观测对象气体的观测装置和观测对象离子的观测方法以及试样支架与流程

技术特征：
1.一种观测对象气体的观测装置，具备：扫描型电子显微镜，检测在分析室内向试样照射电子束而产生的二次电子；试样支架，具有容纳观测对象气体的隔室以及该隔室的开口窗，并且具有能够堵住该开口窗而安装所述试样的试样搭载部；以及观测对象离子检测部，在使所述隔室中的所述观测对象气体与所述试样的背面接触的状态下向该试样表面照射电子束，检测由该电子束产生的源自所述观测对象气体的观测对象离子，在将所述观测对象气体容纳于所述隔室并将所述试样安装于所述试样支架的所述试样搭载部的状态下，能够密封所述隔室整体。2.根据权利要求1所述的观测对象气体的观测装置，其中，在所述隔室中能够容纳所述观测对象气体的吸藏材料。3.根据权利要求1或2所述的观测对象气体的观测装置，其中，在所述试样搭载部设置有窗框区域，所述窗框区域能够在所述开口窗的周围与所述试样气密地抵接，在该窗框区域具备：内侧密封件，包围所述开口窗；外侧密封件，包围该内侧密封件；排气口，用于将所述内侧密封件与所述外侧密封件之间进行排气；以及阀，对该排气口进行开闭。4.根据权利要求3所述的观测对象气体的观测装置，其中，差动排气口排气端口延长管可装卸地配设在所述试样支架上，并与所述排气口连通。5.根据权利要求1至3中任一项所述的观测对象气体的观测装置，其中，所述试样支架包括：排气口和导入路径，用于在与所述开口窗不同的位置进行所述隔室内的排气和观测对象气体的导入；以及阀，对该排气口和导入路径进行开闭。6.根据权利要求5所述的观测对象气体的观测装置，其中，所述排气口和导入路径以相对于所述试样支架可装卸的方式配设。7.根据权利要求1所述的观测对象气体的观测装置，其中，所述试样支架以能够取出到所述分析室外的方式安装于试样台。8.根据权利要求7所述的观测对象气体的观测装置，其中，所述试样台以能够相对于所述分析室出入的方式设置于该分析室内部。9.根据权利要求8所述的观测对象气体的观测装置，其中，所述试样台包括旋转机构、温度控制器、以及离子聚光机构，并构成为能够对所述试样进行加热。10.一种观测对象离子的观测方法，使用权利要求1至9中任一项所述的观测对象气体的观测装置来计测观测对象离子，所述方法包括：将所述试样安装于所述试样搭载部并堵住所述开口窗，将所述观测对象气体容纳于所述隔室中，在将整个所述隔室密封的状态下将所述试样支架整体配置在所述分析室内，在使观测对象气体与所述试样的背面接触的状态下，检测由照射到该试样表面的电子束产生的源自所述观测对象气体的观测对象离子。11.根据权利要求10所述的观测对象离子的观测方法，其中，使所述试样支架在所述分析室内精密地移位来检测所述观测对象离子。
12.根据权利要求10或11所述的观测对象离子的观测方法，其中，在所述隔室中容纳所述观测对象气体的吸藏材料和所述观测对象气体。13.根据权利要求10至12中任一项所述的观测对象离子的观测方法，其中，在使所述试样紧贴于所述开口窗周围的窗框区域而堵住所述开口窗的状态下将所述试样安装于所述试样搭载部，在与所述开口窗不同的位置进行所述隔室内的排气和所述观测对象气体的导入，在将所述隔室整体密封后，将所述试样支架整体配置在所述分析室内。14.一种试样支架，具有：支架主体，能够容纳于扫描型电子显微镜的分析室内，所述扫描型电子显微镜对照射电子束而产生的二次电子进行检测；隔室，设置于所述支架主体内，容纳观测对象气体；试样搭载部，能够安装试样；以及所述隔室的开口窗，设置于所述试样搭载部，通过堵住所述开口窗而将所述试样安装于所述试样搭载部，从而在使所述观测对象气体与所述试样的背面接触的状态下将所述隔室密封。

技术总结
本发明提供一种观测对象气体的观测装置和观测方法、以及能够适当使用的试样支架，能够在分析室内独立地移动一体安装有薄板试样的试样支架。该观测装置具备：扫描型电子显微镜(15)，检测在分析室(11)内向试样(17)照射电子束而产生的二次电子；试样支架(12)，具有容纳观测对象气体的隔室(12c)以及隔室(12c)的开口窗(W)，并且具有能够堵住开口窗(W)而安装试样(17)的试样搭载部(12b)；以及观测对象离子检测部(20)，在使隔室(12c)中的观测对象气体与试样(17)的背面接触的状态下向试样(17)的表面照射电子束，检测由电子束产生的源自观测对象气体的观测对象离子，在将观测对象气体容纳于隔室而将试样(17)安装于试样支架的试样搭载部(12b)的状态下，能够密封氢隔室(12c)整体。整体。整体。


技术研发人员：中村明子 村瀬义治 宫内直弥 矢个部太郎
受保护的技术使用者：国立研究开发法人物质
技术研发日：2021.04.28
技术公布日：2023/2/13