DRC测试图形生成方法、装置、电子设备及存储介质与流程

drc测试图形生成方法、装置、电子设备及存储介质
技术领域
1.本发明涉及半导体集成电路领域，尤其涉及drc测试图形生成方法、装置、电子设备及存储介质。


背景技术：

2.集成电路版图(layout)设计是指将集成电路设计电路图或电路描述语言映射到物理描述层面，从而可将设计的集成电路映射到晶圆上生产。版图是包含集成电路的器件类型、器件尺寸、器件之间的相对位置以及各个器件之间的连接关系等相关物理信息的图形，其由位于不同绘图层上的图形构成。集成电路制造中，晶圆厂家需根据不同的工艺参数制定出满足芯片制造良率的同一工艺层以及不同工艺层之间的几何尺寸约束，这些几何尺寸约束的集合就是版图设计规则手册(design rule manual)，版图设计人员根据版图设计规则手册中的设计规则进行版图设计。
3.在版图设计完成后，须通过drc(design rule check，设计规则检查)对版图数据进行检查，不符合版图设计规则的图形不能保证在晶圆上实现，drc需涵盖版图设计规则手册中的每一条规则。由于drc是决定版图设计能否成功流片的至关重要的一环，因此，需要建立大量的测试图形对drc的正确性进行测试。
4.目前，主要通过手工构建正确图形和错误图形来测试drc是否正确，使用drc检查错误图形应报告相应的错误，使用drc检查正确图形应报告没有错误，否则说明drc有误，如drc有误，则对drc进行调整，直至确保drc准确。
5.然而，手工构建drc测试图形的方式不仅浪费时间，而且构建的正确图形和错误图形不能覆盖版图设计规则手册中的所有设计规则，从而不能保证drc的准确性。


技术实现要素：

6.为了解决版图设计中手工构建drc测试图形耗时，且不能保证drc文件的准确性的问题，本发明实施例提供了一种drc测试图形生成方法、装置、电子设备及存储介质。
7.第一方面，本发明实施例提供了一种drc测试图形生成方法，包括：
8.接收drc测试图形生成请求，所述drc测试图形生成请求中携带有正确图形数量和错误图形数量；
9.获取版图设计规则信息和对应的层次配置信息，所述层次配置信息包括根据工艺类型设置的工艺层配置参数信息；
10.解析所述版图设计规则信息中每一条规则对应的各个参数信息以及所述层次配置信息中工艺层配置参数信息，基于所述每一条规则对应的各参数信息、与所述每一条规则相关联的工艺层配置参数信息、所述正确图形数量和所述错误图形数量，分别生成所述每一条规则对应的格式化参数信息；
11.根据所述每一条规则对应的格式化参数信息，生成所述每一条规则对应的相应数量的正确图形和错误图形。
12.一种可能的实施方式中，所述格式化参数包括规则参数、规则相关联工艺层配置参数和drc测试图形生成步长参数。
13.一种可能的实施方式中，所述规则参数至少包括规则类型、规则约束区间、规则检查触发条件的类型和规则检查触发条件中的层次的约束区间；所述规则相关联工艺层配置参数包括规则检查的层次、所述层次属性参数和所述规则检查触发条件中的层次；所述drc测试图形生成步长参数包括所述规则类型对应的渐变值和所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值。
14.一种可能的实施方式中，所述规则类型对应的渐变值是根据所述规则约束区间与所述正确图形数量、所述错误图形数量确定的；所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值是根据所述规则检查触发条件中的层次的约束区间与所述正确图形数量、所述错误图形数量确定的；
15.根据所述每一条规则对应的格式化参数信息，生成所述每一条规则对应的相应数量的正确图形和错误图形，具体包括：
16.调用所述每一条规则的规则类型对应的预设测试图形生成引擎，按照所述规则类型对应的渐变值和所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值，生成所述每一条规则对应的满足所述规则约束区间的相应数量的正确图形和不满足所述规则约束区间的相应数量的错误图形。
17.一种可能的实施方式中，按照以下方式确定所述规则类型对应的渐变值：
18.当确定所述规则约束区间中仅包含区间下限值时，将所述区间下限值与所述错误图形数量的比值确定为所述规则类型对应的渐变值；
19.当确定所述规则约束区间中包含区间上限值时，将所述区间上限值与所述正确图形数量的比值确定为所述规则类型对应的渐变值。
20.一种可能的实施方式中，按照以下方式确定所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值：
21.当确定所述规则检查触发条件中的层次的约束区间中仅包含区间下限值时，将所述区间下限值与所述错误图形数量的比值确定为所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值；
22.当确定所述规则检查触发条件中的层次的约束区间中包含区间下限值和区间上限值时，将所述区间上限值与所述区间下限值的差值与所述错误图形数量的比值确定为所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值。
23.第二方面，本发明实施例提供了一种drc测试图形生成装置，包括
24.接收单元，用于接收drc测试图形生成请求，所述drc测试图形生成请求中携带有正确图形数量和错误图形数量；
25.获取单元，用于获取版图设计规则信息和对应的层次配置信息，所述层次配置信息包括根据工艺类型设置的工艺层配置参数信息；
26.解析单元，用于解析所述版图设计规则信息中每一条规则对应的各个参数信息以及所述层次配置信息中工艺层配置参数信息，基于所述每一条规则对应的各参数信息、与所述每一条规则相关联的工艺层配置参数信息、所述正确图形数量和所述错误图形数量，分别生成所述每一条规则对应的格式化参数信息；
27.生成单元，用于根据所述每一条规则对应的格式化参数信息，生成所述每一条规则对应的相应数量的正确图形和错误图形。
28.一种可能的实施方式中，所述格式化参数包括规则参数、规则相关联工艺层配置参数和drc测试图形生成步长参数。
29.一种可能的实施方式中，所述规则参数至少包括规则类型、规则约束区间、规则检查触发条件的类型和规则检查触发条件中的层次的约束区间；所述规则相关联工艺层配置参数包括规则检查的层次、所述层次属性参数和所述规则检查触发条件中的层次；所述drc测试图形生成步长参数包括所述规则类型对应的渐变值和所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值。
30.一种可能的实施方式中，所述规则类型对应的渐变值是根据所述规则约束区间与所述正确图形数量、所述错误图形数量确定的；所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值是根据所述规则检查触发条件中的层次的约束区间与所述正确图形数量、所述错误图形数量确定的；
31.所述生成单元，具体用于调用所述每一条规则的规则类型对应的预设测试图形生成引擎，按照所述规则类型对应的渐变值和所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值，生成所述每一条规则对应的满足所述规则约束区间的相应数量的正确图形和不满足所述规则约束区间的相应数量的错误图形。
32.一种可能的实施方式中，所述解析单元，具体用于按照以下方式确定所述规则类型对应的渐变值：当确定所述规则约束区间中仅包含区间下限值时，将所述区间下限值与所述错误图形数量的比值确定为所述规则类型对应的渐变值；当确定所述规则约束区间中包含区间上限值时，将所述区间上限值与所述正确图形数量的比值确定为所述规则类型对应的渐变值。
33.一种可能的实施方式中，所述解析单元，具体用于按照以下方式确定所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值：当确定所述规则检查触发条件中的层次的约束区间中仅包含区间下限值时，将所述区间下限值与所述错误图形数量的比值确定为所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值；当确定所述规则检查触发条件中的层次的约束区间中包含区间下限值和区间上限值时，将所述区间上限值与所述区间下限值的差值与所述错误图形数量的比值确定为所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值。
34.第三方面，本发明实施例提供了一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现本发明所述的drc测试图形生成方法。
35.第四方面，本发明实施例提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现本发明所述的drc测试图形生成方法中的步骤。
36.本发明实施例提供的drc测试图形生成方案，接收drc测试图形生成请求，drc测试图形生成请求中携带有请求生成的正确图形数量和错误图形数量，获取版图设计规则信息和对应的层次配置信息，其中，版图设计规则信息即为版图设计规则手册文件中包含的每一条规则，层次配置信息即为层次配置文件中包含的工艺层配置参数信息，其是根据工艺类型设置的，进而，解析版图设计规则信息中每一条规则对应的各个参数信息以及层次配置信息中工艺层配置参数信息，基于每一条规则对应的各参数信息、与每一条规则相关联
的工艺层配置参数信息、正确图形数量和错误图形数量，分别生成每一条规则对应的格式化参数信息，根据每一条规则对应的格式化参数信息，生成每一条规则对应的相应数量的正确图形和错误图形，本发明中，可由用户预先指定生成正确drc测试图形个数和错误drc测试图形个数，电子设备同时解析版图设计规则手册中的每一条版图设计规则对应的各个参数信息以及版图设计规则对应的层次配置文件中的工艺层配置参数信息，结合解析的版图设计规则手册中的每一条规则对应的各参数信息，以及与每一条规则相关联的工艺层配置参数信息、正确图形数量、错误图形数量，生成版图设计规则手册中的每一条规则对应的格式化参数信息，生成的格式化参数信息所包含的参数更加完整、规范，并针对每一条规则，根据每一条规则对应的格式化参数信息自动批量生成指定数量的正确图形和错误图形，从而，在提高了drc测试图形的生成效率的同时，生成的正确图形和错误图形覆盖了版图设计规则手册中的每一条设计规则，可进一步提高drc文件的准确性。
37.本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
38.此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
39.图1为本发明实施例提供的drc测试图形生成方法的一个应用场景示意图；
40.图2为本发明实施例提供的drc测试图形生成方法的实施流程示意图；
41.图3为本发明实施例提供的参数化图像生成器的结构图；
42.图4为本发明实施例提供的规则metal1_r4对应的距离测试图形示意图；
43.图5为本发明实施例提供的规则metal1_r1对应的宽度测试图形示意图；
44.图6为本发明实施例提供的规则v1_r2对应的3d包边测试图形示意图；
45.图7为本发明实施例提供的参数化图形生成器生成的drc测试图形集合示意图；
46.图8为本发明实施例提供的drc测试图形生成装置的结构示意图；
47.图9为本发明实施例提供的电子设备的结构示意图。
具体实施方式
48.为了解决背景技术中的问题，本发明实施例提供了一种drc测试图形生成方法、装置、电子设备及存储介质。
49.以下结合说明书附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明，并且在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
50.首先参考图1，其为本发明实施例提供的drc测试图形生成方法的一个应用场景示意图，可以包括终端110和服务器120，当服务器120接收到终端110发送的drc测试图形生成请求时，服务器120可以根据drc测试图形生成请求批量生成版图设计规则手册中每一条规则对应的用户指定数量的正确图形和错误图形，进一步，可将生成的正确图形和错误图形发送至终端110，由终端110展示给用户。
51.服务器120可以是独立的物理服务器，也可以是提供云服务器、云数据库、云存储等基础云计算服务的云服务器。终端110可以但不限于为：智能手机、平板电脑、笔记本电脑、台式计算机等。服务器120和终端110可以通过网络进行连接，本发明实施例对此不作限定。
52.在另一个应用场景中，还可以只包括终端110，由用户在终端设备110中输入请求生成的正确图形数量和错误图形数量，以触发drc测试图形生成请求，终端110可以根据drc测试图形生成请求批量生成版图设计规则手册中每一条规则对应的用户指定数量的正确图形和错误图形并展示给用户。
53.本发明实施例中仅以上述第一种应用场景为例进行说明。
54.基于上述应用场景，下面将参照附图2～7更详细地描述本发明的示例性实施例，需要注意的是，上述应用场景仅是为了便于理解本发明的精神和原理而示出，本发明的实施方式在此不受任何限制。相反，本发明的实施方式可以应用于适用的任何场景。
55.如图2所示，其为本发明实施例提供的drc测试图形生成方法的实施流程示意图，该drc测试图形生成方法可以应用于上述的服务器120中，具体可以包括以下步骤：
56.s21、接收drc测试图形生成请求，drc测试图形生成请求中携带有正确图形数量和错误图形数量。
57.具体实施时，服务器接收终端发送的drc测试图形生成请求，drc测试图形生成请求中携带有用户指定的需生成的正确图形数量和错误图形数量。
58.s22、获取版图设计规则信息和对应的层次配置信息，层次配置信息包括根据工艺类型设置的工艺层配置参数信息。
59.具体实施时，可由终端向服务器发送版图设计规则手册和版图设计规则手册对应的层次配置文件，服务器接收终端发送的版图设计规则手册和层次配置文件，其中，版图设计规则手册为记录版图设计规则信息的文件，层次配置文件包含层次配置信息，所述层次配置信息包括根据工艺类型设置的工艺层配置参数信息，工艺层配置参数信息可至少包括以下：每一工艺层的属性信息(即：每一工艺层的固有属性信息)和不同工艺层之间的连接关系信息。
60.s23、解析版图设计规则信息中每一条规则对应的各个参数信息以及层次配置信息中工艺层配置参数信息，基于每一条规则对应的各参数信息、与每一条规则相关联的工艺层配置参数信息、正确图形数量和错误图形数量，分别生成每一条规则对应的格式化参数信息。
61.具体实施时，服务器中设置有参数解析器，参数解析器的功能是根据版图设计规则手册中记录的版图设计规则信息和层次配置文件中包含的层次配置信息生成新的格式统一的版图设计规则参数文件，即格式化参数文件，格式化参数文件中包含每一版图设计规则对应的格式化参数信息。
62.在实施过程中，参数解析器解析版图设计规则手册中每一条规则对应的各个参数信息以及层次配置文件中工艺层配置参数信息，基于每一条规则对应的各参数信息、与每一条规则相关联的工艺层配置参数信息、正确图形数量和错误图形数量，分别生成每一条规则对应的格式化参数信息(也可称为标准化参数信息)，由各条规则对应的格式化参数信息组成格式化参数文件(也可称为标准化参数文件)。所述格式化参数包括规则参数、规则
相关联工艺层配置参数和drc测试图形生成步长参数，其中，所述规则参数为从版图设计规则手册中的规则对应的参数中提取的，所述规则相关联工艺层配置参数为从层次配置文件中工艺层配置参数中提取的。所述规则参数至少可以包括以下参数：规则标识、规则类型、规则约束区间和规则检查触发条件参数，所述规则检查触发条件参数可包括规则检查触发条件类型和规则检查触发条件中的层次的约束区间；所述规则相关联工艺层配置参数包括规则检查的层次、所述层次属性参数和所述规则检查触发条件中的层次，当规则检查触发条件中的层次指定的层次的触发条件类型特征满足约束区间时，则触发drc规则检查。所述drc测试图形生成步长参数包括：所述规则类型对应的渐变值以及所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值，其中，所述规则类型对应的渐变值决定生成的drc测试图形的规则类型对应的渐变值，例如，规则类型可包括：宽度(width)、面积(area)、距离(space)、包边(enc)等，分别表示宽度检查、面积检查、距离检查、包边检查，当某条规则的规则类型为宽度检查时，则该规则类型对应的渐变值即决定了生成的drc测试图形的宽度渐变值；所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值决定生成的drc测试图形中所述规则检查触发条件中的层次对应的规则检查触发条件的类型对应的渐变值，例如，当规则检查触发条件的类型为宽度时，该规则检查触发条件的类型表示规则检查触发条件中的层次的宽度要满足条件才能触发drc规则检查，此时，该规则检查触发条件的类型对应的渐变值即决定了生成的drc测试图形中规则检查触发条件中的层次的宽度渐变值。
63.在实施过程中，所述规则类型对应的渐变值是根据所述规则约束区间与所述正确图形数量、所述错误图形数量确定的；所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值是根据所述规则检查触发条件中的层次的约束区间与所述正确图形数量、所述错误图形数量确定的。
64.具体地，可按照以下方式确定所述规则类型对应的渐变值：
65.当确定所述规则约束区间中仅包含区间下限值时，将所述区间下限值与所述错误图形数量的比值确定为所述规则类型对应的渐变值；当确定所述规则约束区间中包含区间上限值时，将所述区间上限值与所述正确图形数量的比值确定为所述规则类型对应的渐变值。
66.可按照以下方式确定所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值：
67.当确定所述规则检查触发条件中的层次的约束区间中仅包含区间下限值时，将所述区间下限值与所述错误图形数量的比值确定为所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值；当确定所述规则检查触发条件中的层次的约束区间中包含区间下限值和区间上限值时，将所述区间上限值与所述区间下限值的差值与所述错误图形数量的比值确定为所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值。其中，规则检查触发条件中的层次的约束区间中仅包含区间下限值是指大于或等于区间下限值。
68.下面举一实例进行说明，一版图设计规则手册的规则内容如表1所示：
v1，表示与3d相关的金属1到通孔1最小包边；规则检查触发条件为：line end length＜0.88，表示当线端部长度＜0.88时，触发该规则的检查；规则约束为：≥2.11，表示与3d相关的金属1到通孔1最小包边≥2.11(即：metal1 3d min enclose v1≥2.11)。
79.上述版图设计规则手册对应的层次配置文件未示出，本发明实施例中将层次配置文件中与版图设计规则手册中的每一条规则相关联的工艺层配置参数信息提取出来，基于版图设计规则手册中的每一条规则对应的各参数信息、以及与每一条规则相关联的工艺层配置参数信息、用户指定的正确图形数量和错误图形数量，分别生成每一条规则对应的格式化参数信息，组成的格式化参数文件如表2所示，下面针对各格式化参数进行详细介绍。
80.表2中，第一列为序号(#no)，对应表1的版图设计规则手册中的第一列。第二列为规则标识：drc_rule_id，以规则名称(即表1中drc_rule_name)作为规则标识，对应表1的版图设计规则手册中的第二列；第三列为规则类型：rule_type，包括：width-宽度检查、area-面积检查、space-距离检查、enc-包边检查；第四列为3d，标识规则是否和3d相关，有关时其值为1，无关时其值为0，3d是指对同一个层次超过一个方向的尺寸检查，；第五列为drc规则检查的层次：layers，其是从层次配置文件中提取的；第六列为层次的方向：layer_orientation，此参数决定生成的正确图形和错误图形的方向是水平(hori)的还是垂直(verti)的，其也是从层次配置文件中提取的；第七列的min_max：表示规则约束的是最大值(max)，还是最小值(min)，其是从表1中的description描述的内容中获取的；第八列为规则约束区间(即drc规则检查的约束区间)：constraints，其对应表1中第五列的constraints，参数化图形生成器通过使得测试图形违反此约束区间生成错误图形，使得测试图形遵守此约束区间生成正确图形，如果第三列中的规则类型rule_type为space(距离检查)，则此约束区间即为距离的约束区间，此处不再赘述；第九列～第十二列为规则类型对应的渐变值，分别为：宽度渐变值width_step、面积渐变值area_step、距离渐变值space_step和包边渐变值enc_step，参数width_step即决定了生成的drc测试图形的宽度渐变值，参数area_step即决定了生成的drc测试图形的面积渐变值，参数space_step即决定了生成的drc测试图形的距离渐变值，参数enc_step即决定了生成的drc测试图形的包边渐变值，上述各规则类型对应的渐变值是根据各自对应的规则约束区间的区间值(区间上限值、区间下限值)与用户指定的正确图形数量、错误图形数量确定的，例如，第一条规则metal1_r1中，规则类型为宽度检查，宽度约束区间为：[0.55，)，此约束区间中仅包含区间下限值0.55，则宽度渐变值为：0.55/b_p_num，其中b_p_num表示错误图形数量，第二条则metal1_r2中，规则类型为宽度检查，宽度约束区间为：[0，7]，区间上限值为7，则宽度渐变值为：7/g_p_num，其中，g_p_num表示正确图形数量，第三条规则metal1_r3中，规则类型为面积检查，面积约束区间为：[0.04，)，则面积渐变值为：0.04/b_p_num；第十三列为(drc)规则检查触发条件中的层次：cond_layer，其是从层次配置文件中提取的；第十四列为(drc)规则检查触发条件的类型cond_charactor，包括：width、line end width、line end length，其是从表1中的规则检查触发条件condition中获取的，当规则检查触发条件的类型为宽度width(宽度)时，表示规则检查触发条件中的层次的宽度要满足条件才能触发drc规则检查，当规则检查触发条件的类型为线端部宽度line end width时，表示规则检查触发条件中的层次的线端部宽度要满足条件才能触发drc规则检查，当当规则检查触发条件的类型为线端部长度line end length时，表示规则检查触发条件中的层次的线端部长度要满足条件才能触发drc规
则检查，其中，所需要满足的条件即第十五列中的(drc)规则检查触发条件中的层次的约束区间：cond_donstraints，让规则检查触发条件中的层次cond_layer指定的层次的规则检查触发条件的类型cond_character特征满足此约束区间则触发drc规则检查，cond_donstraints是从表1中的规则检查触发条件condition中获取的；第十六列和第十七列为规则检查触发条件的类型cond_character对应的渐变值，其中，width、line end width对应的渐变值为cond_width_step(第十六列)，cond_width_step决定了生成的drc测试图形中规则检查触发条件中的层次的宽度渐变值，line end length对应的渐变值为cond_length_step(第十七列)，cond_length_step决定了生成的drc测试图形中规则检查触发条件中的层次的长度渐变值，例如，第四条规则中，规则检查触发条件的类型cond_character为width，规则检查触发条件中的层次的约束区间cond_donstraints：(0.8,1.1]，则width对应的渐变值cond_width_step为该区间上限值1.1与区间下限值0.8的差与错误图形数量的比值：(1.1-0.8)/b_p_num，第五条规则中，规则检查触发条件的类型cond_character为line end width，规则检查触发条件中的层次的约束区间cond_donstraints：[0.5,)，则line end width对应的渐变值cond_width_step为该区间下限值0.5与错误图形数量的比值：0.5/b_p_num，第六条规则中，规则检查触发条件的类型cond_character为line end length，规则检查触发条件中的层次的约束区间cond_donstraints：(0,0.88)，则line end length对应的渐变值cond_width_step为该区间下限值0.88与区间下限值0的差与错误图形数量的比值：0.88/b_p_num；第十八列为通孔的行和列的最大数量via max row/column，参数化图形生成器可根据此参数决定生成测试图形中的通孔via的行和列的数量，该数量为最大值，生成的测试图形中通孔via的数量可在最大值以下渐进变动。需要说明的是，表2中nil表示空，每条规则中不相关的格式化参数的值均为空)。
[0081][0082]
s24、根据每一条规则对应的格式化参数信息，生成每一条规则对应的相应数量的正确图形和错误图形。
[0083]
具体实施时，服务器调用每一条规则的规则类型对应的预设测试图形生成引擎，按照规则类型对应的渐变值和规则检查触发条件的类型对应的渐变值，生成每一条规则对应的满足规则约束区间的相应数量的正确图形和不满足规则约束区间的相应数量的错误图形。
[0084]
具体地，服务器中预先设置有参数化图形生成器，用于生成drc测试图形，参数化图形生成器中为不同的规则类型设置有对应的测试图形生成引擎，例如，规则类型为宽度检查对应宽度测试图形生成引擎，规则类型为距离检查对应距离测试图形生成引擎，规则类型为面积检查对应面积测试图形生成引擎，规则类型为包边检查对应包边测试图形生成引擎，规则类型为3d包边检查对应3d包边测试图形生成引擎，规则类型为多次曝光检查对应多次曝光测试图形生成引擎等等，参数化图形生成器的结构图如图3所示。
[0085]
在实施过程中，假设用户指定的正确图形数量和错误图形数量均为3个，则可为每一条规则生成3个正确图形和3个错误图形，如表2中有7条规则，则可自动批量生成21个正确图形和21个错误图形。
[0086]
下面仅以表2中第四条规则metal1_r4的距离检查、第一条规则metal1_r1的宽度检查和第七条规则v1_r2的3d enc检查对应的drc测试图形的生成为例进行说明。
[0087]
如图4所示，其为生成的第四条规则metal1_r4对应的距离测试图形示意图，在实施过程中，调用距离测试图形生成引擎根据从格式化参数文件中的第四条规则metal1_r4对应的格式化参数，也就是表2中该条规则对应的各个值不为空和0的参数，自动生成一组错误图形和一组正确图形，第四条规则metal1_r4的格式化参数包括：规则标识drc_rule_id:metal1_r4；规则类型rule_type:space，即距离检查；规则检查的层次layers：m1，即金属1；层次的方向layer_orientation：hori(垂直)；min_max：min，即规则约束的是最小值；规则约束区间constraints：≥0.11；距离渐变值space_step＝0.11/b_p_num＝0.11/3；规则检查触发条件中的层次cond_layer：m1；规则检查触发条件的类型cond_charactor：width，即宽度；规则检查触发条件中的层次的约束区间cond_donstraints：＞cond_val1＜＝cond_val2，其中，cond_val1为cond_constraints的区间下限值，即0.8，cond_val2为cond_constraints的区间上限值，即1.1；规则检查触发条件的类型width(宽度)对应的渐变值cond_width_step为：|cond_val2-cond_val1|/b_p_num＝(1.1-0.8)/3＝0.1。space_step＝0.11/3，cond_width_step＝0.1，则在一组错误图形中和一组正确图形中将层次m1层中上方的线宽依次设置为cond_val1＝0.8、cond_val1 cond_width_step＝0.8 0.1＝0.9、cond_val1 2*cond_width_step＝0.8 2*0.1＝1，在该组错误图形中，将层次m1层中下方的线和上方的线之间的距离依次设置为：space_step＝0.11/3、2*space_step＝0.22/3、3*space_step＝0.11，在该组正确图形中，将层次m1中下方的线和上方的线之间的距离依次设置为：4*space_step＝0.44/3、5*space_step＝0.55/3、6*space_step＝0.22，由此可看出，在这三个错误图形中，前两个图形中下方的线和上方的线之间的距离均不满足规则约束区间constraints:[0.11，)，而第三个错误图形下方的线和上方的线之间的距离为0.11，其满足规则约束区间constraints:[0.11，)，这样，其就是正确图形，在具体实施过程中，为避免这种情况，在一种较佳的实施方式中，可以在设置错误图形中的两条线之间的距离时，将space_step的值减去一个较小的预设值，这样，即可保证第三个图形为错误图形，预设值的设置可根据需求自行设置，本发明实施例对此不作限定。基于此，在其它规则类型
对应的测试图形生成过程中，针对规则类型对应的渐变值均可作类似设置，本发明实施例不作赘述。
[0088]
如图5所示，其为生成的第一条规则metal1_r1对应的宽度测试图形示意图，在实施过程中，调用宽度测试图形生成引擎根据从格式化参数文件中的第一条规则metal1_r1对应的格式化参数，也就是表2中该条规则对应的各个值不为空和0的参数，自动生成一组错误图形和一组正确图形，第一条规则metal1_r1的格式化参数包括：规则标识drc_rule_id:metal1_r1；规则类型rule_type:width，即宽度检查；规则检查的层次layers：m1，即金属1；层次的方向layer_orientation：hori(垂直)；min_max：min，即规则约束的是最小值；规则约束区间constraints：≥0.55；宽度渐变值width_step＝0.55/b_p_num＝0.55/3。在左边的一组错误图形中，将层次m1中的线的宽度依次设置为width_step＝0.55/3、2*width_step＝1.1/3、3*width_step＝0.55，第一个错误图形和第二个错误图形中设置的线宽均不满足constraints:[0.55，)，而第三个错误图形中设置的线宽满足constraints，和距离测试图形生成时一样，可将width_step减去一个较小的预设值，以保证最后一个错误图形不满足constraints，即可保证这一组图形均为错误图形。在右边的一组正确图形中，将层次m1中的线的宽度依次设置为4*width_step＝2.2/3、5*width_step＝2.75/3、6*width_step＝1.1，每一正确图形的线m1的宽度均满足constraints:[0.55，)。
[0089]
如图6所示，其为生成的第七条规则v1_r2对应的3d包边测试图形示意图，在实施过程中，调用宽度测试图形生成引擎根据从格式化参数文件中的第一条规则v1_r2对应的格式化参数，也就是表2中该条规则对应的各个值不为空和0的参数，自动生成一组错误图形和一组正确图形，第七条规则v1_r2的格式化参数包括：规则标识drc_rule_id：v1_r2；规则类型rule_type：enc，3d：1，即3d包边检查；规则检查的层次layers：m1，v1，m2；层次的方向layer_orientation：hori(垂直)；min_max：min，即规则约束的是最小值；规则约束区间constraints：≥2.11；包边渐变值enc_step＝2.11/b_p_num＝2.11/3；规则检查触发条件中的层次cond_layer：m1；规则检查触发条件的类型cond_charactor：line end length，即线端部长度；规则检查触发条件中的层次的约束区间cond_donstraints：＜0.88；规则检查触发条件的类型line end length对应的渐变值cond_length_step＝0.88/b_p_num＝0.88/3；via max row/column为3:3，即通孔的行和列的最大数量均为3。其中，enc_step＝2.11/3，cond_length_step＝0.88/b_p_num＝0.88/3，在左边的一组错误图形中，将层次m1中的线宽依次设置为cond_length_step＝0.88/3、2*cond_length_step＝1.76/3、3*cond_length_step＝0.88，将层次m1与层次m2中线端部长度(line end length)依次设置为：enc_step＝2.11/3、2*enc_step＝4.22/3、3*enc_step＝2.11，将层次m1和层次m2之间的通孔v1依次设置为1个、2*2个(即两行两列)、3*3(即三行三列)个；在右边的一组正确图形中，将层次m1中的线宽依次设置为cond_length_step＝0.88/3、2*cond_length_step＝1.76/3、3*cond_length_step＝0.88，将层次m1与层次m2中线端部长度(line end length)依次设置为：4*enc_step＝8.44/3、5*enc_step＝10.55/3、6*enc_step＝4.22，将层次m1和层次m2之间的通孔依次设置为1个、2*2个(即两行两列)、3*3(即三行三列)个，为保证最后一个错误图像不满足constraints，可将enc_step的值减去一个较小的预设值。
[0090]
在具体实施时过程中，为提高drc测试图形的生成效率，上述各测试图像生成引擎在生成对应的测试图形时可并行执行，输出的drc测试图形集合如图7所示，其为参数化图
形生成器生成的drc测试图形集合，需要说明的是，最终生成的测试图形是表2中每一条规则对应的一组正确测试图形和一组错误测试图形，图7中仅示出以上三条规则对应的测试图形，其它规则对应的测试图形未示出。
[0091]
本发明实施例提供的drc测试图形生成方法，可由用户预先指定生成正确drc测试图形个数和错误drc测试图形个数，参数解析器同时解析版图设计规则手册中的每一条规则对应的各个参数信息以及版图设计规则手册对应的层次配置文件中的工艺层配置参数信息，结合解析的版图设计规则手册中的每一条规则对应的各参数信息，以及与每一条规则相关联的工艺层配置参数信息、正确图形数量、错误图形数量，生成版图设计规则手册中的每一条规则对应的格式化参数信息，生成的格式化参数信息所包含的参数更加完整、规范，参数化图像生成器针对每一条规则，根据每一条规则对应的格式化参数信息自动批量生成指定数量的正确drc测试图形和错误drc测试图形，从而，在提高了drc测试图形的生成效率的同时，生成的正确图形和错误图形覆盖了版图设计规则手册中的每一条设计规则，可进一步提高drc文件的准确性。
[0092]
基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种drc测试图形生成装置，由于上述drc测试图形生成装置解决问题的原理与上述drc测试图形生成方法相似，因此上述装置的实施可以参见方法的实施，重复之处不再赘述。
[0093]
如图8所示，其为本发明实施例提供的drc测试图形生成装置300的结构示意图，可以包括：
[0094]
接收单元31，用于接收drc测试图形生成请求，所述drc测试图形生成请求中携带有正确图形数量和错误图形数量；
[0095]
获取单元32，用于获取版图设计规则信息和对应的层次配置信息，所述层次配置信息包括根据工艺类型设置的工艺层配置参数信息；
[0096]
解析单元33，用于解析所述版图设计规则信息中每一条规则对应的各个参数信息以及所述层次配置信息中工艺层配置参数信息，基于所述每一条规则对应的各参数信息、与所述每一条规则相关联的工艺层配置参数信息、所述正确图形数量和所述错误图形数量，分别生成所述每一条规则对应的格式化参数信息；
[0097]
生成单元34，用于根据所述每一条规则对应的格式化参数信息，生成所述每一条规则对应的相应数量的正确图形和错误图形。
[0098]
一种可能的实施方式中，所述格式化参数包括规则参数、规则相关联工艺层配置参数和drc测试图形生成步长参数。
[0099]
一种可能的实施方式中，所述规则参数至少包括规则类型、规则约束区间、规则检查触发条件的类型和规则检查触发条件中的层次的约束区间；所述规则相关联工艺层配置参数包括规则检查的层次、所述层次属性参数和所述规则检查触发条件中的层次；所述drc测试图形生成步长参数包括所述规则类型对应的渐变值和所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值。
[0100]
一种可能的实施方式中，所述规则类型对应的渐变值是根据所述规则约束区间与所述正确图形数量、所述错误图形数量确定的；所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值是根据所述规则检查触发条件中的层次的约束区间与所述正确图形数量、所述错误图形数量确定的；
[0101]
所述生成单元34，具体用于调用所述每一条规则的规则类型对应的预设测试图形生成引擎，按照所述规则类型对应的渐变值和所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值，生成所述每一条规则对应的满足所述规则约束区间的相应数量的正确图形和不满足所述规则约束区间的相应数量的错误图形。
[0102]
一种可能的实施方式中，所述解析单元33，具体用于按照以下方式确定所述规则类型对应的渐变值：当确定所述规则约束区间中仅包含区间下限值时，将所述区间下限值与所述错误图形数量的比值确定为所述规则类型对应的渐变值；当确定所述规则约束区间中包含区间上限值时，将所述区间上限值与所述正确图形数量的比值确定为所述规则类型对应的渐变值。
[0103]
一种可能的实施方式中，所述解析单元33，具体用于按照以下方式确定所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值：当确定所述规则检查触发条件中的层次的约束区间中仅包含区间下限值时，将所述区间下限值与所述错误图形数量的比值确定为所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值；当确定所述规则检查触发条件中的层次的约束区间中包含区间下限值和区间上限值时，将所述区间上限值与所述区间下限值的差值与所述错误图形数量的比值确定为所述规则检查触发条件的类型对应的渐变值。
[0104]
基于同一技术构思，本发明实施例还提供了一种电子设备400，参照图9所示，电子设备400用于实施上述方法实施例记载的drc测试图形生成方法或者drc测试图形生成装置，该实施例的电子设备400可以包括：存储器401、处理器402以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，例如drc测试图形生成程序或者数据报文传输程序。所述处理器执行所述计算机程序时实现上述各个drc测试图形生成方法实施例中的步骤，例如图2所示的步骤s21。
[0105]
本发明实施例中不限定上述存储器401、处理器402之间的具体连接介质。本技术实施例在图9中以存储器401、处理器402之间通过总线403连接，总线403在图9中以粗线表示，其它部件之间的连接方式，仅是进行示意性说明，并不引以为限。所述总线403可以分为地址总线、数据总线、控制总线等。为便于表示，图9中仅用一条粗线表示，但并不表示仅有一根总线或一种类型的总线。
[0106]
存储器401可以是易失性存储器(volatile memory)，例如随机存取存储器(random-access memory，ram)；存储器401也可以是非易失性存储器(non-volatile memory)，例如只读存储器，快闪存储器(flash memory)，硬盘(hard disk drive，hdd)或固态硬盘(solid-state drive，ssd)、或者存储器401是能够用于携带或存储具有指令或数据结构形式的期望的程序代码并能够由计算机存取的任何其他介质，但不限于此。存储器401可以是上述存储器的组合。
[0107]
处理器402，用于实现如图2所示的一种drc测试图形生成方法。
[0108]
本技术实施例还提供了一种计算机可读存储介质，存储为执行上述处理器所需执行的计算机可执行指令，其包含用于执行上述处理器所需执行的程序。
[0109]
在一些可能的实施方式中，本发明提供的drc测试图形生成方法的各个方面还可以实现为一种程序产品的形式，其包括程序代码，当所述程序产品在电子设备上运行时，所述程序代码用于使所述电子设备执行本说明书上述描述的根据本发明各种示例性实施方式的drc测试图形生成方法中的步骤。
[0110]
本领域内的技术人员应明白，本发明的实施例可提供为方法、装置、或计算机程序产品。因此，本发明可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、cd-rom、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
[0111]
本发明是参照根据本发明实施例的方法、设备(装置)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
[0112]
这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
[0113]
这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
[0114]
尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。
[0115]
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。