异常调制原因确定装置、异常调制原因确定方法以及异常调制原因确定程序与流程

技术特征：
1.一种异常调制原因确定装置，具备：工艺数据获取部，从存储由生产设备所具备的多个传感器持续地输出的工艺数据的存储装置中读出所述工艺数据，其中，所述生产设备进行按每个规定的处理单位对处理对象依次进行处理的分批工序和在该分批工序之后连续地对所述处理对象进行处理的连续工序；预处理部，基于所述生产设备内的所述处理对象的停留时间来将所述分批工序的完成定时的范围与所述连续工序中的所述工艺数据的输出定时建立对应；异常判定部，使用由所述预处理部建立了对应的所述分批工序中的工艺数据和所述连续工序中的工艺数据，来计算表示所述工艺数据的调制的程度的异常度；以及原因诊断部，使用因果关系信息，针对所述多个传感器所输出的工艺数据，判断所述异常判定部所计算出的异常度是否满足规定的基准，其中，所述因果关系信息定义原因和作为因所述原因产生的影响而出现的、所述多个传感器所输出的工艺数据的调制的组合。2.根据权利要求1所述的异常调制原因确定装置，其中，所述因果关系信息针对所述多个传感器所输出的工艺数据中的每个工艺数据，根据所述生产设备所进行的工序中的定时、期间或间隔来定义用于所述异常度的计算的工艺数据，所述异常判定部使用由所述预处理部建立了对应的所述工艺数据中、基于所述因果关系信息所定义的定时、期间或间隔而提取到的值来进行异常度的计算。3.根据权利要求1或2所述的异常调制原因确定装置，其中，所述异常判定部在所述连续工序中，使用将预先决定的组合中所包括的多个传感器所输出的工艺数据的值进行压缩和复原的神经网络模型，来计算与所述神经网络模型的输入输出之差相应的异常度。4.一种异常调制原因确定方法，由计算机执行如下处理：从存储由生产设备所具备的多个传感器持续地输出的工艺数据的存储装置中读出所述工艺数据，其中，所述生产设备进行按每个规定的处理单位对处理对象依次进行处理的分批工序和在该分批工序之后连续地对所述处理对象进行处理的连续工序，基于所述生产设备内的所述处理对象的停留时间来将所述分批工序的完成定时的范围与所述连续工序中的所述工艺数据的输出定时建立对应，使用建立了对应的所述分批工序中的工艺数据和所述连续工序中的工艺数据，来计算表示所述工艺数据的调制的程度的异常度，使用因果关系信息，针对所述多个传感器所输出的工艺数据，判断所计算出的异常度是否满足规定的基准，其中，所述因果关系信息定义原因和作为因所述原因产生的影响而出现的、所述多个传感器所输出的工艺数据的调制的组合。5.一种异常调制原因确定程序，使计算机执行如下处理：从存储由生产设备所具备的多个传感器持续地输出的工艺数据的存储装置中读出所述工艺数据，其中，所述生产设备进行按每个规定的处理单位对处理对象依次进行处理的分批工序和在该分批工序之后连续地对所述处理对象进行处理的连续工序，基于所述生产设备内的所述处理对象的停留时间来将所述分批工序的完成定时的范围与所述连续工序中的所述工艺数据的输出定时建立对应，
使用建立了对应的所述分批工序中的工艺数据和所述连续工序中的工艺数据，来计算表示所述工艺数据的调制的程度的异常度，使用因果关系信息，针对所述多个传感器所输出的工艺数据，判断所计算出的异常度是否满足规定的基准，其中，所述因果关系信息定义原因和作为因所述原因产生的影响而出现的、所述多个传感器所输出的工艺数据的调制的组合。

技术总结
提高生产设备中的异常调制的原因的确定性能。异常调制原因确定装置具备：工艺数据获取部，读出由生产设备所具备的多个传感器持续地输出的工艺数据，其中，该生产设备进行按每个规定的处理单位对处理对象依次进行处理的分批工序和在该分批工序之后连续地对处理对象进行处理的连续工序；预处理部，基于生产设备内的处理对象的停留时间来将分批工序的完成定时的范围与连续工序中的工艺数据的输出定时建立对应；异常判定部，使用由预处理部建立了对应的分批工序中的工艺数据和连续工序中的工艺数据来计算异常度；以及原因诊断部，针对多个传感器所输出的工艺数据，判断异常判定部所计算出的异常度是否满足规定的基准。定部所计算出的异常度是否满足规定的基准。定部所计算出的异常度是否满足规定的基准。


技术研发人员：冈洋辉 山野幸一 松本博治
受保护的技术使用者：株式会社大赛璐
技术研发日：2021.05.25
技术公布日：2023/2/3