转动，从而推动干涉仪主体1进行向上或向下的摆动，以此来调节干涉仪主体1的俯仰角度。
41.实施例二本技术实施例公开了一种激光干涉仪。
42.参照图5、图6，实施例二与实施例一的区别在于：在底座31与三脚支架2之间还设置有xy向调节机构4，xy向调节机构4包括长度沿着x轴方向设置的x向导轨41以及长度方向沿着y轴方向设置的y向导轨42，x向导轨41位于y向导轨42的下方并与三脚支架2固定。y向导轨42滑动连接在x向导轨41上，且y向导轨42的移动方向沿着x轴方向设置。底座31滑动连
接在y向导轨42上且底座31的移动方向沿着y轴方向设置。
43.在x向导轨41上设置有带动y向导轨42在x向导轨41上进行移动的第一驱动机构43。在y向导轨42上设置有带动底座31在y向导轨42上进行移动的第二驱动机构44。
44.第一驱动机构43包括回转连接在x向导轨41上的第一驱动丝杠431，第一驱动丝杠431的轴向方向沿着x向导轨41的长度方向设置。第一驱动丝杠431贯穿y向导轨42且与y向导轨42之间螺纹相连。在第一驱动丝杠431的其中一端固定有第一拧帽432，通过第一拧帽432从而便于控制第一驱动丝杠431进行转动。
45.第二驱动机构44包括回转连接在y向导轨42上的第二驱动丝杠441，第二驱动丝杠441的轴向方向沿着y向导轨42的长度方向设置。第二驱动丝杠441贯穿底座31且与底座31之间螺纹相连。在第二驱动丝杠441的其中一端固定有第二拧帽442，通过第二拧帽442从而便于控制第二驱动丝杠441进行转动。
46.在干涉仪主体1的顶端表面固定有气泡水平仪5。
47.本技术实施例一种激光干涉仪的实施原理为：通过xy向调节机构4从而能够调节干涉仪主体1的x向以及y向位置，从而在使用激光干涉仪对精密配件进行测量的时候，能够对干涉仪主体1的位置进行x向以及y向的微调，从而达到更加的精准的对精密配件进行测量。
48.以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。