激光强度调整方法及激光强度调整装置与流程

技术特征：
1.一种激光强度调整方法，是将直线偏光的激光即入射激光的强度调整为规定的强度来射出的方法，其特征在于，配置强度变更光学元件，该光学元件通过在所述入射激光的光路上使规定的透过方向的该入射激光的偏光的分量透过，从而变更射出激光的强度，且该光学元件以所述入射激光的光轴为中心在距规定的基准角至少90
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的范围内转动，使该透过方向可变；配置偏光方向变更光学元件，该光学元件在所述入射激光的光路上相比所述强度变更光学元件更靠前，变更该入射激光的偏光方向并射出，且该变更的方向是可变的；调整所述变更的方向，使得所述偏光方向变更光学元件射出的所述入射激光的偏光方向与在所述强度变更光学元件的转动角为所述基准角时的所述透过方向一致。2.如权利要求1所述的激光强度调整方法，所述偏光方向变更光学元件为凹透镜。3.如权利要求1所述的激光强度调整方法，所述强度变更光学元件为偏光分束器。4.一种激光强度调整装置，是将直线偏光的激光即入射激光的强度调整为规定的强度来射出的装置，其特征在于，具备：强度变更光学元件，该光学元件配置在所述入射激光的光路上，使规定的透过方向的该入射激光的偏光的分量透过，从而变更射出激光的强度，且该光学元件以所述入射激光的光轴为中心在距规定的基准角至少90
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的范围内转动，使该透过方向可变；及偏光方向变更光学元件，该光学元件配置在所述入射激光的光路上相比所述强度变更光学元件更靠前，变更该入射激光的偏光方向并射出，且该变更的方向是可变的。5.如权利要求4所述的激光强度调整装置，所述偏光方向变更光学元件为凹透镜。6.如权利要求4所述的激光强度调整装置，所述强度变更光学元件为偏光分束器。7.一种质量分析装置，其特征在于，具备：如权利要求4所述的激光强度调整装置；试样保持部，配置在透过所述强度变更光学元件的激光的光路上，保持分析对象的试样。

技术总结
本发明涉及激光强度调整装置(12)，是将直线偏光的激光即入射激光的强度调整为规定的强度来射出的装置，具备：强度变更光学元件(偏光分束器(123))，该光学元件配置在所述入射激光的光路上，使规定的透过方向的该入射激光的偏光的分量透过，从而变更射出激光的强度，且该光学元件以所述入射激光的光轴为中心在距规定的基准角至少90


技术研发人员：志知秀治
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
技术研发日：2021.02.26
技术公布日：2023/2/13